Всесоюзная

О П И С А Н И Е 368676

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено ЗО.IV.1970 (№ 1428971/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.1.1973. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 26.111.1973

М. Кл. Н Olj 37/26

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.385.833(088 8) Автор изобретения

В. М. Артемов

11.

БИБЛИО е.;,- »

Заявитель

СПОСОБ ЭЛЕКТРОННО-СТРУКТУРНОГО АНАЛИЗА

ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ С ПОМОЩЬЮ

ЭЛЕКТРОНОГРАФА МЕДЛЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

Изобретение относится к способам электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью дифракции медленных электронов и может быть применено в растровой электронной микроскопии.

Известны способы электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью электронографа медленных электронов, включающего в себя дифракционную камеру, содержащую электронную .пушку. Пушка формирует пучок медленных электронов, зондирующих поверхность исследуемого образца, который располагается в центре сферического экрана, покрытого с внутренней стороны флуоресцирующим составом. В результате взаимодействия зондирующих электронов с кристаллической структурой образца возникают дифрагированные электронные пучки, которые, пройдя через систему селектирующих сеток, создают на экране дифракционную картину. Рисунок этой картины (расположение рефлексов, их интенсивность и т.,п.) зависит от структуры поверхности образца.

После расшифровки дифракционной картины можно судить о строении кристаллической структуры исследуемой поверхности.

При исследовании поверхностей известным способом электронно-оптическая ось камеры расположена горизонтально. Это приводит к искривлению траектории пучка зондирующих электронов из-за влияния магнитного поля

Земли. Для компенсации магнитного поля

Земли электронографы снабжают катушками

Гельмгольца и отдельным источником для

5 их,питания.

Цель изобретения — увеньшение влияния магнитного поля Земли»а зондирующий и дифрагированные пучки электронов более простыми средствами.

10 Поставленная цель достигается установкой дифракцион ной камеры таким образом, что ее электронно-оптическая ось располагается в плоскости магнитного меридиана под углом магнитного наклонения. При этом магнитное

15 поле Земли оказывает фокусирующее действие на зондирующий пучок в дрейфовом пространстве, поскольку он движется вдоль магнитного поля Земли.

Изобретение позволяет отказаться от гро20 моздких катушек Гельмгольца и источныка их питания, что упрощает прибор.

На чертеже изображен электронограф, дифракционная камера которого расположена предложенным способом.

25 Электронограф содержит электронную пушку 1, экран 2, селектирующие сетки 8, дифракционную камеру 4, исследуемый образец 5, смотровое окно (.

Электронная пушка 1, расположснная с

30 обратной стороны экрана 2, находящаяся в

368676

Предмет изобретенкя

Корректоры: Е, Михеева и А. Степанова

Составитель Г. Горчакова

Заказ 614/11 Изд. М 181 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 д ифракционной камере 4 и формирующая зондирующий пучок медленных электронов, установлена,под углом к горизонту, причем этот угол равен углу магнитного наклонения и находится в плоскости магнитного меридиана. В центре экрана на электронно-оптической оси пушки располагается исследуемый образец 5. Смотровое окно б, являющееся одновременно частью вакуум но-оптической оболочии ди фракционной камеры, позволяет наблюдать дифракцию медленных электронов. Пучок медленных электронов, сформированный электронной пушкой 1, направлен нормально к поверхности исследуемого образца б, который находится на электроннооптической оси прибора. С,помощью гибкого рукава электронно-оптическая ось, а следователыно, и траектория движения зондирующего пучка медленных электронов устанавливаются,под углом магнитного наклонения.

Поворотным устройством (на чертеже не показано) осуществляется его совмещение с плоскостью магнитного меридиана. Совмещение, таким образом, траектории движения пучка зондирующих электронов с вектором магнитного поля Земли исключает искривлен ие траектории, пучка под действием этого поля. Более того, оно оказывает положительное фокусирующее действие на зондирующий

5 пучок,в дрейфовом пространстве. Дифрагированные пучки, выходящие под брэгговскими углами, испытывая постоянное действие магнитного поля Земли, создают симметричную дифракционную картину на флуоресцирую10 шем экране, которая наблюдается через смотровое окно б дифракционной камеры 4.

15 Способ электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью электронографа медленных электронов, включающего в себя дифракционную камеру, отличаюи ийся тем, что, с целью уменьшения влия20 н ия магнитного, поля Земли на зондирующий и дифрагированные пучки электронов, дифраыционную камеру устанавливают таким образом, чтобы ее электронно-оптическая ось была расположена в плоскости магнитно25 го меридиана под углом магнитного наклонения.