Техническая -^^ библиотека

Союз Советских

Социалистических

Респтблик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 29.IV,1968 (№ 1238480!25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 12.VIII.1969. Бюллетень ¹,26

Дата опубликования описания 4.1.1970

Кл, 42b, 12/03

МПК 6 01b

УДК 531.717.1:531.717.53 (088.8) Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

I A.Ь(.,т.;. р-",.„, .

11,ТЕИ Ц®

r ТЕхничЕС1,-Ай ФЯ

БИБЛИОТ Кд

Авторы изобретения

Ю. М. Захаров и А. Я. Кузнецов

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН ПОКРЬ1ТИЙ

Известны способы измерения оптических толщин покрытий в процессе вакуумного напыления и устройства для выполнения этих способов.

Известный способ основан на использовании источника излучения светового потока, фотоэлектрического приемника, усилителя электрических сигналов индуктора и конденсаторов, дифференциально включаемых,в цепь измерительного прибора. Этот способ заключается в том, что на индикаторе (гальванометре) определяют стационарную точку и фиксируют максимум или минимум электрического сигнала, пропорционального пропусканию светового потока через наносимый слой покрытия, и далее преобразуют электрические сигналы в величину, пропорциональную толшине покрытия.

Предложенный способ отличается от известного тем, что, с целью повышения точности определения оптической толщины покрытия, электрический сигнал дифференцируют по времени с помощью дифференцирующего каскада, содержащего RC-цепочку, включенную на усилитель с отрицательной обратной связью, и определяют экстремум по,стационарной точке на гальванометре.

На фиг. 1 изображена блок-схема устройстьа, реализующего предложенный способ; на фиг. 2 — зависимость показаний гальваномет2 ра от времени нанесения покрытия без дифференпирующего каскада и с нпм.

При измерении оптических толщпн покрытий, наносимых в процессе вакуумного напыления, 5 например, при изготовлении узкополосных интерференционных светофильтров, по предложенному способу используется источник 1 излучения светового потока, фотоэлектрический приемник 2 ic контрольным светофильтром 3, lp дпфференцирующий каскад 4, содержащий

КС-цепочку, включенную в обратную связь усилителя 5 и гальванометра б.

В предложенном способе контроль осуществляется следующим образом.

15 Перед нанесением покрытия 7 пспарителем

8 гальванометр б отключается от схемы и устанавливается на нуль, затем подключается на выход фотоэлектрического приемника 2.

Подается сигнал величиной в 1000 делений

2р шкалы гальванометра б, после чего он с фотоприемника 2 подается на дифференцируюший каскад 4; гальванометр включается на выход усилителя 5 и поворотом зеркала устанавливается на шкале 500 делений.

С этого момента начинается нанесение покрытия 7 с постоянной скоростью напыления.

Гальванометр б фиксирует функциональную зависимость F (/), так как сигнал, поступающий с фотоприемника 2, дифференцируется

3р каскадом 4. Стационарная точка 10 функции

250466

Предмет изобретения

g еллоу школы гольРожь акоп фиг з00 еленке шкалы гаэооиамалоа фиг 2

Составитель Мартынов

Техред А. А. Камышникова Корректор Л. В. Юшина

Редактор Афанасьева

Заказ 3555i15 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изоСретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 фиксируется тогда, когда гальванометр б возвращается на отметку 500 делений шкалы, причем этой точке соответствует оптическая толщина слоя, равная Х /4, а стационарная точка 11 .соответствует оптической толщине слоя, равной 2Х /4, и т. д., где Х вЂ” контрольная длина волны.

Способ измерения оптических толщин покрытий, наносимых в процессе вакуумного на,пыления, например,,при изготовлении узкополосных интерференционных светофильтров, с использованием источника излучения световаго потока фотоэлектрического, приемника, усилителя и гальванометра, заключающийся в том, что на гальванометре предварительно определяют стационарную точку и фиксируют максимум или минимум электрического сигнала, пропорционального пропусканию светового потока через наносимый слой покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения оптической толщины

l0 покрытия, электрический сигнал дифференцируют по времени с помощью дифференцирующего каскада, содержащего RC-цепочку, включенную на усилитель с обратной отрицательной, связью, и определяют экстремум по

l5 стационарной точке на гальванометре.