Ан ссср

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 17.Х1.1970 (№ 1494142/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 17ЛЧ.1973. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 5Х11.1973

М. Кл. Н Olj 37/26

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

УДК 621.385.833(088.8) Автор изобретения

М. С. Поляков

Заявитель

Специальное конструкторское бюро института кристаллографии

АН СССР

СТОЛИК ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к области электронной микроскопии, Известны,наворотные, охлаждаемые жидким гелием столики к электронным микроскопам, состоящие из корпуса, охлаждаемого жидким азотом, и держателя объекта, охлаждаемого жидким гелием. Держатель выполнен в виде резервуара с каналом для прохождения электронного луча и .помещения объекта. Жидкий гелий:подводится и отводится по двум металлическим трубкам, впаянным в резервуар.

Поворот осуществляется посредством толкателей с приводом, выведенных за пределы рабочей камеры. Стабильное;положение центра поворота в точке пересечения оптической оси с плоскостью объекта, именуемой впредь

«точкой наблюдения», достигается направляющими в виде двух цилиндрических или сферических салазок с центром кривизны, совпадающим с точкой наблюдения, Кинематическое замыкание обеспечивается пружинами или подгонкой базовых поверхностей. Салазки и толкатель, а та кже трубки Б месте ввода в камеру теплоизолированы

По воротные, охлаждаемые жидким гелием столики к электронным микроскопам должны отвечать следующим требованиям: они должны быть малогабаритными,так как объем рабочих камер электронных м икроскопов ограничен, и столики с объектами приходится, вводить в камеру через люки малых размеров. При этом желательно иметь гелиевые резервуары .по возможности большими, так как это обеспечивает лучшую стабильность температуры. Следовательно, стоит задача уменьшения размеров промежуточных деталей и устройств; наклоняемый резервуар, являющийся держателем объекта и охлаждаемый жидким гелием, должен быть надежно теплоизолирован.

Этого можно достигнуть путем выбора соответствующих материалов для промежуточных деталей, уменьшения их поперечного сечения и увеличения длины; центр поворота должен совпадать с наблюдаемой точкой с точностью, по крайней мере, соизмеримой с птолем зрен ия микроскопа.

Для этого кинематическое замыкание между наклонным резервуаром и корпусом должно

20 быть надежным, перемещения должны быть тонкими и плавными, в противном случае трудно удержать исследуемый участок объекта в поле зрения и в фокусе, В известных конструкциях столиков проме25 жуточные детали громоздки по сравнению с гелиевым резервуаром, теплоизоляция затруднена ввиду больших площадей контакта. Плавности поворота и четкого кинематического замыкания трудно добиться из-за жесткости про30 водящих гелий трубок. В случае малых за377922 зоро в в кинематических парах и сильных пружин возникают значительные силы трения, особенно заметные в вакууме.

Цель изобретения состоит в уменьшении габаритов столика, а также повышении теплоизоляции резервуара для хладагента и повышении плавности поворота держателя.

Эта цель достигается тем, что устройство для сохранения центра поворота в точке наблюдения выполнено в виде двух симметричных относительно оптической оси пластин из теплоизолирующего материала, например кварца, шарнирно связанных с держателем объекта и корпусом, причем в исходном положении держателя центры шарниров расположены на прямых, пересекающихся IB точке на бл юдени я.

Столик,,выполненный в соответствии с предлагаемым изобретением, представлен на чертеже.

Он состоит из резервуара 1 с каналом для прохождения электронного луча и помещения ооъекта исследования. В резервуар впаяны трубки 2 для подвода и отвода жидкого гелия так, что их направление перпендикулярно плоскости по ворота. К резервуару с двух сторон шарнирно присоединены две пластины 3 из твердого теплоизолирующего материала, например кварца. Другими концами эти пластины шарнирно присоединены к корпусу 4, охлаждаемому, например, азотом из бачка 5, принадлежащего микроскопу. Корпус создает вокруг гелиевого резервуара зону пониженной температуры .и,,в свою очередь, крепится через изолирующую шайбу б к,предметному столику микроскопа 7. Наклон осуществляется посредством кварцевого пальца 8, упертого в подпятник 9 на,резервуаре и связанного с толкателем 10, принадлежащим микроскопу.

Кинематическое замыкание обеспечивает пружина, не показанная на чертеже, и действуюющая .на резервуар через кварцевую подушку. Шарниры к варцевых пластин расположены так, что .в среднем положении механизма объект находится в точке «0» пересечения п рямых, проходящих через центры шарнйров. При такой геометрии центроида точки «0» для ма;!ûõ углов наклона оказывается весьма небольшой, соизмеримой с полем зрения микроскопа, и «уход» точечки «0» в предметной плоскости легко компенсировать подвижкой предметного столика, а уход вдоль оптической оси является величиной второго:порядка по отношению к первой и соизмерим с глубиной резкости. Вследствие того, что трение в шарнирах весьма невелико, шарниры на кернах или игольчатых осях возможно вьгполнить с большой точностью, пружина служит лишь для возврата механизма ia исходное .положение и не участвует в кипе матическом замыкании между резервуаром и корпусом, перемещение оказывается весьма плавным.

Благодря тому, что в контакте с гелиевым резервуаром находятся только иварцевый палец толкателя и кварцевые пластичны, длина которых велика по сравнению с площадью поперечного сечения, теплоизоляция резереуара весьма высока.

Предмет изобретения

Столик для электронного микроскопа, включающий корпус, держатель объекта,,выполненный в виде резервуара для хладагента с трубопроводами и коническим каналом для прохождения электронного луча и помещения объекта, привод поворота держателя и устройство для сохранения центра поворота в точке наблюдения, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов столика, а также повышения теплоизоляции резервуара для хладагента и плавности поворота держателя, устройство для сохранения центра, поворота в точке наблюдения выполнено в,виде двух сим4о метричных относительно оптической оси .пластин из теплоизолирующего материала, например кварца, шарнирно связанных с держателем объекта и корпусом, причем в .исходном положении держателя центры шарниров рас45 положены на прямых, пересекающихся в точке наблюдения.

377922

B Р 5 1

Составитель Ю. Нагорных

Корректоры: А. Николаева и Е. Давыдкина

Редактор Б. Нанкина

Техред Т, Ускова

Типография, ир. Сапунова, 2

Заказ 184179 Изд. № 1500 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5