Устройство для защиты откачиваемых объемов от паров масла

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства устройства. Анод устройства выполнен в виде опорного кольца 4 и установленных на нем с возможностью поворота относительно собственной оси цилиндрических втулок 5, выполненных из геттерного материала. Поворот втулок 5 осуществляется с помощью поворотного устройства 6 по мере насыщения геттерного материала со стороны, обращенной к оси корпуса 1. В рабочем режиме нагреваемый геттерный материал обеспечивает разложение на нем ионов высокомолекулярных соединений, ионизированных путем соударения с электронами, вылетающими с катода 3. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„.SU„» 1483090 д1 ц11 4 F 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

lla ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4311855/25-29 (22) 01,10.87 (46) 30.05.89. Бюл. № 20 (72) Ю. Н. Булычев, В. А. Кошелев, Н. Г. Макаров и В. П. Сборец (53) 621.528.3 (088.8) (56) Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М.: Мир, 1975, с. 322. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ОТКАЧИВАЕМЪ|Х ОБЪЕМОВ ОТ ПАРОВ

МАСЛА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства устройства. Анод устройства выполнен в виде опорного кольца 4 и установленных на нем с возможностью поворота относительно собственной оси цилиндрических втулок 5, выполненных из геттерного материала. Поворот втулок 5 осуществляется с помощью поворотного устройства 6 по мере насыщения геттерного материала со стороны, обращенной к оси корпуса 1.

В рабочем режиме нагреваемый геттерный материал обеспечивает разложение на нем ионов высокомолекулярных соединений, ионизированных путем соударения с электронами, вылетающими с катода 3. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. 1483090

Формула изобретения

111иг. 2

Составитель В. Кряковкин

Редактор Ю. Петрушко Техред И. Верес Корректор М. Максимишинец

В а к аз 2798/28 Тираж 522 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4)5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к защитным устройствам, предотвращающим попадание в откачиваемые объемы паров рабочих жидкостей вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение защитных свойств устройства.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2— то >ке, вид сверху; на фиг. 3 — конструкция поворотного устройства цилиндрических втулок.

Устройство для защиты откачиваемых объемов от паров масла содер>кит корпус 1 с внешним магнитом 2 и расположенные по оси корпуса 1 стержневой катод 3 и анод, выполненный в виде опорного кольца 4 и установленных на нем с возможностью поворота относительно собственной оси цилиндрических втулок 5 и снабженный поворотным устройством 6. Каждая цилиндрическая втулка 5 выполнена из геттерного материала и снабжена нагревателем 7.

Стержневой катод 3 снабжен втулкой 8, выполненной из геттерного материала.

Устройство работает следующим образом.

На стержневой катод 3, цилиндрические втулки 5 и нагреватели 7 подается электропитание. Материал втулок 5 разогревается до 300 †4 С. При откачке объема через устройство при помощи вакуумного насоса молекулы масла, попадающие в зону катода 3, бомбардируются электронами, вылетающими с катода 3, ионизируются и в ионизированном состоянии попадают в зону электрического поля анода — цилиндрических втулок 5.

Ионы, имеющие заряд, противоположный заряду втулок 5, притягиваются к ним, взаимодействуют с геттерным материалом и диссоциируют, Продукты диссоциации откачиваются вакуумным насосом. Ионы, имеющие заряд, одноименный с зарядом втулок 5, под действием магнитного поля внешнего магнита 2 возвращаются в сторону насоса и частично взаимодействуют с материалом втулки 8 катода 3, разлагаясь на нем.

По мере насыщения внешняя поверхность цилиндрических втулок 5, обращенная к катоду 3, снижает свою реакционную способность. С целью поддержания защитных свойств устройства на высоком уровнем цилиндрические втулки 5 при помощи поворотного устройства 6 поворачиваются на 180 . Таким образом, высокие защитные свойства устройства сохраняются в течение длительного времени.

1. Устройство для защиты откачиваемых объемов от паров масла, содержащее корпус с внешним магнитом и расположенные по оси корпуса стержневой катод и анод, отличающееся тем, что, с целью повышения защитных свойств, анод выполнен в виде опорного кольца и установленных на нем с возможностью поворота относительно собственной оси циg0 линдрических втулок и снабжен поворотным устройством, а каждая цилиндрическая втулка выполнена из геттерного материала и снабжена нагревателем.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что стержневой катод снабжен втулкой, выполненной из геттерного материала.