Устройство для подачи порошковых материалов

ОПИ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сощиалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17.V1.1971 (№ 1672596/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.XI.1973. Бюллетень № 46

Дата опубликования описания 17Х.1974

М. Кл. С 23с 13/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР ео делам изабретеиий и открытий

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

А. H. Бушмин, С. П. Верзунов, В. А. Демьяненко, Г. А. Франк и В. В. Шайкин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ПОРОШКОВЬ1Х МАТЕРИАЛОВ

В ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для подачи порошковых материалов в испаритель.

Известно устройство для подачи порошковых материалов в испаритель, содержащее бункер, дозатор, вибратор и лоток.

Однако известное устройство не обеспечивает равномерного распределения порошкообразного материала по площади испарителя.

Цель изобретения — обеспечение равномерного распределения порошкообразного материала по площади испарителя.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве дозатор и лоток жестко связаны с вибратором, причем дозатор выполнен в виде пружинной сетки.

На чертеже представлена конструкция предложенного устройства.

Устройство состоит из бункера 1 со сквозной вертикальной полостью, дозатора, выполненного в виде пружинной сетки 2, вибратора 3 и лотка 4. Вибратор 3 штоком 5 жестко соединен с лотком 4 и дозатором. Пружинная сетка 2 изготовлена, например, из сваренных между собой плоских пружинных элементов, и закреплена в держателях 6. Скоба 7 служит для закрепления деталей устройства.

Испаритель 8, напримс плоская вольфрамовая пластина, может I одогреваться, электрическим током или другим способом. Тепловой экран 9 предназначен для защиты устройства от теплового излучения испарителя 8.

Подложка 10 служит для напыления на нее топкой пленки.

Элементы 11 пружинной сетки показаны в положении, когда пружинная сетка 1 находится в растянутом состоянии (шток 5 вибратора совершил перемещение в направлении стрел10 ки А).

Порошкообразный материал, находясь в бункере 1, не просыпается на лоток 4, так как этому препятствует пружинная сетка 2, которая при отключенном вибраторе 3 нахо15 дится в сжатое! состоянии.

Устройство работает следующим образом.

После того, как в бункер 1 устройства загружен порошкообразный материал (например

20 резистивный сплав в виде порошка), создан рабочий вакуум в вакуумной установке, где находится описываемое устройство, а также разогрет до необходимой температуры испаритель 8, включается вибратор 3 устройства

25 для подачи порошкообразного материала в !!спар>!тель 8. При работе вибратора 3 шток 5 вибратора приводит в движение лоток 4 и прикрепленный к нему посредством держателя 6 конец пружинной сетки 2, так, что они

30 совершают периодические возвратно-поступа406973

Соста внтель Л. Анисимова

Редактор И. Шубина

Техред 3. Тараненко

Корректор Н. Аук жиниан септик. тянул а) Типография, пр. Сапунова, 2 тельные движения, направления которых показаны на чертеже стрелками А и Б.

При движении подвижной части устройства (лотка 4 и прикрепленного к нему конца пружинной сетки 2) в направлении стрелки А зазоры между элементами 11 пружинной сетки 2 увеличиваются от нуля до максимума.

При движении в направлении стрелки Б зазоры уменьшаются от максимума до нуля или же до значений, определяемых размерами зажатых между элементами 11 пружинной сетки 2 частиц порошкообразного материала, не успевших проскочить сквозь пружинную сетку 2 до ее сжатия в конце движения. За этот цикл порция сыпучего материала просыпается из бункера 1 сквозь пружинную сетку 2 на лоток 4. Б течение следующего цикла движения просыпается следующая порция порошкообразного материала и так далее, причем эти порции движутся по лотку 4 к испарителю 8, распыляясь движущимся лотком 4 в облако частиц порошкообразного материала, которое и осаждается на испаритель 8, покрывая его поверхность равномерным слоем.

По мере испарения порошкообразного материала в направлении, указанном стрелкой В, т. е. в направлении подложки 10, новые порции материала покрывают испаритель 8. Так

5 продолжается до тех пор, пока на подложке 10 не окажется пленка нужной толщины.

После этого вибратор 3 выключается и весь процесс прекращается, так как при выключенном вибраторе пружинная сетка 2 сжата и

10 не пропускает сыпучий материал в лоток 4.

Регулировка скорости подачи сыпучего материала и степени его рассеяния по площади испарителя может производиться за счет изменения амплитуды или частоты вибрации.

Предмет изобретения

Устройство для подачи порошковых материалов в испаритель, содержащее бункер, дозатор, вибратор и лоток, отличающееся

20 тем, что, с целью обеспечения равномерного распределения порошкообразного материала по площади испарителя, дозатор и лоток жестко связаны с вибратором, причем дозатор выполнен в виде пружинной сетки.

Заказ ТП 16 Изд. X- 1035

Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитет-l. Совета Министров

СССР по делам изобретений

fI открытий

Москва, Ж-35, Ра гпскав нг15., д. 4,. 5