Установка для нанесения покрытий

О П И С А Н И Е 405973

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Загисимое от эвт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 26.VI.1969 (¹ 1340276I29-33) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 05.Х1.1973. Бюллетень № 45

Дата опубликования описания 11.II.1974.Ч. Кл. С 23с 13/08

С 03с 17/04

Государственный коинтет

Совета 1нннмстроа СССР м делам мзобретеннй и отнрытмй

УД К 621.793.14 (088.8) Авторы изобретения К. В. Бородкин, В. Д. Максименко, A А. Гордеев, Ю. В. Фадеев и Л. А. Луковников

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к установкам для изготовления астрономических зеркал.

Известна установка для нанесения покрытий на подложку, содержащая камеру, основание, диск испарителей, вакуумные насосы, контролирующую и измерительную аппаратуру.

Целью изобретения является получение покрытий на крупногабаритных подложках разных профилей.

Это достигается тем, что диск испарителей установлен на байонетной опоре с юстировочным механизмом, а камера снабжена кольцес бразной трубкой из вакуумной резины, соединенной с устройством для подачи воздуха.

На фиг. 1 изображена описываемая установка в сборе, вид спереди; на фиг. 2 — то же, вид в плане; на фиг. 3 — камера вакуумной установки; на фиг. 4 — диск испарителей, на фиг. 5 — технологическое основание.

Установка содержит вакуумную камеру 1, в котор< и происходит рабочий процесс нанесения покрытия, диск испарителей 2, основание

3, предназначенное для размещения на нем зеркал с размерами меньшими 6050 лл. Кроме того, имеются вакуумные насосы4,два из которых служат для создания предварительного разряжения (форвакуума) в камере, а два других — для работы с вакуумными агрегатами 5, предназначенными для создания разрежения в камере. В качестве коммуникаций б могут быть коллекторы, клапаны, трубы, воздухопровод и т. д.

Вакуумная установка неподвижно смонтирована на железобетонном кольце 7 в здании.

Камера вакуумной установки представляет собой цельносварную оболочку, выполненную в виде сочетания цилиндрической 8, конической 9 и сферической 10 поверхностей, скрепIp ленных для создания жесткости и устойчивости кольцевыми шпангоутами и стрингерами.

Роль шпангоутов выполняют кольца 11 из фасонных труб, опоясывающие камеру, а стрингеров — шесть ламп 12 арочного типа, которыми камера опирается на железобетонное кольцо. Сферическая обечайка камеры имеет люк 18, служащий для поставки испарительного диска.

К конической части камеры приварены восемь патрубков с фланцами 14, к которым подсоединяются высоковакуумные агрегаты, создающие разрежение в вакуумной установке порядка (1+5) 10 л л рт. ст. На цилиндрической части камеры предусмотрено кольцевое резиновое уплотнение 15, позволяющее при нанесении покрытия на зеркало диаметром

6050 льи разделять объем, загрязненный смазкой и разного рода включениями, от объема, в котором производится покрытие. Объемы

30 гермстизируют по периферии зеркала подду405973 вом уплотнителя сжатым воздухом. В опорном кольце 16 камеры имеются две кольцевые проточки под уплотпительные шнуры 17 и 18, при помощи которых уплотняют камеру с основанием или оправой зеркала.

Для совмещения основания или оправы зеркала в вакуумной камере в диаметрально противоположных плоскостях предусмотрены четыре упорных винта 19, размещенных в кронштейнах 20. Ориентирами для регулирования служат четыре направляющих штыря 21„ ввернутые в опорное кольцо камеры. Камера скрепляется с основанием болтами 22.

Для нанесения отражающих покрытий и размещения испаряемого материала предусмотрен диск испарителей, который подвешен IIa байонетной опоре 28 в сферической части вакуумной камеры. Испаряемый материал крепится в юижней части испарителя на специальных столбиках 24 по трем концентрическим окружностям 25. В верхней части диска имеется три регулировочных винта 26, фиксируемых гайками и предназначенных для юстировки испарителя. На испарителе предусмотрены три экрана 27, служащих для защиты поверхностей, не подлежащих покрытию испаряемыми веществами. В этих экранах выполнены три вертикальных паза, необходимых для регулировки их.

Основание по форме представляет часть сферы, в частности шаровой сегмент. В верхней части имеется опорное кольцо 28, соприкасающееся при стыковке с кольцом камеры.

Опорное кольцо основания имеет отверстия под крепежные болты и направляющие штыри.

В верхней части основания расположена кольцевая площадка 29, предназначенная для установки зеркал и установленная на обечайку 80, которая приварена к внутренней поверхности сферической оболочки 81. Для большей жесткости основания предусмотрены радиальные ребра 82, замыкающиеся в центре па трубе 88.

В нижней части к оболочке приварены четыре бабышки 84 и три бобышки 85, К бобышкам

84 с помощью болтов крепятся четыре подвески с колесами, служащие для транспортирования основания по рельсам. К бобышкам 85 фиксируются штифтами и крепятся болтами три вертикальных штыря 86. Основание и оправа зеркала поднимаются и опускаются домкратами, имеющими идентично расположенные со штырями гнезда. При работе домкраты подпирают штыри, воздействуя таким образом на основание.

В состав коммуникаций установки входят коллекторы (левый 87 и правый 88), трубы байпаса (левого 89 и правого 40), выхлопные коллекторы 41 и 42, восемь стояков 48 с вакуумными клапанами и выхлопные трубы 44 и 45.

К коллекторам присоединены соответственно трубы 46 и 47. Каждый из этих коллекторов через стояки объединяет четыре вакуумных агрегата. На трубе правого байпаса 40 имеется патрубок, к которому крепится вакуумный клапан с воздушным фильтром 48, служащий для запуска очищенного воздуха из атмосферы в вакуумную установку по окончании процесса нанесения покрытий.

Установка работает следующим образом.

Диск испарителей 2 загружают веществом.

Изделие, подлежащее покрытию, устанавливают в камеру 1 либо в оправу или на технологическое основание 8. Домкратами через направляющие штыри 21 основание с изделием поднимают до соприкосновения с опорным кольцом 16 камеры и скрепляют с основанием болтами 22. Герметизация объема достигается с помощью уплотнительных шнуров 17 и 18.

Пред.lpT изобретения

1. Установка для нанесения покрытий на подложку, например, из стекла, содержащая камеру, основание, диск испарителей, вакуумные насосы, контролирующую и измерительную аппаратуру, отличающаяся тем, что, с

4р целью получения покрытий на крупногабаритных подложках разных профилей, диск испарителей установлен на байонетной опоре с юстировочным механизмом.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью создания герметичности, камера снабжена кольцеобразпой трубкой из вакуумной резины, соединенной с устройством для подачи воздуха.

405973

55 57 5с7 2У

4uz. 5

Составитель С. Орлова

Техред А. Камышникова

Корректор Е. Хмелева

Редактор Г. Кузьмина

Изд. ¹ 264 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного Комитета Ссвета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская неб., д. 4/5

Заказ 85

Типография № 24 Союзполиграфпрома, Москза, 121019, ул. Маркса — Энгельса, 14