Иотеиа |

ОПИСАНИЕ 3I5909

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 25.111.1970 (М 1418887/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 01.Х.1971. Бюллетень ¹ 29

Дата опубликования описания 29.XI.1971

МПК G 01Ь 9/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Авторы изобретения

В. И. Панкин, Н. H. Тонких и H. Г. Яценко

Заявитель

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ И ЗНАКА ОТКЛОНЕНИЯ

КОНТРОЛИРУЕМОЙ ПОВЕРХНОСТИ ОТ ПЛОСКОЙ ПРОБНОЙ

ПОВЕРХНОСТИ С ПРИМЕНЕНИЕМ ИНТЕРФЕРОМЕТРА

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть применено, и частности, для измерения неровности или Iipoгиба полупроводниковых пластин и многослойных структур. 5

Известен способ определения величины и знака отклонения контролируемой поверхностити от плоской пробной поверхности с применением интерферометра.

Величину отклонения по этому способу оп- 10 ределяют по расстоянию между интерференционными полосами, а знак — по направлению перемещения интерференционных полос.

Известный способ имеет ограниченный Iipeдел измерения величины отклонения контроли- 15 руемой поверхности от плоскости, поскольку зависит от длины волны света, создающего интерференционную картину.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что с целью расширения пределов 20 измерения величины отклонения, наводят объектив на плоскую пробную поверкность, совмещают визирную линию окуляра с фиксированной полосой интерференционной картины,,наблюдаемой iB окуляр, и снимают отсчет по отсчетному устройству, затем убирают пробную поверхность и вместо нее устанавливают контролируемую поверхность, совмещают визирную линию окуляра с той же фиксированной полосой путем перемещения объектива, снимают отсчет по отсчетпому устройству и по разности снятык отсчетов судят о величине и знаке отклонения.

В качестве примера осуществления способа можно привести определение величины и знака стрелы прогиба полупроводниковых пластин.

В лабораторных условияк измерение велич шы и знака прогиба полупроводниковых пластин можно произвести с помощью микроинтерферометра ЧИИ-4.

В качестве пробной поверкности можно использовать оптическое стекло с тщательно полированной поверхностью, котя может быть применен любой предмет из любого материала с достато шо отполированной рабочей поверхностью. Пробное стекло помещают перед объективом интерферометра и в окуляр наблюдают интерференционную картину.

Визирную линшо окуляра наводят на одну из полос интерференционной картины, напри»ер самую темную, и при этом берут отсчет

rro делениям, нанесенным на головку винта, перемещающего объектив.

Затем убирают пробное стекло, на предметный столик помещают полупроводниковую пласпшу, наводят объектив на контролируемую поверкность до получения четкой интерференционной картины, одновременно с этим визирную линшо окуляра совмещают с той же

3159О9

Составитель Л, Лобзова

Редактор К. Шанаурова Тскред E. Борисова

Корректоры: Н. Ф. Коваленко и Т. А. Бабакина

Заказ 3336 9 Изд. № 1408 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская иаб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 фиксированной интерференционной полосой, Перемещают пластину в плоскости, перпендикулярной оси объектива, берут отсчет по делениям на головке винта перемещения объектива в ряде точек, приблизительно в центре пластины, и по наибольшему (или наименьшему) от"чету (в зависимости от того, обращена пластина выпуклостью или вогнутостью к объективу) находят точку, в которой имеет место стрела прогиба. По направлению взятого наиоольшего (пли наименьшего) отсчета относительно отсчета, взятого при:наведении объектива на пробную поверхность, судят о знаке прогиба.

Поскольку измерение величины отклонения от плоской поверхности по предлагаемому способу нс связано с отсчетом полос интерференционной картины, которая служит в данном случае лишь для наведения на одну фиксированную полосу, наблюдаемую»а ней, то предел измеряемых величин отклонения не зависит от длины волны видимого света и ограничен лишь ходом винта перемещения объектива. Точность же измерения по предлагаемому способу ограничена ценой деления на головке винта обьектива.

Таким образом, предлагаемый способ прост в осуществлении, имеет высокую точность и может быть применен для измерения величины и знака отклонения от плоской поверхпо5 сти любых поверхностей.

Предмет изобретения

Способ определения величины и знака отклонения контролируемой поверхности от

10 плоской пробной поверхности с применением интерферометра, содержащего объектив, окуляр и отсчетное устройство, связанное с объективом, отличаюи ийся тем, что, с целью расширения пределов измерения величины откло15 пения, наводят об.ьектив на плоскую пробную поверхность, совмеш,ают визирную линию окуляра с фиксированной полосой интерференционной картины, наблюдаемой в окуляр, и снимают отсчет IIQ отсчетному устройству, за20 тем убирают пробную поверхность и вместо нее устанавлива1от контролируемую поверхность, совмещают визирную лини1о окуляра с той же фиксированной полосой путем перемещения объектива, снимают отсчет по отсчетному устройству и по разности снятых отсчетов судят о величине и знаке отклонения.