Способ получения изображения диэлектриков в электронном микроскопе
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕй И
405I4I
Союз Советакик
Социалиетииеских
P ll тбйик
К АВТОРСКОМУ, СВИДИВЙЬСТВУ,:>ависимо» OI авт. свидет< „0.ñòtа №вЂ”
М Кч Н Olj 37/26
Заявлено 26.X,1971 (№ 1708819/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 22.Х.1973. Бюллетень № 44
Дата опубликования описания 12.VI.1974
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
УДК 621.385.833 (088.8) Авторы изобретения
Г. В. Спивак, Э. И. Рау, В. И. Петров и А. E. Лукьянов
Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. М. В. Ломоносова
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧеН ИЯ ИЗОБРА)КЕН ИЯ
ДИЭЛЕКТРИКОВ В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ
Изобретение относится к области электронной микроскопии.
Известен способ получения пзобра>кения диэлектриков в электронном микроскопе путем разрядки поверхности пучком медленных электронов, формируемых вспомогательной электронной пушкой (приставка к микроскопу 1ЕМ вЂ” 100U для получс ия электронограмм па отражение с диэлектрических образцов).
Способ нейтрализации поверхностного заряда путем облучения диэлектрического ооразца пучком медленных электронов не дает хороших результатов в растровом электронном микроскопе (РЭМ) с высоким ускоряющим напряжением и хорошим геометрическим разрешением .при работе в режиме сбора вторичных электронов из-за сильного фона отра>кенных от образца электронов, используемых для разрядки поверхности.
Цель изобретения — уменьшение влияния фонда вторичных электронов от п чка медленных электронов HB формирование изображения диэлектрических образцов в РЭМ.
Цель достигается тем, что при осуществлении предлагаемого способа получения изображений в РЭМ нейтрализацию поверхностного заряда пучком медленных электронов производят только во время обратного хода строчной развертки первичного пучка, формирующего изображение, 2
Пучок медленных электронов попадает на образец только в те моменты времени, когда информация о состоянии поверхности образца, переносимая вторичными электронами, выбитыми первичным растрирующим пучком, не отобра>кается на экране электронно-лучевой трубки РЭМ; тем самым осуществляется разрядка поверхности образца без ухудшения геометрического разрешения и появления вредц ного фона (в видеосигнале) отраженных от образца электронов из вторичного пучка.
Блок-схема устройства, реализующего предлагаемый способ, представлена на чертеже.
1,-, В колонне 1 РЭМ с диэлектрическим образцом 2, облучаемым первичным пучком 8 электронов, установлена пушка 4 медленных электронов, которая нормально заперта и отпирается положительнымп импульсами, поступающими на ее модулятор от формирователя
5, запускаемого гасящими импульсами обратного хода строчной развертки с впдеоблока 6.
Первичный пучок > электронов развертывается по поверхности образца 2 и.заряжает ее, 25 если проводимость образца мала и не работает пушка 4, При включении пушки 4 паложитсльнымп им ульсамн, поступающими от формирователя б в те моменты времени, когда изображение на экране ЭЛТ видеоблока от30 сутствует, эта пушка обеспечивает (при под405141
3 боре соответствукицего тока и ускоряющего напряжения) разрядку образца после прохождения каждой строки. При этом фон медленных электронов, генерируемых пушкой 4, не накладывается на,полезный видеосигнал. 5
Составитель И. Ратенберг 1ехред 3, Тараненко
Ргдактор И. Орлова
Корректор О. Тюрина
Изд, № 1052 Тираж 768
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 701
Подписное
Загорская типография
Предмет изобретения
Способ получения изображения диэлектриков в электронном микроскопе, например в раствором, с нейтрализацией пучком медленных электронов поверхностного заряда на образце, вносимого первичным электронным пучком, формирующим изображение, отличаюи1ийся тем, что, с целью уменьшения влияния фона вторичных э. IpKTpoHOB от пучка медленных электронов на формирование нзооражепия, нейтрализацию поверхностного заряда производят во время обратного хода строчной
10 развертки первичного пучка.
