Микроинтерферометр для измерения линейных перемещений поверхности

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

339770

Союз Ссветсйиа

Сониалистическил

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 07Л.1970 (№ 1392713/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 24.Ч.1972. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 21 VI,1972

Ы. Кл. G 01Ь 9/02

Комитет по делай изобретений и аткрытйй при Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Авторы изобретения

Ю. В. Коломийцов и И. В. Новикова

Заявитель

МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ

ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для особо точных измерений смещения контролируемой детали.

Известен микроинтерферометр для измерения линейных перемещений, поверхности, содержащий коллиматор с источником света, разделительное устройство, установленное на оптической оси коллиматора, два микрообъектива, установленные за разделительным устройством в рабочей и эталонной ветвях микроинтерферометра, эталонное зеркало, расположенное в фокальной плоскости микрообьектива в эталонной ветви микрои нтерферометра, и зрительную трубу.

Предложенный микроинтерферометр отличается от известного тем, что он снабжен оптическим клином с малым углом, перекрывающим половину зрачка одного из микрообъективов и расположенным так, что ребро его перпендикулярно оси этого объектива и параллельно оси второго микрообъектива, и компенсационной плоско параллельной пластинкой, перекрывающей, половину зрачка второго микрообъектива.

Такое выполнение позволяет повысить точность измерения.

На фиг. 1 показана оптическая схема предложенного микроинтерферометра; на фиг. 2— интерференционная картина.

Ыикроинтерферометр содержит коллнматор 1 с источником 2 света и отверстием 8, разделительный кубик 4, установленный на оптической оси коллиматора, два микрообь5 ектива 5 и б, эталонное зеркало 7, размещенное в фокальной 1плоскости микроинтерферометра, зрительную трубу 8, оптический клин о с малым углом, перекрывающий половину зрачка микрообъектива 5 и расположенный

10 так, что ребро его перпендикулярно оси мпкрообъектива 5 и параллельно оси микрообьектива б, и компенсационную,плоскопараллельную пластину 10, перекрывающую половину зрачка микрообъектива б.

Работает микроинтерферометр следующим образом.

Выходящий из объектива коллиматора параллельный,пучок лучей разделяется куби20 ком на два пучка, которые микрообъективами

5 и б собираются на,поверхности эталонного зеркала и поверхности контролируемой детали 11, образуя изображение светящегося отверстия 8. Отраженные пучки света идут об25 ратно по прежним направлениям, соединяются разделительным кубиком и попадают в зрительную трубу, в фокусе которой наблюдают интерференционную картину.

Для получения интерференции в белом све30 те длины путей двух пучков лучей выравнива339770 Риг. f

Составитель В. Иванова

Техред Е. Борисова

Корректор Т. Китаева

Редактор P. Макарова

Подписное

Тираж 448

Изд. № 699

Заказ 1774/1

Типография, пр. Сапунова, 2 ют перемещением микрообъектива 5 и эталонного зеркала как одного целого.

Оптический клин выводит луч а1 из плоскости, параллельной плоскости чертеж". После обратного лрохождения через микрообъектив

5 луч aI минует оптический клин. В то же время луч bI IIocrie двукратного прохождения ерез микрообъектив 5 остается параллельным плоскости чертежа и затем отклоняется оптическим клином. Таким образом, лучи а, и bI образуют с соответственными лучами а, и b2, идущими параллельно плоскости чертежа, одинаковые .по величине и обратные по знаку углы, равные углу а, отклонения оптического клина.

В результате на двух половинах зрачка микрообъектива 5 возникают, прямые полосы, .перпендикулярные к линии раздела зрачка, как это показано на фиг. 2. Ширина h полос одинакова на обеих половинах зрачка и определяется углом а.

При смещении контролируемой поверхности детали 11 две системы, полос смещаются в противоположных направлениях.

Предмет изобретения

Микроинтерферометр для измерения линейных перемещений поверхности, содержащий

5 коллиматор с источником света, разделительное устройство, установленное на оптической оси коллиматора, два микрообъектива, установленные за разделительным устройством в рабочей и эталонной ветвях микроинтерферо10 метра, эталлонное зеркало, расположенное в фокальной плоскости микрообьектива в эталонной ветви микроинтерферометра, и зрительную трубу, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снаб15 жен оптическим клином с малым углом, перекрывающим половину зрачка одного из микрообъективов и расположенным так, что ребро его перпендикулярно оси этого объектива и ,параллельно оси,второго микрообъектива, и

20 компенсационной плоскопараллельной пластинкой, перекрывающей:половину зрачка вто рого микрообъектива.