Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей

200227

Предмет изобретения

О>и2. 2 (оставитель И. И. Иеоосклонова

Редактор И. О. Громов Техред T. П. Курилко Корректоры. И. В. Черетаева и С. А. Башлыкова

Заказ 3068/16 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Ceposa, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 изображения, наблюдаемого через призму

Дове, на двойную величину.

Введение блока из нескольких призм Дове позволяет производить оценку стрелок искривления полосы равной толщины одновременно во многих ее точках (число точек, в которых оцениваются стрелки искривления, равно удвоенному числу призм Дове) .

Благодаря одновременности оценки стрелок искривления отпадает необходимость в прижиме контролируемой детали к пробному стеклу, тем самым устраняются причины, которые могут вызвать повреждение поверхности и искажение ее формы. Контролируемую деталь можно помещать на подъемный столик, снабженный механизмами для регулировки его наклона, сохраняя воздушный зазор между пробным стеклом 5 и контролируемой деталью /.

Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей по авт. св. № 18Ñ376, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, между объективом наблюдательной системы и эталонной поверхностью, наложенной на контролируемую деталь, введено еще несколько подобных призм Дове, отражающие грани которых лежат в одной плоскости и параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.

С01ое Сог. .,- . .1х

Соиие1 1:оп:.;; -,иих РЗОБР=TI - HM$l ((P gg Q rg gP О М Qg P>A Q Q 1 1 Л Qq P pl

Зависимое от агт. свидетельства № 180376

Заявлено 21Л.1966 (№ 1077716/26-25) Кл. 42h, 34/11 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 29.alii.1967. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 25.IX.1967

МПК, Ст 02d

УДК 535.853.4(088.8) комитет оо делв1е изооретеиий и отирь1тий ири Совете Миииотров

СССР

Авторы изобретения

1О. П. Контиевский и О. А. Клочкова

Заявитель

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА

ПЛОСКНХ ОПТИЧECKHX ПОВЕРХНОСТЕЙ

По основному авт. св. ¹ 180376 известен интерфсрометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, в котором между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, введена призма

Дове. Главное сечение и отражающая грань призмы параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.

Предложенный интерферометр отличается от интсрферометра по основному авт. сВ.

¹ 180376 тем, что между объективом наблюдятел ьпОИ сис I смь1 и этялоп пои поьсрхностью, нялож:111 о;; пя KoHTpo;IHp /eì þ поверхность, введен блок, состоящий пз нескольких призм

Дове, отражаю1цис грани которых лежат

B О, «ной Il.IooHooTII и 112113 I;lo:IBHbI GHTH IBOKQH оси объектива наблюдBTB HHIIoII системы, 3То позволяет повысить точность измерения и ускорить процесс контроля.

На ф;1г. 1 Изображена схема предложенноl o интерфсрометра; на фиг. 2 — поле зрения интерферометра.

Световой поток от источника 1 проходит диафрагму 2, находящуюся в фокальной плоскости объектива 8. Параллельный пучок лучей, выйдя из объектива, нормально падает на эталонную поверхность 4 пробного стекла 5. Отраженные от поверхности 4 и от поверхности 6 контролируемой детали 7 лучи, иптерферируя между собой, образуют интерференционную картину, локализованную в промежутке между поверхностями 4 и б. Интерференцпонная картина, представляющая

5 собой полосы равной толщины, наблюдается визуально за диафрагмой 8, находящейся в фокальной плоскости объектива 3. Лучи направляются в наблюдательную систему с помощью светоделительной пластины 9.

10 Между объективом 8 и пробным стеклом 5 введен блок, состоящий из нескольких призм

Дове 10. Отражающие грани и главные сечсHпя призм параллельны выходящему из ои=-ектива пучку лучей, причем отражающие гра15 ни всех призм Дове лежат в одной плоскости, что достигастся установкой призм на плоскопараллельную стеклянную пластину 11.

Если в наблюдаемой интерференционной картине полосы равной толщины направлены

20 параллельно плоскости, в которой лежат отражающие грани призм Доне, а изображения полосы, наблюдаемые в крайних призмах JIoве, совмещены с самой полосой, то изображения, наблюдаемые в средних призмах Довс, 25 оказываются смещенными по отношению к по:ясам на величину, вдвое большую стрелки искривления полосы в данной точке. Высокая точность контроля достигается за счет повышения чувствительност

30 совмсщспию, а также