Вакуумная ловушка

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки. Сосуд 4, имеющий пористые газопроницаемые стенки и выполненный из геттерного материала, например, титана, нагревается расположенным в стенках нагревателем 6. При нагреве до 600-750°С происходит разложение /крекинг/ углеводородов, а также эффективная откачка газов из вакуумируемого объема. Внутренний диаметр сосуда 4 превышает диаметр теплового моста 5 в 1,5-5,0 раз. Это не исключает замасливание ловушки при выключении откачки, даже если масляные насосы остаются под вакуумом и гарантируется чистота вакуума при последующих циклах эксплуатации вакуумной системы. 1 з.п.ф-лы. 1 ил.

COIO3 COBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

А1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

6ЯЫ6 ;М1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4297837/25-29 (22) 24.08.87 (46) 23.11.89. Бюл. Н 43 (72) А.И.Волчкевич (53) 621..528.3 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

11 1199979, . F 04 F 9/06, 1984. (54) ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки. Сосуд 4, имеющий пористые газопроницаемые стенки и. выполненный из геттерного мате(19) (!1) (5в 4 F 04 В 37/02, F 04 F 9/06

2 риала, например, титана, нагревается расположенным встенках нагревателем 6.

При нагреве до 600-750 С происходит разложение (крекинг) углеводородов, а также эффективная откачка газов из вакуумируемого объема. Внутренний диаметр сосуда 4 превышает диаметр теплового моста 5 в 1 5-5 раз. Это исключает замасливание ловушки при выключении откачки, даже если масляные насосы остаются под вакуумом, и гарантируется чистота вакуума при последующих циклах эксплуатации вакуумной системы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

1523714

Формула изобретения

Составитель В.Кряковкин

Редактор A.Козориз Техред Л.Олейник Корректор В.Кабаций

Подписное

Заказ 7018/33

Тираж. 522 ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

1.13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина,101

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям защитных устройств, предотвращающих попадание паров рабочих жидкостей ва5 куумных насосов в откачиваемые объемы.

Цель изобретения - повышение защитных свойств ловушки.

На чертеже представлена схема ловушки, размещенной в вакуумной системе.

Вакуумная ловушка содержит корпус

1 с входным 2 и выходным 3 патрубками и расположенный в корпусе 1 улавлива ющий элемент в виде замкнутого сосуда 15 4 с пористыми газопроницаемыми стенка1 ми, внутренняя полость которого сооб- щена с выходным патрубком 3 через тепловой мост 5, причем сосуд 4 выпол. нен из геттерного материала, например 20 титана, и снабжен нагревателем 6, размещенным в его стенках.

Кроме того, внутренний диаметр сосуда 4 превышает внутренний диаметр теплового моста 5 в 1,5-5 раз. Ловуш- 25 ка размещена в вакуумной системе и подключена к паромасляному 7 и механическому 8 насосам через вентиль 9.

Ловушка работает следующим образом.

Предварительное вакуумирование откачиваемого объема осуцествляется механическим насосом 8 через газопро-, ницаемые стенки сосуда 4. При достижении в откачиваемом объеме давления

1-10 Ila включается нагреватель 6 и в течение минимального времени (510 мин) температура стенок сосуда 4 доводится до рабочей (600-750 С). Быстрый разогрев сосуда 4 осуществляется для обеспечения гарантии отсутст,вия паров рабочей жидкости насосов в пористых стенках, поскольку при более медленном разогреве. пары начинают проникать в откачиваемый объем ввиду отсутствия крекинга, имеющего место 45 при рабочей температуре. При этой температуре пористый геттерный материал сосуда 4 не только эффективно разлагает пары масел и других углеводородов, но также обладает высокой скоростью сорбции всех химически активных газов, т.е. практически работает как эффективный сорбционный насос, быстрота действия которого может превышать быстроту действия паромасляного насЬса. Нагреватель 6 играет также роль армирующего элемента для стенок сосуда 4..

Для уменьшения примерно на два порядка скорости поступления паров масла из насоса в ловушку размерные соотношения определяются из условия соизмеримости пропускных способностей пористых стенок сосуда 4 и теплового моста 5: внутренний диаметр сосуда 4 должен превышать внутренний диаметр .теплового моста 5 в 1,5 - 5 раз.

Таким образом, конструкция вакуумной ловушки позволяет повысить ее защитные свойства.

Вакуумная ловушка, содержащая корпус с входным и выходным патрубками и расположенный в корпусе улавливающий элемент в виде замкнутого сосуда с пористыми газопроницаемыми стенками, внутренняя полость которого сообщена с выходным патрубком через тепловой мост, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения за" щитных свойств, сосуд выполнен из геттерного материала и снабжен нагревателем, размещенным в его стенках.

2. Ловушка по п.l, о т л и ч а ю - щ а я с я тем, что внутренний диаметр сосуда превышает внутренний диаметр теплового моста s 1,5-5,0 раз.