Растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализав п т в- ff^ •• v г»1 .'^ s • "^ г г ~' е'^ ^^ р.cpoiifi aiiiihfchii
42ОО13
СОЮЗ СОВ&тских ©циалисти" ес ми
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельстга— (22) Заявлено 26.04.72 (21) 1777550/26-25
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий (51) М Ко Н 011 37/26 с присоединением заявки (32) Приоритет
Опубликовано 1511!.1974. Бюллетень Х 10
Дата опубликования описания 30.07.1974 (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения
Г. В. Спивак, Г. В. Сапарин и М, К. Антошин (71) Заявитель Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. М. В. Ломоносова (54) РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ
КАТОДОЛ |ОМИ Н ЕСЦЕНТ НОГО АНАЛ ИЗА
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии люминесцирующих твердых тел.
Известен растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализа, содержащий источник электронов, электроннооптическую, отклоняющую и приемную системы.
Недостатком такого микроскопа является то, что изображение поверхности в катодолюмипесцентном излучении формируется с помощью фотоэлектронного умножитсля с пгирокой спектральной характеристикой, что не позволяет одновременно оценить области образца, люминесцирующие в каком-то узком интервале длин волн.
Одновременный анализ образца в различных участках спектра обеспечивается за счет того, что в предлагаемом микроскопе приемная система выполнена в виде нескольких фотоумножителей с различными спектральными характеристиками, светофильтров, установленных перед фотоумножителями, и многоканального устройства, к выходам которого подключены выходы фотоумножителей. Это позволяет передавать одновременно видеосигнал го всем каналам в любом заранее заданном диапазоне спектра одновременно.
На чертеже изображен предлагаемый микроскоп.
Растровый электронный микроскоп содержит источник электронов (электронная пушка) 1, электронно-оптическую систему 2, отклоняющую систему 3, образец 4, фотоэлек5 тронные умножители 5, фильтры 6, видеоконтрольное устройство 7.
Электронная пушка 1 и электронно-оптическая система 2 формируют тонкий электрон10 ный зонд 8, развертываемый по образцу 4 в растр отклоняющей системой 3. При взаимодействии электронов луча с веществом возникающее катодолюминесцентное излучение регистрируется после прохождения фильтров 6
15 фотоумножителями 5. Возникающий на выходе фотоумножителей видеосигнал поступает на вход многоканального видеоконтрольного устройства 7 и вызывает яркостную модуляцию светового пятна а видеоэкране, форми20 руя тем самым изображение поверхности образца в катодолюминесцентной интерпретации. Для идентификации точек изображения и поверхности объекта развертки луча микроскопа и луча в кинескопе видеоконтрольного
25 устройства синхронизированы.
Благодаря одновременной передаче сигналов при помощи многоканальной видеосистемы возможно получение стереоскопического изображения, возможно исследование динами30 ческих процессов (например, температурные
420013
Предмет изобретения
Составитель Б. Калин
Редактор К. Шанаурова Техред Т. Миронова Корректор М, Лейзерман
Заказ 1853/8 Изд. № 1373 Тираж 760 Под писнос
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, К-35, Раушская аб., д. 4 5
Типография, пр, Сапунова, 2 изменения в веществе), влияющих на катодолюминесцентные свойства вещества.
Растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализа, содержащий источник электронов, электроннооптнчсскую систему, формирующую электронный луч, отклоняющую систему, разворачивающую луч в растр на исследуемом образце, и приемную систему, отл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью одновременного анализа образца в различных участках спектра катодолюминесцентного излучения, приемная система выполнена в виде нескольких фотоумножителей, светофильтров, установленных перед фотоумножителями, и многоканального видеокоптрольного устройства, к выходам которого подключены выходы
10 фотоумножителей.
