Интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

32I674

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 27.XII.1968 (№ 1294560/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 19.XI.1971. Бюллетень ¹ 35

Дата опубликования описания 2.II.1972

МПК G 01Ь 9/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.72(088.8) Авторы изобретения

М. В. Лобачев, М. H. Сокольский, С. С. Аксельрод и К. М. Груздева

Заявитель

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ

ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для технологического контроля точности изготовления вогнутых отр ажающих поверхностей вращения.

Известен интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения, содержащий эталонную и рабочую ветви с устаповленш ими в последней контролируемой деталью и компенсатором сферической аберрации.

Недостаток этого пнтерферометра заключается в фиксированном расположении компенсатора на значительном расстоянии от центра кривизны контролируемой поверхности, что ведет к требованию отдельного компенсатора для каждой поверхности определенной кривизны и эксцентриситета.

Предлагаемый иптерферометр позволяет расширять диапазон контролируемых поверхностей по радиусам кривизны и эксцентриситетам, а также контролировать качество вогнутых отражающих поверхностей П-го порядка. Это достигается тем, что компенсатор установлен между центром кривизны и контролируемой поверхностью на расчетном расстоянии от нее.

На чертеже показана рабочая ветвь описываемого интерферометра.

Интерферометр выполнен по схеме Майкельсона. Его рабочая ветвь образована объективом 1, компенсатором 2 сферической аберрации и контролируемой деталью 8, причем компенсатор установлен между параксиальным центром кривизны 0 и контролируемой поверхностью П-ro порядка детали на расстоянии от нее, равном

Re "

10 R— где R — радиус кривизны в вершине контролируемой поверхности 3; е — эксцентриситет поверхности т ;

15 р — постоянный параметр компенсатора

2, зависящий от увеличения, с которым он изображает центр кривизны О в точку О, совмещенную с фокусом объектива 1.

20 Параллельный пучок света падает на объектив, собирается в его фокусе О и, пройдя компенсатор, отражается от контролируемой поверхности детали, возвращаясь в точку 0 и выходя из объектива снова па25 раллельным пучком, который соединяется с эталонным пучком света, образуя интерференционную картину (ход одного из лучей показан стрелками).

Как видно из приведенной формулы, при

30 контроле поверхностей различных радиусов

321674

/ e2

Р/

Составптсль Е. Афанасьев

Тскрсд Е. Борисова

Корректоры О Зайнева и О. Волкова

Редактор H. Корченко

Заказ 3998/14 Изд. № 1713 Тираж 473 Подппспое

ЦНИИПИ Комитета по делам нзоорете гй и открытп::1 прн Совете Мннпстроз СССР

Москва, /К-35, Раугнская нао., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2 кривизны и эксцентриситетов компепсатор следует устанавливать па расчетном расстояIiии от контролируемой поверхности.

Предмет изобретения

1. Иптерферомет1з p IH KOHTpO III IIBtICCTBB вогнутых отражающих поверхностей вращения, содержащий эталоннуIO и рабочую ветви с установленными в последней контролируемой деталью и компенсатором, отличаю1иийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей по радиусам кривизны и эксцентриситетам, компспсатор установлен между центром кривизны и контролируемой поверхностью.

2. Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля качества вогнутых отражающих поверхностей П-го порядка, компепса.гор установлен между центром кривизны и контролируемой поверхностью на расстоянии от пее, равном

10 где R — радиус кривизны в вершине контролируемой поверхности;

e — - эксцентрисптет контролируемой поверхносги;

15 р — постоянный параметр компенсатора.