Устройство для формирования изображения в электронном микроскопе

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22.!!.1971 (№ 1620402!26-25) N. Кл. Н 01j 37!26 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.1.1973. Бюллетень ¹ 7

Дата опубликования описания 14.НI.1973

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР Д К 621. 385.833 (088.8) Авторы изобретения В. А. Коноваленко, В. С. Гурин, И. С. Лялько, Н. А. Грачев и Д. И. Кулак

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

Изобретение относится к области электронной митсроскопии.

В и звестных устройствах для формирования изображения в электро|ином ми кроскопе, содержащих объективную магнитную линзу и каскадный конденсорный блок, состоящий из короткофокусной и длиннофокусной магнитных линз, включгаощих в себя полюсные наконеч ниии со щелями, короткофокусная конденсорная ли|нза является однощелевой.

При помощи первой однощелевой конденсорной линзы нельзя одновременно получить наименьшее сечение электронного пучка и достаточную плотность тока в этом сечении.

Длиннофокусная,конденсорная линза в известных устройствах имеет отношение = 2,5, z„ где Z> — расстояние от средней плоскости длипнофокусной конденсорной линзы до средней плоскости объективной линзы;

Z0 — расстояние от средней плоскости первой ко нденсорной линзы до средней плоскости второй конденсорной линзы.

Та кое отношение ухудшает параметры конденсо рного блока, увеличивая наименьшее сечение пучка в 2,5 раза.

Электронные микроскопы с большим разрешением и электронные микроскопы-микроанализаторы требуют, чтобы диаметр наименьшего сечения электронного пучка, создаваемый т онденсорным блоком, был менее 1 лттс, а плотность тока в этом сечении 3 а сптз и бо5 лее.

В предлагаемом устройстве уменьшеште диаметра электронного пучка и увеличение плотности тока в плоскости ооъекта объективной линзы достигаются тем, что коротко10 фокусная кондепсорная линза выполнена в виде двухщелевой линзы, причем средняя плос Iio c 7 b p H H H 0 ô o,.c H o конде не о р н о и расположена на одинатсовом расстоянии от сред них плоскостей объективной линзы и вто15 рой щели короткофокусной конденсорной линзы, а размер щели полюсного наконечника длиннофокусной линзы совпадает с внутренним диаметром полюсного наконечника длиннофокусной линзы.

20 В результате изменения конструкции конденсорного блока достигается наименьшее сечение электронного пучка в плоскости объекта объективной линзы с диаметром менее

1 птк и плотностью тока 3 a! ñë -.

25 На чертеже схематически представлен каскадный конденсорный блок предлагаемого устройства.

Конденсорный блок содержит короткофокусную двухщелевую линзу 1 с двумя щелями

30 2 и 3. Первая конденсорная короткофокусная

3665!2

Предмет изобретения

Составитель Т. Горчакова

Техред Т, Курилко

Корректоры: В. Петрова и Е. Давыдкина

Редактор А, Батыгии

Заказ 480/10 Изд. М 113 Тира ж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

;кинза 1 расположена на входе электронного пучка, а вторая длиннофокусная линза 4 имеет общий магнитопровод б с первой линзой 1 и расположе на под ней. Каждая из линз имеет автономное электропита ние.

Каскадный конденсорный блок работает следующим образом.

Электронный пучок, созданный элект|ронной пу шкой, попадает в магнитное поле первого каскада первой двухщелевой конденсорной линзы 1. Магнитное поле этого,каскада формирует изображение кроссовсра пушки вблизи сред ней плоскости первой щели 2. Это изображение, я вляясь предметом для второго каскада, превращается магнитным полем второй щели 8 в изображение, расположенное вблиз и середней плоскости второй щели 8, что обеспечивает наименьшее сечение, пучка. Та:ким образом, пройдя через два магнитных поля, электронный пучок сжимается и на выходе |из пе рвой конденсорной линзы 1 и меет диаметр наименьшего сечения менее 1 лк, что позволяет получить плоиlocTb тока в этом сечении 3 аlсм . Вторая длиннофокусная конденсорная линза 4 без изменения пучка и плотности тока пе реносит наименьшее сечение в плоскость объекта объективной линзы.

Устройство для формирования изоб ражения в электронном микроскопе, содержащее объективную магнипную линзу IH каскадный конденсорный блок, состоящ|ий из коротко;

10 фокусной и дли ннофокусной мапнитных линз, включающих в себя полюсные наконечники со щелями, отличающееся тем, что, с целью уменьшения диаметра электро нного пучка и увеличения плотности тока в плоскости обьек15 та объективной линзы, короткофокусная конденсорная линза выполнена в виде двухщелевой линзы,.причем средняя плоскость длиннофокусной конде нсорной линзы, расположена на одинаковом расстоянии от средних плоско20 стей объек пивной линзы и второй щели короткофокусной конденсорной линзы, а размер щели полюсного на конечника длиннофокусной ли нзы со впадает с внутренним диаметром полюсного наконечника длиннофокусной

25 линзы.