Вакуумная система

 

Изобретение м.б. использовано в системах, включающих криогенные средства откачки. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик вакуумной системы, К форвакуумному насосу 1 подсоединено магистралью 2 с вентилем 3 криогенное откачивающее устр-во. Устр-во выполнено в виде размещенных в общем корпусе 4 конденсационной и криоадсорбционной ступеней , сообщенных внещним вакуумпроводом 5 с запорной арматурой 6,7. Конденсационная ступень вьшолнена в виде кольцевого сосуда 8 для хладагента . Криоадсорбционная ступень выполнена в виде кольцевой адсорбционной кассеты 9, закрепленной на внутренней стенке сосуда 8, что обеспечивает рациональньй ввод в действие и подготовку к работе каждой ступени. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (39) О1) ргггп!г".":!,g

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕКИЯМ И ОП(РЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4263595!25-29 (22). 16,06 ° 87 (46) 23.02 ° 89 ° Бюл, Н 7 (75) П.А.Петров (53) 621.528.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 724793, кл. F 04 В 37/08, 19?8. (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА (5?) Изобретение м.б. использовано в системах, включающих криогенные средства откачки. Цель изобретения— улучшение откачных характеристик вакуумной системы. К форвакуумному насосу подсоединено магистралью 2 с (5ö 4 04 В 37/08, 37/02вентилем 3 криогенное откачивающее устр-во. Устр-во выполнено в виде размещенных в общем корпусе 4 конденсационной и криоадсорбционной ступеней, сообщенных внешним вакуумпроводом 5 с запорной арматурой 6,7.

Канденсацнонная ступень выполнена в виде кольцевого сосуда 8 для хладагента. Криоадсорбционная ступень выполнена в виде кольцевой адсорбционной кассеты 9, закрепленной на внутренней стенке сосуда 8, что обеспечивает рациональный ввод в действие и подготовку к работе каждой ступени. 1 ил.

1460410

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям вакуумных систем, включающих криогенные средства откачки.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик.

На чертеже представлена схема вакуумной системы.

Вакуумная система содержит фор- 10 вакуумный насос 1 и подсоединенное к нему магистралью 2 с вентилем 3 криогенное откачивающее устройство, выполненное в виде размещенных в общем корпусе"4 конденсационной и крио- 15 адсорбционной ступеней, сообщенных .между собои при йомощи внешнего вакуумпровода 5 с запорной арматурой 6 и 7, причем конденсационная ступень выполнена в виде кольцевого 20 сосуда 8 для хладагента, а криоадсорбционная ступень — в виде кольцевой адсорбционной кассеты 9, закрепленной на внутренней стенке сосуда 8.

Система работает следующим об- 25 разом.

Первоначально газ из откачиваемого объема (вакуумной камеры) откачивается насосом 1 через вакуумпровод 5, вентили 6 и 3 и магистраль 2. 30

По достижении остаточного давления, соответствующего изменению режима течения газа в магистрали 2, в кольцевой сосуд 8 заливается жидкий азот и стенки этого сосуда выполняют функцию охлаждаемой ловушки, предотвращая попадание паров масла из форвакуумного насоса 1 в откачиваемый объем. После того, как давление в вакуумной камере достигнет предельного значения при работе насоса 1 с охлаждаемой ловушкой, вентили 3 и 6 закрываются, открывается вентиль 7 и вакуумная камера откачивается через вакуумпровод 5 адсорбционной кассетой 9, которая в процессе работы насоса 1 и охлаждения сосуда 8 охлаждалась, подготавливаясь к работе. Для регенерации адсорбционной кассеты 9 в сосуд 8 подается горячий воздух,а откачка десорбируемого газа осуществляется через вакуумпровод 5 и магистраль 2 форвакуумным насосом 1.

Таким образом, взаимная компоновка конденсационной и криоадсорбционной ступеней в вакуумной системе позволяет улучшить ее откачные характеристики эа счет рационального ввода в действие и подготовки к работе каждой ступени.

Формула и э обретения

Вакуумная система, содержащая форвакуумный насос и подсоединенное к нему магистралью с вентилем криогенное откачиваемое устройство, выполненное в виде размещенных в общем корпусе конденсационной и криоадсорбционной ступеней, сообщенных между собой при помощи внешнего вакуумпровода с запорной арматурой, отличающаяся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, конденсационная ступень выполнена в виде кольцевого сосуда для хладагента, а криоадсорбционная ступень — в виде кольцевой адсорбционной кассеты, закрепленной на внутренней стенке сосуда.

Составитель В. Кряк овкин

Редактор Н.Тупица Техред Л. Сердюкова Корректор В.Гирняк

Заказ 520/40, Тираж 520 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по.изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãoðoä, ул. Гагарина, 101