Способ активирования оксидных катодов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3 О 0908
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 24.Х.1968 (№ 1278480/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 07Л7.1971. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 26Л .1971
МПК Н Olj 9/04
Комитет по делам лвобретений и открытий
:при Совете окинистров
СССР
УДК 621.385.032.213 (088.8) Авторы изобретения
Б. А. Еникеев, М. А. Чистякова и Г. А. Востров
Заявитель
СПОСОБ АКТИВИРОВАНИЯ ОКСИДНЫХ КАТОДОВ
Табл и "а
Время активнрования, час
Плотность покрытия, г(см
Способ активирования
0,5
2,0
2,2
4,0
Термический (Т» =-950 С) 0,35
1,0
Термический (Т, =950 "-С) с выдержкой катода в электрическом поле об ратной полярности (Е» =3 кв!сл) 2,2
4,0
2,2
4,0
1,5
6,0
Термический (T»=800 C) 2,2
4,0
Термический (Т» — — 800" С) с выдержкой катода в электрическом поле об ратной полярности (Е, =-3 кв/см) 1,2
3,2
2,2
4,0
1,3
4,0
Токоотбор j, =60 иа. см» (Т = 800 С) 0,4
1,5
2,2
4,0
Токоотбор j»=80 ма;см- (Т = 950 С) Предлагаемое изобретение относится к об.ласти электронного приборостроения, в частности к катодной электронике.
Известно активирование оксидных ка1одов повышением температуры катода, токоотбо- 5 ром с катода, либо сочетанием этих режимов.
В перекальных режимах активирования резко возрастает скорость испарения активного вещества, уменьшается его запас в покрытии, загрязняется поверхность электрода. Гскоотбор 10 ускоряет процесс активирования, однако в этом случае могут наблюдаться перегрузки электродов (особенно сеток), что может вызвать отравление катода, перегрев электродов и т. д. Сочетание указанных способов активи- 15 рования дает более обнадеживающие результаты, однако, не устраняет недостатков, присущих каждому методу.
Целью изобретения является сокращение времени активирования оксидных покрытий. 20
Поставленная цель достигается тем, что катоды при температурах, близких к рабочим, выдерживают в электрическом поле обратной полярности при напряженностях электрического поля от единиц до сотен кв/<...к. Механизм 25 активирования катодов в этом случае отличается от механизма электролитического активирования (образование свободного бария в результате электролиза окиси бария). Активирование катода в этом случае происходит за 30 счет десорбции акцепторных примесей i а активных центрах поверхности катодов (т. е. повышение концентрации доннорных примесей на поверхности катода), причем количество
300908
Предмет изобретения
Составитель Г. А. Жукова
Редактор Е. С. Братчикова Техред 3. И. Тараненко
Корректоры: Е. В. Исакова и А. П. Васильева
Заказ 1321/ll Изд. № 590 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 образовавшихся активных центров будет зависеть от полярности и напряженности электрического поля.
Следует особо отметить быстрое актив1 рование оксидных катодов с плотными покрытиями (более 2,0 —: 2,2 г/слз) при воздействии электрического поля обратной полярности (по сравнению с термическим активированием или активированием токоотбором).
В таблице приводятся данные, подтверждающие эффективность предлагаемого способа активирования оксидных катодов с различной плотностью покрытия. Результаты получены в экспериментальном приборе. Критерием оценки эффективности каждого способа активирования являлось время достижения плотности эмиссионного тока, равной 10 а/сл, при температуре катода 800 С (керн катода из материала НК-0,04).
Анализ приведенного в таблице материала показывает, что активирование оксидных катодов в электрическом поле обратной полярности дает возможность сокращать время активирования или при сохранении того же времени активирования устранять большие перекалы, тем самым уменьшать количество продуктов напыления на электроды электровакуумных приборов.
Способ активирования оксидных катодов, путем подачи на них напряжения, отличаю15 бийся тем, что, с целью ускорения процесса активирования, катоды выдерживают при температуре, близкой к рабочей, в электрическом поле обратной полярности при напряженности от единиц до сотен кв/с,и.
