Фотоэлектрический интерферометр
В8008
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Со1оз Соввтокиз
Социалиотичеокиа
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл, 42h, 20/01
Заявлено 15.1V.1965 (№ 1003518!26-25) с присоед1тнением заявки №
Приоритет
Опубликовано 09Х1.1967. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 7.VIII.1967
МПК G 02d
Комитет ао делам изобретений и открытий ори Совете ккиииотров
СССР
> ДК 531.714.21(088.8) Авторы изобретения
Д. И. Зорин и 1О. И. Шестопалоь
Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологии имени Д, И. Менделеева
Заявитель
-" т ОТЕК.
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ИИТЕРФЕРОМЕТР
Известны фотоэлектрические интерферометры, содержащие осветитель, дающий пучок параллельных лучей, освещаемый этим пучком отражатель, установленный на подвижной каретке, второй отражатель, жестко связанный с датчиком линейных перемещений, фотоэлектрическое двухканальное устройство, реверсивный счетчик интерференциОнных полос и устройство для измерения дробной части интерференционной полосы.
Однако эти интерферометры не обеспечивают получения результата в цифровой форме с высокой точностью.
Предложенный фотоэлектрическнЙ интерферометр отличается тем, что он снабжен генератором линейного напряжения, электрически соединенным с датчиком линейных перемещений, схемой фиксации части интерференционной полосы, состоящей, например, из схемы вычитания, триггера и ограничителя импульсов, соединенной с реверсивным счетчиком интерференционных полос, генератором стабильной частоты, счетчиком импульсов и электронным ключом, один вход которого электрически соединен с генератором линейного напряжения и схемой фиксации части интерференционной полосы, второй вход — с генератором стабильной частоты, а выход электронного ключа подключен к счетчику импульсов.
На 1сртсже дана схема предлагаемого фо тоэлектрнческого интерферометра.
Он состоит из осветителя 1, дающего пучок параллельных лучей, отражателя 2, установленного на подвижной каретке 8, отражателя 4, жестко связанного с датчиком 5 линейных перемещений, двухканального фотоэлектрического устройства б, реверсивного счетчика 7 интерферспцнонных полос, схемы
8 фиксации части интерференционной полосы, генератора 9 линейного напряжения, электронного ключа 10, генсратора 11 стабильной частоты и счетчика 12 импульсов.
Измерения линейных перемещений на фотоэлектрнчсском нитерферометре производятся следующим образом.
На датчик 5 подается линейное напряже1ше от генератора 9. Одновременно сигналом от генератора 9 открывается электронный ключ 10, который пропускает импульсы стабильной частоты генератора 11 на счетчик 12.
Г1ри изменеьн1и разности хода лучей в интерферометре до величины, при которой срабатывает схема фиксации части интерференционной полосы, сигнал с выхода последней закрывает электронный ключ и счетчик прекращает c 1ст. Для заданной длительности линейного напряткення н частоты стабильного генератора показания счетчика пропор30 циональны дробной части интерференционной
198008 ь
1З+Ф (ю)
Г
Состагитель Г. Д. Петрова
Тсхрсд Л. Я. Бриккер Корргкторы: Г. Е. Опарина и О. Б. Тюрина
Редактор Л. А. Утехина
Заказ 2377/19 Тираж 555 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр, Серова, д. 4
Типография, пр, Сапунова, 2 полосы. После возвращения отражателя 4 в исходное положение каретка 8 перемещается на измеряемую длину. Б процессе движения каретки реверсивный счетчик 7 подсчитывает целое число интерференционных полос. После остановки каретки повторяется описанный выше процесс измерения дробной части интерференционной полосы.
Целое число полудли волн на измеряемой длине показывает реверсивный счетчик, а дробная часть равна разности показаний счетчика импульсов между конечным и начальным отсчетами.
Сочетание метода счета интерференционных полос с линейновременным способом измерения дробной части интерференционной полосы обеспечивает получение результата измерения в цифровой форме с высокой точностью.
Предмет изобретения фотоэлектрический интерферометр, содерЖащий осветитель, дающий пучок параллельных лучей, освещаемый этим пучком один отражатель, установленный на подвижной каретке, второй отражатель, жестко связанный с датчиком линейных перемещений, фотоэлектрическое двухканальное устройство, реверсивный счетчик интерференционных полос, отлииаюш,ийся тем, что, с целью получения результата измерения в цифровой форме с высокой точностью, он содержит генератор линейного напряжения, электрически соединенный с датчиком линейных перемещений, схему фиксации части интерференционной полосы, состоящую, например, из схемы вычитания, триггера и ограничителя импульсов, соединенную с реверсивным счетчиком интерференционных полос, генератор стабильной частоты, счетчик импульсов и электронный ключ, один вход которого электрически соединен с генератором линейного на2О пряжения и схемой фиксации части интерференционной полосы, второй вход — с генератором стабильной частоты, а выход электронного ключа подключен к счетчику импульсов.
