Патент ссср 411545
О Il И С А Н И Е 4II545
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистииеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 14.1Ч.1971 (№ 1650096/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 15Л.1974. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 08.V.1974
М. Кл. Н 011 37!26
) Государственный комитет
Совета Министров СССР ао делам нзооретений н открытий
УДК 621.385.833 (088.8) ВПТБ
vi1ÜÜC 149, Авторы изобретения
Б. А. Иванов и Н. М. Модель
Красногорский механический завод
Заявитель
ЭЛЕКТРОННОЗОНДОВЫЙ ПРИБОР
Изобретение относится к устройствам осветительных систем электронных микроскопов и может быть использовано для борьбы с загрязнением объекта.
Известны устройства для уменьшения скорости загрязнения поверхности облучаемого объекта в виде азотных или иных ловушек или активных адсорбентов, устанавливаемых вблизи объекта, а также устройства для нейтрализации отрицательного электрического заряда на объекте с помощью дополнительного пучка электронов.
Однако такие устройства сложны и требуют установки самостоятельных конструктивных узлов.
Для использования периферийных электронов пучка в предлагаемом электрозондовом приборе кольцевидная спираль установлена концентрично оптической оси в плоскости диафрагмы осветительной системы.
На чертеже схематически показан описываемый прибор, содержащий кольцевидную спираль 1, электроизолирующее устройство 2, с вакуумным уплотнением. Путем подачи на спираль 1 потенциала определенного вида: отрицательного относительно корпуса прибора, отрицательного потенциала и одновременного возбуждения кольцевого магнитного поля или только возбуждения кольцевого магнитного поля достигается воздействие на расходящийся в некотором угле электронный пучок, благодаря чему центральная часть пучка достигает поверхности объекта, а периферийные электроны сильно отклоняются к оси и попадают на поверхность вокруг объекта. Эти периферийные электроны вызывают осаждение молекул углеводородов не на поверхности
10 объекта, а на поверхносги вокруг него. Сильно отклоненные и приторможенные электроны ионизируют остаточный газ вблизи объекта и образовавшиеся положительные ионы нейтрализуют отрицательный электрический за15 ряд на поверхности объекта.
Кольцевидное устройство может быть использовано в качестве диафрагмы с плавно регулируемым отверстием.
Предмет изобретения
Электр оннозондовый прибор, содержащий осветительную систему с диафрагмой и отклоняющее устройство в виде кольцевидной спирали, отличающийся тем, что, с целью
2S использования периферийных электронов пучка, кольцевидная спираль установлена концентрично оптической оси в плоскости диафрагмы осветительной системы.
411545
Составитель Г. Жукова
Техред 3. Тараненко
Корректоры; Л. Корогод и Е. Давыдкина
Редактор И, Шубина
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 10б2/13 Изд. № 1187 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретении и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
