Механизм групповой загрузки электродов в кассеты

 

199269

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сома Соввтакиа

Сониалистическил

Республик

urea b5 / 2//О б

Зависимое от авт. свпдстсльстьа ¹

Заявлено 03.1.1966 (№ 1048203/26-25) Кл. 2lg, li/02 с присоединением заявки М

Комитет ло делам иаооретвний и открытий лри Совете Министров

СССР

Приоритет

Опубликовано 13.VII.1967. Бюллетень ¹ !5

Дата опубликования описания ЗОХ111.1967

М .:Н+

УДК 621.382.032.27 (088.8) МЕХАНИЗМ ГРУППОВОЙ ЗАГРУЗКИ ЭЛЕКТРОДОВ В КАССЕТЫ

Известны механизмы групповой загрузки электродов в кассеты, состоящие из вибратора, загрузочного устройства и устройства для подачи кассет.

Предлагаемый механизм групповой загрузки электродов отлкчается от известных тем, что загрузочное устройство выполнено из неподвижного бункера с герметично закрывающейся крышкой, соединенного с вакуумной системой, и расположенных на одном валу кулачков, управляющих включением вибратора и созданием вакуума в бункере.

Предложенный механизм используется при групповой загрузке кассет электродами для сплавления р — n-переходов. Он позволяет загружать элекгроды заподлицо с плоскостью кассеты.

На чертеже изображен механизм групповой загрузки электродов в кассеты в общем виде.

Механизм состоит из бункера 1 с герметичной крышкой 2, имеющей штуцер 3 для соединения с вакуумной системой. Дно бункера 1 состоит из пластин 4 и 5 с отверстиями. Толщина пластины 4 равна длине загружаемого электрода, а пластины 5 — а/;, длины электрода.

Бункер крепится жестко на вибраторе б, в верхней части которого имеется окно для помещения кассеты 7, гнезда которой соосны отверстиям пластин 4 i 5.

Диаметр отверстия пластины 4 равен / длины электрода, диаметр огверстий пластины 5 больше диаметра электрода, но меньше суммы двух его диаметров.

Кассета 7 располагается под пластиной 5 с зазором. Кассеты подаются под нагрузку устройством, состоящим из кассетоносителя 8, совершающего ьозвратно-поступательное дви10 жение от кулачка 9 через шток !0 зубчатую пару 11 и рейку 12. -la одном валу 13 с кулачком 9 размещаются кулачок .14 для перемещения приемных лапок 15 и кулачок lб; управIHIoIIIèé через микропереключател.:-17 и 1а

15 включением электромагнитного крана 19 и вибратора б. Вал 13 вращается от привода (на чертеже не показан).

Работа механизма заключается в следующем.

20 В бункер 1 загружаются электроды 20. Кассета 7 Ilo.;IcllI,àåòñÿ в кассетоноситель 8 и включается привод ьала 13. Кулачок 9 через шток 10, зубчатую пару l i и рейку 12 перемещает кассету 7 в приемные лапки 15, кото25 рые отводятся для приема кассеты в нижнее положение кулачком 14 через рычажный механизм лапки захватывают кассету 7 и подают ее в окно вибратора б, который включается при срабатывании микропереключателя 17

30 от кулачка lb.

Предмет изобретения (оставнтель О. федюкииа

Текред Л. Я. Бриккер Корректоры: Е. Ф. Полиоиова и М. П. Ромашова

Редактор П. Шлайи

Заказ 2805/1 l Тираж 585 Подписное

Ц11И11П11 Комитета li0 делам пзоорстепий it открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

1 нпографии, пр. Сапунова, 2

Под действием вибрации электроды 20 через отверстия пластин 4 и 5 попадают в гнезда кассеты 7, а следующие за ними электроды западают в отверстия пластин 4 и 5. 1(улачок

14 через микропереключатель 18 включает электромагнитный кран 19, соединяющий ovIIкер с вакуумной магистралью, а микровыключатель 17 выключает вибрацию.

Из-за разрежения в бункере воздух всасывается через отверстия в пластинах 4 и 5, увлекает за собой электроды 20, освобождая отверстия в пластине 5. Загруженная кассета 7 лапками 15 опускается в кассетоноситсль 8 и с помощью кулачка 9, штока 10, зубчатой пары 11 и рейки 12 возвращается в исходное положение для смены кассеты 7. В это время вакуум в бункере не позволяет электродам 20 пройти через отверстия пластины 5 до подачи очередной кассеты под загрузку.

После того как следующая кассета приходит в положение под загрузку, кулачок 14 отк.почает вакуумную магистраль краном 19, вкл1очает вибратор 6, н цикл повторяется.

Механизм групповой загрузки электродов в кассеты, состоящий из загрузочного устройст10 ва, вибратора и механизма подачи кассет под загрузку, отличающийся тем, что, с целью загрузки электродов заподлицо с плоскостью кассеты, загрузочное устройство выполнено в видс соединенного с вакуумно системой и не15 подвижно укрепленного на вибраторе бункера с герметично закрывающейся крышкой и системы расположенных на одном валу кулачков, управляющих включением вибратора и подачей вакуума в бункер.

Механизм групповой загрузки электродов в кассеты Механизм групповой загрузки электродов в кассеты 

 

Похожие патенты:

Г-. . .' • ' . // 192296

Изобретение относится к области электричества, а более конкретно к технологии изготовления биполярных полупроводниковых приборов: диодов, тиристоров, транзисторов

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а более конкретно к методам радиационно-термической обработки диодов, работающих на участке пробоя вольтамперной характеристики, и может быть использовано в производстве кремниевых стабилитронов, лавинных вентилей, ограничителей напряжения и т.п

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных схем, особенно при необходимости минимизации количества операций литографии

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике

Изобретение относится к технологии полупроводников и может быть использовано для получения многослойных эпитаксиальных структур полупроводниковых материалов методом жидкофазной эпитаксии

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур, используемых для производства диодов, транзисторов, тиристоров, интегральных схем и кремниевых структур с диэлектрической изоляцией
Наверх