Устройство для рентгеновской топографии
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (1п @Я35 (61) Зависимое от авт.свид-ва(22) Заявлено 05.11.73 (21) 1967901/26-25 (51) М, Кл.
С 01 П 23/20 с присоединением заявки №
Государственный намнтет
Совета Мнннстров СССР по делам нзооретеннй н открытий
32) Приоритет (53) УДК 539.26 (088.8) Опубликовано 25.07.75.Бюллетень № 27
Дата опубликования описания 11 09. 75 (72) Автор изобретения
В. JI. Инденбом (71) ЗанвитЕлЬ Ордена Трудового Красного Знамени институт кристаллографии им. А. В. Шубникова (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПОГРАФИИ
Изобретение относится к рентгеновской топографии монокристаллов.
Известно устройство для рентгеновской топографии, содержащее источник рентгеновских лучей, коллиматор, держатель исследуемого кристалла, диафрагму с отверстием, расположенным на пути дифрагированного пучка, кассету с фотопленкой, устройства для синхронного перемещения исследуемого кристалла и кассеты с фотопленкой относительно рентгеновского пучка.
Цель изобретения — обеспечить возмож« ность изучения распределения дефектов по толщине кристалла.
Это достигается тем, что перед исследу-15 емым кристаллом и за ним установлены параллельно однотипные кристаллы, причем сумма толшин этих кристаллов равна толшине исследуемого.
Кроме того, кристаллы могут быть выполнены в виде клиньев и снабжены средствами для их перемещения относительно исследуемого.
Hepeg исследуемым образцом 1 толщи-! ной / (см. чертеж) устанавливают па- р
2 раллельно кристалл-конденсор 2 толщиной
dt 3 толщиной d <= a f . Каждый раз I используется только отраженный пучок, а проходящие пучки убираются соответствующими экранами 4-6. Благодаря конденсору образец 1 освещается широким пучком, представляющим собой изображение щели в кристалле-конденсоре 2. Пучок испытывает внутри исследуемого кристалла дифракционное сжатие и на глубине С(равной толщине кристалла-конденсора 2 дает узкое изображение исходной щели с точностью /-„ g, гдеЛ— 2. т К экстинкционная длина» Я -гол Брэгга. Кристалл-объектив 3 фокусирует на фотопластинку или иной приемник изображение слоя, расположенного на глубине (у от поверхности. Таким образом, благодаря дифракционной фокусировке рентгеновских лучей внутри исследуемого образца в рен ггеновское изображение дают преимушествон" 4 Е2SS ный вклад дефекты, расположенные в сравнительно тонком слое на глубине Ц . Смена дополнительных . пластинок или исп ользование вместо них клиньев поз а зпич- б воляет исследовать дефекты на различной глубине под поверхностью образца. Ослабляя вклад дефектов, расположенных вне плоскости фокуса, фокусировка пучка позволяет исследовать кристаллы. с более k0 высокой плотностью дефектов и расширяет область применения рентгеновской топографии. Предмет изобретения 1. Устройство для рентгеновской топо:графии, содержащее источник рентгеновских лучей, коллиматор, держатель иссле! I дуемого кристалла, диафрагму с отверстием, расположенным на пути дифрагированного пучка, кассету с фотопленкой, устройства для синхронного перемещения исследуемого кристалла и кассеты с фотопленкой относительно рентгеновского пучка, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с . целью изучения распределения дефектов по толщине кристалла, перед исследуемым кристаллом и за ним установлены параллельно однотииные кристаллы, причем сум1 ма толшин этих кристаллов равна толщине исследуемого. 2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю-! ш е е с я тем, что кристаллы выполне;ны в виде клиньев и снабжены средствами для их перемещения относительно исследуемого кристалла. 478235 Соста ангел ь К. Кононов. Ред ктор Т.Фадеева Техред A Êамышникова корректор Л.ярахнина Заказ, Д Изл. % f/ Тираяс 902 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, 113035, Раушская наб., 4 Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24
