Сорбционный вакуумный насос

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ni> 4 F 04 В 37/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4207554/25-06 (22) 09;03.87 (46) 23. 11.88, Вил. У 43 (72) А.В.Балаков, А.А.Краснушкин и Т.И.Соболева (53) 621.528.3(088.8) ( (56) Патент Швейцарии У 594136 9 кл. F 04 В 37/04, опублик. 1977. (54) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики вакуумных на„„SU„„1439278 А 1 сосов. В корпусе 1 с входным патрубком 2 размещены кольцевой охлаждаемый сосуд, слой 3 адсорбента и расположенный по оси корпуса i испаритель 4 геттера. Сосуд выполнен в виде верхнего и нижнего кольцевых коллекторов

5,6, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок 7. Адсорбент раразмещен между коллекторами 5,6. Труб-, ки 7 расположены в слое 3. Развитая поверхность адсорбента способствует высоким скоростным характеристикам по плохо адсорбируемым газам. 2 ил.

1439278

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов.

Пель иэобретеяия — улучшение от5 качных характеристик насосов, На фиг. 1 представлен íà, ос, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез

А-А на фиг.

Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком

2, размещенные в корпусе 1 кольцевой охлаждаемый сосуд, слой 3 адсорбента и расположенный по оси корпуса 1 ис-паритель 4 геттера, причем сосуд выполнен в виде верхнего 5 и нижнего

6 кольцевых коллекторов, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок 7, расположенных в слое 3 адсорбента, а последний размещен между 2( коллекторами 5 и 6.

Насос работает следующим образом.

8 коллекторы 5 и 6 подается хладагент, который заполняет параллель- 25 ные трубки 7, расположенные в слое 3 адсорбента, что обеспечивает интенсивное охлаждение адсорбента вследствие развитой поверхности теплоабме" на. Слой 3 адсорбента при понижении ЗО температуры последнего начинает интенсивно поглощать откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 насоса через входной патрубок 2. Предельное остаточное давление определяется температурой хладагента и в случае использования жидкого азота с температурой около 80К состав остаточной атмосферы определяется плохо адсорбируемымК газами, в первую очередь водородом, являющиМся основным компойентом газовыдепения конструкционных материалов вакуумных систем. С целью откачки плохо адсорбируемых газов на уровне остаточного давления порядка

10 Па включается испаритель 4 геттера. Испаряющийся геттер (например, титан) осалдается на внутреннюю поверхност.ь слоя 3 адсорбента н активно поглощает плохо адсорбируемые газы, причем активный слой геттера постоянно возобновляется. Развитая поверх." ность адсорбента способствует высоким скоростным характеристикаи по ппохо адсорбируемым газам.

Таким образом, конструкция предлагаемого насоса улучшает его откачные характеристики, в частности величину предельного остаточного давления и быстроту действия по плохо адсорбируемьм газам.

Формула изобретения

Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус с входным патрубком, размещенные в корпусе кольцевой охлаждаемый сосуд, слой адсорбента и расположенный по оси корпуса испаритель геттера, отличающийс я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, сосуд выполнен в виде верхнего и нижнего кольце-. вых коллекторов, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок, расположенных в слое адсорбента, а последний размещен между коллектора- . мие

1439278

Составитель В.Кряковкин

Техред М.Дидык Корректор С.Черни

Редактор Yi.Áëàíàð

Тираж 574 Подписное

ВПИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Заказ 6053/33

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4