Сорбционный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемым геттером. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик. Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1, испаритель 2 геттера, а также дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 из немагнитного материала с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2. Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра 3, так и на поверхности корпуса, попадая на него через прорезь 4, причем такое нанесение слоя геттерного материала на поверхность корпуса обеспечивает равномерность.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) А1

<50 4 F 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМЪ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОУИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4244042/25-06 (22) 02.04.87 (46) 07.11 А9. Ьюл. Ч 41 (72) С.Л.Аракелян и А.И,Барышев (53) 621.528.3 (088.8) (56) Патент СИА V 3694691, кл. 315-108, onублик. 1972 ° (54) СОрщИО НЫИ 0АКууИНЬа НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемым геттером. Цель изобретения

2 улучшение откачных характеристик s

Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1, испаритель 2 геттера, а также дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 из немагнитного материала с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2.

Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра

3, так и на поверхности корпуса, попадая на него через прорезь 4, причем такое нанесение слоя геттерного материала на поверхность корпуса о6еспечивает равномерность. 1 ил.

1 >202)8

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемым геттеоом.

Цель изобретения - упучшение откачных характеристик.

На чертеже представлена схема насоса.

Сорбционный вакуумный. насос соцер- 10 жит корпус 1 и установленный по его оси испаритель 2 геттера. Насос дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр 3 с продольной прорезью 4, охватывающий испаритель 2 и выполнен- 15 ный из немагнитного материала.

Насос работает следующим образом.

После предварительного вакуумирования полости корпуса 1 насоса зажигают дуговой разряд, возникающие при этом катодные пятна на поверхности катода, которым является испаритель

2, способствуют испарению геттерного материала. Одновременно с испарением катода включают вращение цилиндра 3.

Испаряющийся геттер осаждается как на внутренней поверхности цилиндра 3, так и на поверхности корпуса, попадая на него через прорезь 4, причем такое нанесение слоя геттерного материала на поверхность корпуса обеспечивает равномерность.

В результате увеличивается рабочая поверхность геттера, так как дополнительно поверхность цилиндра является откачивающей, что позволяет улучшить откачные характеристики на соса без увеличения габаритов, а также уменьшить вероятность попадания паров геттера в откачиваемый объем, Формула изобретения

Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус и" установленный по

его оси испаритель геттера, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, насос дополнительно содержит вращающийся полый цилиндр с продольной прорезью, охватывающий испаритель и выполненный из немагнитного материала.

Составитель В.Кряковкин

Texpeq й.Кравчук Корректор Л.Патай

Редактор Н.Яцола

Заказ 6737/37

Тираж 522

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-, 35, Раушская наб., д. 4/5

Р

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101