Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

339772

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 23.Xl1.1970 (№ 1605997/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 24Х.1972. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 21.V1.1972

М. Кл. G 01Ь 9/02

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Авторы изобретения

Ю. П. Коитиевский, О. А. Клочкова и А. А. Холопова

Заявитель

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ

ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности к области контроля качества, плоских о птических поверхностей, и может найти применение в оптико-механической промышленности.

Известен интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и,наблюдательную системы, установленные под углом друг к другу и снабженные плоским светоделителем и плоским зеркалом каждая.

В известном интерферометре контролируемая и эталонная поверхности. находятся ча значительном расстоянии .друг от друга, что затрудняет возможность сохранения неизменной интерференционной картины в процессе измерений.

С целью повышения стабильности интерференционной картины в предлагаемом интерферометре для контроля качества .плоских оптических поверхностей угол между оптической осью осветительной системы и контролируемой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью на|блюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зеркала и светоделители установлены таким образом, что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферирующих пучках,,например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси <под теми же углами, что и зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых расстояниях от точки пересечения оптических осей наблюдательной и осветитель5 ной систем с контролируемой, поверхностью.

Оба интерферирующих лучка лучей отражаются от контролируемой <поверхности, благодаря чему небольшие смещения контролируемой детали значительно меньше влпяют,на

10 интерференционную картину, чем в известных интерферометрах.

На чертеже показана схема .предлагаемого интерферометра.

Интерферометр включает осветительную си15 стему 1 и наблюдательную систему 2. В осветительную систему входят источник 3 излучения, конденсор 4, диафрагма 5, объектив 6, светоделитель 7 и зеркало 8, Наблюдательная система включает зеркало 9 светоделитель 10, 20 объектив 11 и диафрагму 12.

Оптическая ось осветительной системы и оптическая, наблюдательность системы составляет различные углы с контролируемой плоскостью 18.

25 Предлагаемый интерферометр работает следующим об р а вом.

На контролируемую поверхность падают два пучка лучей. Углы падения этих пучков равны т1 и 4. Интерференционная картина

30 изучается наблюдателем, находящимся за

339772

Предмет изобретения

cos i, cos ig(cos ю, — cos i p) Составитель Лобзова

Редактор В. Новоселова

Техред Е. Борисова

Корректор Т. Китаева

Заказ 1774/2 Изд. № 699 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 диафрагмой 12. Если контролируемая поверхность не является абсолютно плоской, а имеет вид, нанример, сферы с большим радиусом, то для получения истинного отступления контролируемой поверхности от плоскости измерснную величину искривления полос равной толщины нужно умножить на дробь:

Предлагаемый интерферометр может применяться для контроля плоскостей большого размера. Световые диаметры объективов осветительной и наблюдательной систем могут быть в несколько раз меньше, чем размер контролируемой плоскости, так как оба интерферирующих,пучка отражаются от контролируемой плоскости, то интерферометр позволяет контролировать поверхности с любым коэффициентом отражения.

Интерферометр для контроля качества плоских оптических, поверхностей, содержа5 щий осветительную и наблюдательную системы, установленные,под углом друг к другу и снабженные:плоским светоделителем и плоским зеркалом каждая, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности интерферен10 ционной картины, угол между оптической осью осветительной системы и контролируе мой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зерка15 ла и светоделители установлены таким образом, что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферирующих пучках, например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси под теми

20 же углами, что зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых расстояниях от точки пересечения оптических осей наблюдательной и осветительной систем с контролируемой поверхностью.