Патент ссср 402965
О П
ИЗОБРЕТЕНИЯ э
И С А Н И Е 402965
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
М. Кл. Н 01j 37(26
Заявлено 26.Х.1971 (№ 1709761/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 19.Х.1973. Бюллетень № 42
Дата опубликования описания 15.II I.1974
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
УДК 621.385.833 (088.8) Авторы изобретения
А. Е. Лукьянов, Г. В. Спивак, Э. И. Рау и Д. Д. Городский
Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова
Заявитель
ДЕРЖАТЕЛЬ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ РАСТРОВОГО
ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА
Известны держатели образцов для растровых электронных микроскопов (РЭ Ч), выполненные, например, в виде цилиндров различной формы из немагнитного материала и предназначенные для исследования во вторичных электронах топографии поверхности образцов.
Однако при исследовании в режиме вторичных электронов такие держатели не позволяют получить изображения глубоких пор в образцах, так как вытягивающее поле коллектора почти не проникает в эти поры и не обеспечивает сбора вторичных электронов в достаточно большом телесном угле.
Для получения изображения глубоких пор в исследуемых образцах предлагаемый держатель выполнен в виде магнита, на полюсе которого закреплен образец, размещенного внутри магнитопровода с зазором.
На чертеже схематически показан описываемый держатель.
Образец 1 размещен на полюсе постоянного магнита 2, размещенного внутри магнитопровода 3 с зазором для прохождения первичного пучка и выхода вторичных электронов а коллектор 4. Магнитное поле, пронизывающее немагнитный образец, создается катушкой 5 подмагпичпвания пли постоянным магнитом 2, составляющ11м р. э1оп случае 13cTb магнитнои цепи.
Первичный электронный пучок облучает образец 1 н вь1биваст вторичные электроны. Выбитые со дна или стенок глубоких пор в образце вторичные электроны шнуруются вдоль силовых лиши почти однородного магнитного
10 поля, созданного катушкой подмагничивания или постогншым магнитом и пронизывающего образец. Это обеспечивает эффективный сбор вторичных электронов в большом телесном угле даже со дна глубоки. . пор. Затем вторпч15 пые электроны ускоряются электрическим полем и попадают па коллектор.
Предмет изобретения
Держатель образцов для растрового элект20 ронного микроскопа, отличпюитийся тем, что, с целью получения изображения глубоких пор в исследуемых образцах, он выполнен в виде магнита, »а полюсе которого закреплен образец, размещенного внутри магнитопровода с
25 зазорозп
402965
Составитель И. Ратенберг
Текред E. Борисова
Корректоры: О. Усова и Т. Хворова
Редактор А. Пейсоченко
Подписное
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 510/7 Изд. ¹ 2042 Тирани 780
ЦНИИПИ Государствс1шого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, )К-35, Раушская паб., д. 4/5
