Вакуумный молекулярный насос

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 27с, 2

Заявлено 28. I I I.1968 (№ 1228207/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.IX.1969. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 17.II.1970

Комитет ео декам иаобретеиий и открытий ври Совете Мииистрав

СССР

МПК F 04с

УДК 621.527,8(088.8) Автор изобретения

Л. А, Беляев

Заявитель

ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Известны вакуумные . молекулярные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими асимметричные каналы.

Цель изобретения — повышение быстроты откачки, Это достигается тем, что рабочие решетки соединены одна с другой при помощи жестких перемычек и подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения для обеспечения колеба ния решеток в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки при циклическом изменении скорости.

В зазорах между периферийными лопатками рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуум плотные перегородки.

Рабочие решетки соединены с корпусом при помощи .гибких овязей.

Направляющие решетки насоса жестко соединены между собою и подключены к автоном ному приводу возвратно-поступательного перемещения с тем, чтобы обеспечить их колебания в том же,направлении, что и рабочих решеток, но со сдвигом по фазе.

На чертеже схематично изображен описываемый насос, продольный разрез.

Насос содержит кор пус 1 и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся решетки с направляющими 2 и рабочими 3 лопатками, образующими асимметричные каналы. Лопатки 3 жестко соединены перемычками 4 и подключены к приводу возвратнопоступательного перемещения для колебания

5 решеток в направлении стрелок б в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки (стрелка б) при циклическом изменении скорости. Для прохода перемычек через лопатки 2 в лопатках предусмотрены отверстия

10 7. С целью уменьшения перетекания газа в зазорах между периферий ными лопатками 3 рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуумплотные перегородки 8. Рабочие решетки могут быть соединены с корпусом

15 при помощи гибких связей 9.

Насос работает следующим образом.

При колебании рабочих .решеток в направлении, перпендикулярном направлению откачк и, сопротивление асимметричных сужающихся каналов изменяется таким образом, что оно становится неодинаковым для встречных потоков молекул откачиваемого газа.

Следовательно, различаются прямые и обратные сопротивления, причем разность между

25 ними до некоторого предела тем больше, чем выше скорость движения каналов. Следствием двоякого сопротивления тепловому движению молекул является установление массового потока газа через канал в направлении

30 меньшего сопротивления. При движении ка252544

Составитель T. Рабчук

Редактор A. Пейсоченко Тскред Т. П. Курилко Корректор С. М. Сигал

Заказ !72 1 Тираж 480 Подписнос

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушскаи наб., д. 475

Типографии, пр, Сапунова, д. 2 налов в другую сторону устанавливается массовый поток газа в противоположном направлении, Свойством сужающихся асим метричных каналов является несимметричное изменение их 5 сопротивлений при возвратно-поступательном движении.

Опытным .путем установлено, что такие каналы пропускают больше газа со стороны широкого окна, чем при соответствуюшем обраг- 10 ном движении со стороны узкого. Процесс приобретает характер несинусоидального переменного электротока.

Таким образом, при колебательном движении рабочих каналов поперек направлению 15 откачки устанавливается суммарный массовый поток молекул газа в сторону сужения каналов.

Для повышения эффективности откачки и направляющие решетки могут приводиться в 20 колебательное движение в том же направлении, что и рабочие решетки, но со сдвигом по фазе.

При колебательном движении по круговой 25 траектории решетки должны быть образованы лопатками, установленными крест накрест. Для работы насоса, могут быть использованы приводы возвратно-поступательного перемещения любой известной конструкции. 30

Приводы расп лагают как с одной, так и с разных сторон пакетов решеток в многопоточных конструкциях насосов.

Предмет изобретения

1. Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими асимметричные каналы, отличающийся тем, что, с целью повышсния быстроты откачки, рабочие рсшетки соединены одна с другой при помощи жестких перемычек и подключены к приводу возвратно-поступательного .перемещения для обеспечения колебания решеток в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки при циклическом изменении скоро:сти.

2, Насос по п. 1, отличающийся тем, что в зазорах между периферийными лопатками рабочих .решеток и стенками ко рпуса установлены вакуумплотные .перегородки.

3. Насос lIIO п. 1, отличающийся тем, что рабочие решетки соединены с корпусом при помощи гибких связей.

4. Насос по п. 1, отличающийся тем, что направляющие решетки жестко соединены между собою и подключены к автономному приводу возвратно-поступательного перемещения с тем, чтобы обеспечить их колебания в том же направлении, что и рабочих решеток, но со сдвигом по фазе.