Электронный микроскоп

4 т

О П И С А Й Й Е 355926

ИЗОБРЕТЕНИЯ еюз Советских О! иалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 23.1V.1971 (№ 1647901, 26-25) М. Кл. Н Olj 37 26 с присоединением заяв ки № гасударственный комите1

Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий

Приоритет

Опубликовано 28Х111.1973. Бюллетень № 35

УДK 621.385.833(088.8), Дата опубликования описания 8.1.1974

Авторы изобретения

П. А. Стоянов и В. В. Мосеев

Заявитель

ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП 1

Известны электронные микроскопы, солержа|щие колонну, включающую в себя осветительную систему, объектив с магнитопроводом. Нижняя часть магнитопровола обычно

;крепится накилной гайкой или винтами к нижней части колонны, а верхняя — аналогичным образом сочленяется с осветителем.

При этом впешняя часть магнитопровола объектива несет на себе массу всей верхней части колонны. Одна ко при вибрациях колонны электронного микроскопа из-за значительной массы осветителя (около 100 кг) внешняя часть магнитопровода объектива,периодически деформируется. Возникающие при деформациях механические напряжения в магнитопроволе периодически изменяют магнитные свойства материада магнитопровода. Возникающие вибрации порождают переменную составляющую магнитного потока объектива, что приводит к размытию изображения и ухудшению разрешающей способности электронного микроскопа.

В микроскопах при вибрациях за счет деформа|ции внешней его части происходят колебания полюсов полюсного наконечника, что размывает изображение и снижает разрешающую способность электронного микроскопа. При вибрациях возникают колебания механизма, перемещения столика объекта, так ка к отеха низм перемещения крепится к периодически леформируемому мап;итопроводу объектива. В результате возникают колсоания каретки столика с объектом, что уылшает разрешающую способность микроскопа.

5 Цель изобретения — повышение разреша|ощей способности электронного микроскопа за счет исключения влияния недостаточной леформациопной стойкости ма|териала магнитопровода объектива на его работу при виб10 рациях и устранения колебаний полюсов объектива и механизма перемещения столика объектов, возникающих при вибрациях.

Это достигается ввелением дополнительного опорного элемента, установленного кон15 центричпо с магпитопроволом объектива и отделенна я от него зазором, причем верхний конец опорного элемента соединен с осветителем микроскопа, а нижний — с нижней частью колонны микроскопа.

20 На чертеже представлена схехта предлагаемого микроскопа.

Магнитное поле линзы образуется между полюсами 1 и 2 полюсного наконечни ка. Каретка 8 столика объектов с исследуемым объ25 ектом 4 приводится в движение механизмом

5. Для исключения деформации магнитопровола и возникновения в нем механических напряжений, порождающих отеременную составляющую магнитного потока в объективе, 30 имеется специальный наружный опорный эле395926

10

l

2 . —." аь::..=-.;,-:,Й " г

Я, ф

Тираж 780 Подписное

Л 30

Заказ 3502114

Изд.

ЦНИИПИ

Типография, пр. Сапунова, 2 мент б, который крепится, например, винти;!!

7 к нижнему торцу обьектива ("!ли к ниж.. !! части колонны 8), а весь узел крепится и нижней часги колонны накидпой гай кой 9.

Осветитель 10 микроскопа жестко крепится к элементу 6. Корпус отделен от ма;.нитопровода небольшим зазором..г ля герметично о (вакуумплотного) соединения верхней части колонны и объектива служит кольцо 11 3 эластомера, например, из оезипы. Можно также применять сильфон. Таким образом, вакуумное уплотнение нс образует жесткой механической связи межд - верхней частью колонны и фланцем магнитопровода 12.

Такая конструкция обеспечивает полную механичеокую развязку между осветителем и магнитопроводом. Поэтому при вибра циях колонны микроскопа колебания осветителя (из-за его большой массы) в данном случае деформируют о порный элемент 6, е являющийся магнитопроводом (он отделен зазором; кроме того, его можно изготовить из немагнитного материала ). В магнитопроводе при вибрациях переменных напряжений не возникает. Тем самым ликвидируется возможность возникновения переменной составляющей магнитного потока.

Предлагаемая конструкция опорного узла, благодаря развязке корпуса и ма гнитопровода, обеспечивает отсутствие колебаний полюсов1и2.

Корпус механизма 6 привода столика объектов закреплен на обечайке 18, которая при вибрациях не изгибается. Поэтому каретка 8 при вибрациях остается неподвижной по отношению к фокусирующему полю. В результате разрешающая способность микроскопа не ухудшается.

Предмет изобретения

Электронный микроскоп, содержащий колонну, выключающую в себя осветительную систему, объектив с магнитопроводом, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, он содержит опорный элемент, установленный концентрично с магпитопроводом и отделенный от него зазором, причем верхний конец опорного элемента соединен с осветительной системой, а нижний— с нижней частью колонны микроскопа.