Многоступенчатый молекулярный вакуум-насос

ОП И НИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

325413

Союз Советскиз

Социалистическими

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30.1Ч.1970 (М 1434623/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет 01.VII I.1967 (¹ 1176886 24-6)

Опубликовано 07.1.1972. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 7.III.1972

М. Кл. 1 044 19i04

Комитет по аелам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.527.8 (088.8) Авторы изобретения

В. П. Голубев и В. С. Кондрашев

Заявитель

МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМ-НАСОС

Предмет изобретения

25 1. Многоступенчатый молекулярный вакуум-насос, содержащий цилиндрический корпус и расположенные в нем в чередующемся порядке роторные и статорные цилиндрические элементы с винтовыми пазами, образую30 щие систему последовательно соединенных

В известных многоступенчатых молекулярных вакуум-насосах, содержащих цилиндрический корпус и расположенные в нем в чередующемся порядке роторные и статорные цилиндрические элементы с винтовыми пазами, образующие систему последовательно соединенных коаксиальных рабочих каналов, имеют место недостаточно высокие степень сжатия и скорость откачки.

В предлагаемом вакуум-насосе повышение степени сжатия и увеличение скорости откачки достигается тем, что винтовые пазы размещены на охватываемой поверхности одного из пары сопряженных элементов, например роторном, а охватывающая цилиндрическая поверхность сопряженного (статорного) элемента выполнена гладкой. Так, в первой ступени винтовые пазы выполнены на роторном элементе, во второй — на статорном, в третьей — на роторном и т. д.

На чертеже представлена схема вакуум-насоса.

В корпусе 1 расположены роторные 2 и статорные 8 цилиндрические элементы с винтовыми пазами, размещенными только на охватываемых поверхностях, в то время как охватывающие поверхности выполнены гладкими. В первой ступени пазы выполнены на роторном элементе; во второй — на статорном, в третьей — на роторном. Газ при вращеиии ротора засасывается через патрубок 4 и последовательно проходит ио коаксиальным каналам к выходу.

Система с винтовыми пазами на охватываемых поверхностях по сравнению с насосами, в которых винтовые пазы выполнены на охватывающих поверхностях, обладает большей вероятностью Хд прохода молекул от входа насоса к выходу и меньшей вероят1о постыл Хз прохода молекул во встречном направлении, а также меньшим падением характеристики Хтз и большим падением характеристики Хзт по длине рабочих каналов. Этот эффект при цилиндрических взаимодействую15 щих рабочих поверхностях обусловлен наличием некоторого градиента концентрации соударений молекул с поверхностями винтовых каналов в направлении от центра к периферии и проявляется тем больше, чем больше

20 отношение высоты винтового паза к внутреннему диаметру корпуса.

325413

Составитель Т. Рабчук

Техред Л. Богданова

Корректор Л. Царькова

Редактор А. Батыгин

Заказ 32Î/1 Изд. М 25 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 коаксиальных рабочих каналов, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и увеличения скорости откачки, винтовые пазы размещены на охватываемой поверхности одного из пары сопряженных элементов, например роторном, а охватывающая цилиндрическая поверхность сопряженного (статорного) элемента выполнена гладкой.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что в первой ступени винтовые пазы выполнены на роторном элементе, во второй — на статорном, в третьей — на роторном и т. д.