Устройство для двусторонней доводки тонких пластин

Авторы патента:

B24B37/04 - для обработки плоских поверхностей

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

342420

Союз Советских

Сщнелистическнх

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 07.111.1969 (№ 1308554/25-8) е присоединением заявки №

Пр:иоритет

Опубликовано 08.11.1973. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 21.Ч.1973

М. Кл. В 24Ь 37/04

Яомнтет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621 923.3(088.8)

621,923.74 (088.8) Автор изобретения

В. И. Дюжиков

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ

ТОНКИХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к устройствам для двусторонней доводки тонких пластин и может быть использовано для доводки пьезокварцевых пластин, например высокочастотных кварцевых резонаторов.

В известных устройствах для двусторонней доводжи тонких пластин, состоящих из двух притиров и,размещенной между ними кассеты с обрабатываемыми деталями, кассета не разгружается от сил, которые появляются в процессе обработки в направлении плоскости кассеты. Это приводит к повышенному,износу ка ссеты и не позволяет производить обработку пластин тоньше 0,05 мм.

Предлагаемое изобретение дает возможность производить обработку пластин толщиной 0,025 мм.

Сущность изобретения заключается в том, что кассета и верхний притир приводятся в движение эксцентриками, расположенными в одном радиальном направлении от оси вращения вала, причем э ксцентриситет эксцентрика, приводящего в движение кассету,,вдвое меньше эксцентриситета эксцентрика, приводящего в движение верхний притир.

На чертеже изображено описываемое устройство;в разрезе.

Основными частями устройства являются неподвижный нижний кольцевой притир 1, кассета 2, радиально растянутая в кассетодержателе 8 и верхний кольцевой притир 4.

Кассета имеет отверстия 5, в которые закладываются обрабатываемые пластины б. Кассетодержатель и верхн ий притир приводятся

5 в движение эксцентриками 7 и 8 шпинделя 9.

Эксцентриситет эксцентрика 8 вдвое превышает эксцентриситет эксцентрика 7. Эксцентрик 7 связан с кассетодержателем 3 через шариковый подшипник 10. Эксцентрик 8

10 связан с верхи им кольцевым притиром 4 через шариковый подшипник 11 и обойму 12.

Кассетодержатель опирается на неподвижное горизонтальное, кольцо 18, установленное на трех, регулировочных винтах 14.

15 При вращении шпинделя 9 кассета 2 и верхний кольцевой притир 4 приводятся эксцентр иками во вращательно-поступательное движение. При этом кассета и верхний притир движутся всетда в одном направлении, 20 но скорость притира вдвое превышает скорость кассеты. Следовательно, относительно кассеты верхний и нижний п ритиры движутся в противоположных направлениях с равными скоростями, что разгружает кассету от сил, 25 действующих в направлении ее плоскости.

Предмет изобретения

Устройство для двусторонней доводки тонких пластин из .пьезояварца, напр имер высо30 кочастотных кварцевых резонаторов, в кассе342420

Составитель А. Савостин

Техред 3. Тараненко

Редактор В. Левитов

Корректор Е. Михеева

Заказ 1443/1 Изд. № 1315 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 те между двумя го ризонтально расположенными притирами, содержащее приводной вал с двумя эксцентриками, отлииа ощееся тем, что, с целью разгрузки кассеты от сил, возникающих при обработке, и возможност и обработки более тонких пластин (порядка

0,025. мм),, эксцентрики расположены в одном радиальном направлении от оси вращения вала и .соединены один с верхним притлро;1, 5 а другой вЂ” c кассетой.

Устройство для двусторонней доводки тонких пластин

Э. п. золотое и г. а. ливенскийnateiuho"vai;:r'^'pp:^ // 339391

Устройство для доводки плоскопараллельных пластин // 339120

Устройство для вибрационной обработки // 337238

Станок для доводки плоских поверхностей изделий // 333023

Притир для доводки плоскостей // 333022

Патент 330944 // 330944

Устройство для доводки торцов поршневых колец // 314628

Плоскодоводочный станок // 308858

Устройство для притирки плоскостей // 299337

Притир // 2119422

Изобретение относится к технологии абразивной обработки и может быть использовано преимущественно на операциях доводки, а также шлифования и полирования плоских, плоскопараллельных, цилиндрических и сферических поверхностей

Способ одностороннего полирования плоских поверхностей деталей // 2159173

Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра

Способ крепления пластин // 2192956

Изобретение относится к обработке шлифованием или полированием поверхности тонких хрупких пластин, применяемых, в частности, для производства электронных изделий, например кремниевых и сапфировых

Устройство для притирки плоских поверхностей // 2207945

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для притирки (доводки) плоских поверхностей деталей, например, уплотнительных поверхностей деталей запорной трубопроводной арматуры (золотника вентиля, клина задвижки) как в процессе производства, так и при ее ремонте

Способ химико-механического полирования // 2305621

Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление

Способ полирования поверхности подложки // 2320466

Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов

Партия сапфировых подложек и способ ее изготовления // 2412037

Изобретение относится к области обработки поверхностей сапфировых подложек шлифованием

Патрон к станку для полирования оптических деталей // 2056223

Устройство для плоской доводки // 2056267

Устройство для двусторонней доводки плоскостей // 2062213

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано для абразивной обработки плоскопараллельных поверхностей разнообразных машиностроительных деталей