Рабочий пакет вакуумного турбомолекулярногонасоса

26ОО69

Союз Советских

Социалистикеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.Х!1.1967 (¹ 1207465/24-6) с присоединением заявки ¹

Приоритет

K;I. 27с, 2

МП1(F 04с

УДК 621.527.8(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистбов

СССР

Опубликовано 22.Х11.1969. Бюллетень ¹ 3 за 1970

Дата опубликования описания 21.V.1970

Авторы изобретения

Л. А. Беляев и 1О. М. Тузанкин

Заявитель

РАБОЧИЙ ПАКЕТ ВАКУУМНОГО ГУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО

НАСОСА

Известны пакеты вакуумных турбомолекулярных насосов, содержащие роторные и статорные рабочие элементы с наклоненны,IH в направлении откачки каналами, расположенными замкнутыми кольцевыми рядами, чередующимися с кольцевыми перемычками.

Цель настоящего изобретения — повышение степени сжатия особенно для насосов, предназначенных для откачки легких газов.

Это достигается тем, что ряды каналов роторных элементов смещены относительно рядов каналов смежных статорных элементов и частично перекрыты статорными перемычками.

На фиг. 1 изображен предлагаемый пакет, часть поперечного разреза; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг.

Пакет содержит роторные 1 и статорные 2 элементы с каналами 8, расположенными замкнутыми кольцевыми рядами, чередующимися с кольцевыми перемычками 4, Ряды каналов роторных элементов-дисков смещены относительно рядов каналов смежных статорных элементов по радиусу. При выполнении рабочих элементов в виде коаксиально расположенных барабанов (см. авт. св. № 174314) ряды каналов смещены вдоль оси барабанов и частично перекрыты статорными

ПЕР ЕМ ЫЧКа Хт И.

Предмет изобретения

Рабочий пакет вакуумного турбомолекулярного насоса, содержащий роторные и статорные рабочие элементы (диски, барабаны) с наклоненными в направлении откачки канала15 ми, расположенными замкнутыми кольцевыми рядами, чередующимися с кольцевыми перемычками, отличаюиийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, ряды каналов роторных элементов смещены относительно рядов

20 каналов смежных статорных элементов и частично перекрыты статорными перемычками, 260069 о го

Составитель T. Рабчук

Текред T. П. Курилко Корректоры: Л. Корогод и М. Коробова

Редактор Э. Рубан

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 940/10 Тираж 500 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изооретеннй и откпытий при Совете Министров СССР

Москва )Y,-35, Раушская наб., д. 4у5