Патент ссср 418920

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 12.VII.1971 (№ 1679616/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 05.III.1974. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 25Х11.1974

М. Кл. Н Olj 37/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 621,385.833 (088.8) Авторы изобретения

Ю. М. Воронин, И. П. Деменченок и P. Ю. Хайтлина

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ИЗОБРАЖЕНИЯ

Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам для контроля фокусировки изображения в электронном микроскопе.

Известны устройства, содержащие термопластический материал, фокусирующую линзу и экран, служащие для воспроизведения пучком света изображения, зафиксированного на термопластике.

Целью изобретения является разработка устройства для одновременного наблюдения изображения и его двухмерного спектра пространственных частот непосредственно в процессе исследования.

Цель достигнута благодаря тому, что в плоскости изображения электромагнитной линзы установлен экран, часть которого выполнена из катодолюминесцентного материала, а другая часть — из термопластического материала. Предложенное устройство позво,ляет наблюдать электронное изображение на катодолюминесцентном экране, а его спектр пространственных частот — на световом экране спектроанализатора.

На чертеже показано предложенное устройство.

Из электронной линзы 1 электронные лучи попадают на катодолюмипесцентный экран 2 и регистрирующую пластину 3. Световые лучи проходят через линзу 4, регистрирующу|о пластину 3 и отражаются зеркалом 5 на экран 6. Электронная линза создает на катодолюмиHeñöåHTHом экране и регистрирующей пластине изображение исследуемого объекта.

Наблюдая па экране 2 изображение, можно

5 выбрать нужный участок для исследования и провести предварительную фокусировку изображения путем изменения тока в объективной линзе.

Электронное изображение, спроектирован10 ное на регистрирующую пластину 3, вызывает локальное изменение ее светорассеивающей способности в соответствии с распределением плотности электронов. Для получения спектра пространственных частот изображения пучок

15 когерептных световых лучей направляется на регистриру.ощую пластину, проходит через нее и фокусируется линзой 4 на экране 6. Вследствие рассеяния света на оптических неоднородностях регистрирующей пластины, возник20 ших под дейс.:вием электронного облучения, на экране 6 образуется дифракционная картина, представляюгцая собой спектр пространственных частот изображения.

При изменении тока в объективной линзе

25 из-за совместного действия дефокусировки H аберраций объек",ива изменяется спектр пространственных частст электронно-микроскопического изображения. В зависимости от того, какие пространственные частоты объекта

30 необходимо регистрировать на изображении с

418920

Предмет изобретения

& л юЯюр луии

Составитель Г. Жукова

Редактор Т. Орловская Техред 3. Тараненко Корректор Н, Аук

Заказ 1768/7 Изд. № 576 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, д. 2 па контрастом, устанавливается соответствующая величина дефокусировки, при которой обеспечивается оптимальная передача нужного спектра пространственных частот объекта.

Устройство для фокусировки изображения в электронном микроскопе, содержащее электромагнитную линзу, катодолюминесцентный экран и анализатор спектра пространственных частот, отличающееся тем, что, с целью одновременного наблюдения изображения и его двухмерного спектра пространственных частот непосредственно в процессе проведения исследования, в плоскости изображения электромагнитной линзы установлен экран, часть которого выполнена из катодолюминесцентно10 го материала, а другая часть — из термопластического материала.