Интерферометр g двойным изображением полос интерференции света

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

335530

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства № 125393

Заявлено 15.Х.1970 (№ 1483983/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11 IV.1972. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 16Л .1972

М. Кл. G Olb 9/02

Комитет по делам изсбрвтениЯ и открытиЯ при Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Авторы изобретения

Я. М. Цейтлин, Л. С. Бабаджанов, И. А. Гофман, Б. А. Майоров и Г. Ш. Богданова

Заявитель

ИНТЕРФЕРОМЕТР С ДВОЙНЫМ ИЗОБРАЖЕНИЕМ ПОЛОС

ИНТЕРФЕРЕНЦИИ СВЕТА

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для линейных измерений с долемикрометровой ценой деления шкалы.

Известный интерферометр с двойным изображением полос интерференции света по основному авт. св. № 125393 содержит источник света, светоделительную призму, подвижное зеркало, укрепленное на измерительном стержне, относительное зеркало и призму двойного изображения.

Недостаток известного интерферометра заключается в том, что при измерениях больших перемещений подвижного зеркала счет числа подвижных полос затруднен, вследствие чего повышается утомляемость оператора, снижается производительность, надежность и достоверность измерений, Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что с целью повышения производительности измерений, он снабжен дополнительным источником света, установленным на входе интерферометра перпендикулярно основному источнику света, дополнительной светоделительной пластиной, установленной между источниками света и основной светодительной призмой, и дополнительным относительным зеркалом и приемным устройством со шкалой, оптически связанными с дополнительной светоделительной пластиной.

На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра.

Предлагаемый интерферометр с двойным изображением полос интерференции света содержит монохроматический источник света 1, светоделительную призму 2, подвижное зеркало 8, укрепленное на измерительном стер10 жне 4, относительное зеркало 5, призму двойного изображения б. На входе интерферометра; перпендикулярно источнику света 1 установлен дополнительный источник белого света 7, луч которого отражается призмой 8 по

15 направлению монохроматического луча. Интерферометр снабжен также дополнительной светоделительной пластиной 9, установленной между источниками света 1 и 7 и светоделительной призмой 2. На интерферометре уста20 новлено также дополнительное относительное зеркало 10 и приемное устройство 11 со шкалой 12, оптически связанными со светоделительной пластиной 9.

Интерферометр работает следующим обра25 зом.

Предварительно включают источник белого света 7 и, регулируя наклон дополнительного относительного зеркала 10, устанавливают с помощью ахроматической черной полосы

30 определенная цена деления а шкалы 12. Для

335530

40 работы удобна цена деления шкалы а

0,4 л км, что позволяет получать предел измерения по шкале не менее 40 мкл .

Проверка на макете показала, что необходимая точность и стабильность настройки цены деления (с погрешностью не более

0,1 мкм) надежно обеспечивается при использовании точно аттестованной кварцевой ступенькой 18.

Затем, расчетом или экспериментально, включив монохроматический источник света 1, определяется число по совмещения интерференционных полос в призме двойного изображения, соответствующих определенным дискретным отсчетам N по черной ахроматической полосе на шкале 12.

Ориентировочно, округляя до целого и О=

4aN

Х где Х вЂ” длина волны монохроматического источника света.

Разность Л между точным значением вы4aN ражения n o=

Х и по не должна превы3. шать —. б

После проведенной юстировки система отсчета по черной ахроматической полосе может быть использована как позиционный счетчик числа интерференционных полос. Для этого при включенном источнике монохроматического света 1, перемещением зеркала 8 совмещаются интерференционные полосы, наблюдаемые в призме двойного изображения.

Затем включается вместо монохроматического источника света 1 источник белого света 7 и регулировкой шкалы 12 устанавливается нулевое деление по черной ахроматической полосе (либо шкала смещается до совмещения с черной ахроматической полосой).

Затем по смещению черной ахроматической полосы по аттестованной шкале зеркало 1

25 перемещается на заданную величину, соответствующую п нониальных совмещений. Затем включается вместо источника белого света 7, источник монохроматического света 1, плавно перемещается зеркало 8, точно совмещаются интерференционные полосы, наблюдаемые в призме двойного изображения б.

Направление движения полос для совмещения выбирается в зависимости от определенного при аттестации знака разности Л.

Первое совмещение полос соответствует (с погрешностью в пределах тысячных долей микрометра) перемещению подвижного зеркала 8, а, следовательно и измерительного

Х стержня 4, на величину n. — мкм. Тем самым

4 устраняется необходимость непрерывного отсчета числа совмещений и, которое при пределе измерения 40 мкм достигает 280, что очень трудоемко и практически трудно осуществимо.

Для большего удобства работы, интерференционные карты, полученные от обеих относительных зеркал, могут наблюдаться в одном приемном устройстве.

Предмет изобретения

Интерферометр с двойным изображением полос интерференции света по авт. св. № 125393, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений, он снабжен дополнительным источником света, установленным на входе интерферометра перпендикулярно основному источнику света, дополнительной светоделительной пластиной, установленной между источниками света и основной светоделительной призмой, и дополнительным относительным зеркалом и приемным устройством со шкалой, оптически связанными с дополнительной светоделительной пластиной.

335530

Составитель Л. Лобзова

Техред Т. Ускова

Редактор С. Титова

Корректор Е. Усова

Заказ 1277/5 Изд. № 497 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2