Устройство для наблюдения и измерения высот неровностей поверхности по искривлению муаровых полос

Союз Соаетских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕДЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл, 42h, 35/01

Заявлено 18.Х.1965 (№ 1033427/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.XI.1966. Бюллетень № 24

Комитет ло делам изобретений и открытий дри Сосете Министров

СССР

МПК G 024

УДК 535.822.1(088.8) Дата опубликования описания 7,1.1967

Авторы изобретения

А. И. Карташев и А. А. Кучин

Ленинградское оптико-механическое объеди

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАБЛЮДЕНИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОТ

НЕРОВНОСТЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ПО ИСКРИВЛЕНИЮ

МУАРОВЫХ ПОЛОС

Известны устройства для наблюдения и измерения высот неровностей поверхности по искривлению муаровых полос, содержащие систему проекции растра на исследуемую поверхность и регистрирующую систему с эталонным растром.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что для устранения штрихов растров, наложенных на изображение картины муаровых полос, его система проекции растра и регистрирующая система установлены с возможностью синфазного возвратно-поступательного перемещения .в направлении, перпендикулярном штрихам эталонного растра, с помощью, например, рычажно-кулачкового механизма с электродвигателем.

На чертеже представлена принципиальная схема описываемого устройства.

Лампа 1 накаливания освещает коллектором 2 неравномерный растр 8, который проектируется проекционным объективом 4 на исследуемую поверхность 5 под углом 45 .

Благодаря наклону растра 8 к оптической оси на исследуемой поверхности пол, чается равномерное распределение штрихов (расстояние между двумя соседними штрихами равно ширине штриха растра). Объектив 6 проектирует исследуемую поверхность вместе со спроектированными»а нее штрихами в плоскость равномерного растра 7, причем линейное увеличение объектива б подобрано таким образом, чтобы в плоскости растра 7 шаги обоих растров были одинаковы. Растр 7 можно разворачивать в плоскости, перпендикулярной оптической ос» на угол 5, что позволяет менять количество муаровых полос в поле зрения микроскопа от 1 до 15.

1о Муаровые полосы, локализованные в плоскости растра 7, перепроектпруются системой

8 переноса изображения в плоскость сетки окулярного микрометра 9.

Для измерения высот неровностей от 40

15 до 0,1 лкл в приборе предусмотрено две пары сменных растров с расстояниями между штрихами в плоскости предмета соответственно

20 и 4 ккм.

20 Прн исследовании поверхностей с ненаправленным расположением неровностей в микроскопе предусмотрена возможность ограничения длины штрихов растра 8 с тем, чтобы на поверхность проектировалнсь пе штрихи, а

25 точки. В наблюдательный тубус микроскопа при этом вводятся цилиндрические линзы 10, позволяющие наблюдать муаровую картину от узкого сечения по всему полю зрения, 189605

Предмет изобретения

Составитель В. Ванторин

Редактор А. Шиллер Техред Л. Бриккер

Корректоры: Е. Д. Курдюмова и С М Белугина

Заказ 4207/11 Тираж 900 Формат бум. 60X90 /з Объем 0,21 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Для измерения волнистости поверхностей столик микроскопа имеет возвратно-поступательное перемещение от электродвигателя в диапазоне 0 — 100 лл со скоростью 100 лтл в секунду, а также может поворачиваться на

360 и наклоняться относительно оси, перпендикулярной оси симметрии микроскопа на угол +3 .

Исключение из поля зрения изображения самих растров производится синфазным колебательным движением неравномерного растра 8 вместе с проекционным объективом 4 и равномерного эталонного растра 7 в горизонтальной плоскости с частотой 50 ги и амплитудой 0,02 и 0,14 лм соответственно. Колебания растров можно осуществлять как механическим, так и электромагнитным способом.

Устройство для наблюдения и измерения высот неровностей поверхности по искривлению муаровых полос, содержащее систему проекции растра на исследуемую поверхность и регистрирующую систему с эталонным растром, отличающееся тем, что, с целью устранения изображений штрихов растров, наложенных на изображение картины муаровых полос, система проекции растра и регистрирующая система установлены с возможностью синфазного возвратно-поступательного перемещения в направлении, перпендикулярном штрихам эталонного растра, с помощью, например, рычажно-кулачкового механизма с электродвигателем.