Устройство для спектроинтерференционногоконтроля толщины
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 08.XII.1970 (№ 1603833/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05Х.1972. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 7.Л.1972
М. Кл. G Olb 11/06
Комитет по 11елам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 531.715.1(088,8) Авторы изобретения
В. И. Скоморовский
Сибирский институт земного магнетизма, ионосферы и распространения радиоволн
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СПЕКТРОИНТЕРФЕРЕНЦИОННО ГО
КОНТРОЛЯ ТОЛ1ЦИНЫ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИH
И НТЕРФЕРЕНЦИОН НО-ПОЛЯ РИЗАЦИОННО ГО ФИЛЬТРА
Изобретение отнссится к области контрольно-измерительной техники, в частности, может быть использовано для контроля толщины пластин интерферетщионно-поляризационного фильтра.
Известно устройство для спектроиптерференциоцного контроля толщины кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра, устанавливаемое перед входной щелью спектрографа и содержащее осветительную систему, поляризатор и анализатор, расположенные в ходе световых лучей.
При контроле измеряется относительное расположение полос канавчатого спектра на фотографиях спектров полученных последовательно для опорной и контролируемой пластин. Для поддержания одинаковой температуры пластины помещают в термостат.
Однако колебания температуры в термостате от экспозиции к экспозиции вызывают ошибки в контроле толщины пластин, и сам контроль длителен из-за необходимости фотографическойй обр аботки спектрогр а м м.
Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, поляризатор и анализатор выполнены соответственно в виде поляризующей и анализирующей мозаик, состоящих из полосок поляроидной пленки, а устройство снабжсно оптической систсмой, расположенной между поляризатором и анализатором и строящей изображение поляризующей мозаики на анализирующей и одновременно на входной щели спектрографа.
5 Данное устройство позволяет одновременно наблюдать спектры пропускания контролируемой и опорной пластины. При этом контроль делает ся визуальным и отпадает необходимость в термостатировании пластин.
10 На фиг. 1 приведена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 — спектры пропускания опорной и контролируемой пластин.
Устройство содержит осветительную систему, состоящую из источника света 1 и линзы
15 2, поляризатор, выполненный в виде поляризующей мозаики 8, анализатор, выполненный в виде анализирующей мозанки 4, оптическую систему, включающую коллиматор 5 и объектив б.
20 Индексом 7 обозначена контролируемая пластина, а индексом 8 — опорная пластина.
Мозаики состоят из полосок поляроидной пленки с плоскостью пропускания под углом
45 друг к другу.
25 На фиг. 1 черточками показано положение плоскостей пропускания полосок мозаики и оптических осей контролируемой и опорной пластин в плоскости, перпендикулярной плоскости рисунка.
30 Устройство работает следующим образом.
337644
4 иг,!
Составитель Лобзова
Техред Е. Борисова
Редактор T. Баранова
Корректоры: Л. Корогод и В. Петрова
Заказ 1478/18 Изд. № 620 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, и
Линза 2 строит изображение источника овета 1 на поляризующей мозаике 8, которая находится в фокусе коллиматора 5. Коллиматор
5 и объектив б строят изображение источника смета и поляризующей мозаики на анализирующей мозаике 4, установленной на входной щели спектрографа 9. Изображение поляризующей мозаики 3 совпадает с анализирующей мозаикой 4, а плоскости пропускания совпадающих полосок параллельны.
Для измерения опорная и контролируемая пластины устанавливаются нормально к падающему пучку с помощью точечной диафрагмы 10; Диафрагма вводится в пучок так, что ее изображение попадает на границу полосок мозаик. Автоколлимационное изображение диафрагмы от поверхности кристаллов совмещаются между собой и с диафрагмой.
Оптическая ось опорной пластины ориентируется параллельно плоскости пропускания одной поляроидной плоскости, а контролируемая — другой. Тогда опорная и контролируемая пластины оказываются спроектированными в разных полосках мозаик, и поэтому в фокальной плоскости спектрографа одновременно наблюдаются спектры пропускания 11 как опорной, так и контролируемой пластин (см. фиг. 2).
Контроль толщины пластины производится зизуальным измерением взаимного положе5 ния интерференционных полос на общей границе двух спектров. Поскольку оба спектра наблюдаются одновременно, то отпадает необходимость в термостатировании пластин.
Предмет изобретения
Устройство для спектроинтерференционного контроля толщины кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра, устанавливаемое перед входной щелью
15 спектрографа и содержащее осветительную систему, поляризатор и анализатор, расположенные в ходе световых лучей, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, поляризатор и
20 анализатор выполнены соответственно в виде поляризующей и анализирующей мозаики, состоящей из полосок поляроидной пленки, а устройство снабжено оптической, системой, расположенной между поляризатором и ана25 лизатором и строящей изображение поляризующей мозаики на анализирующей и одновременно на входной щели спектрографа.
