Адсорбционноразрядный насос

Авторы патента:

H01J41 - Разрядные приборы и соединенные с ними средства, предназначенные для измерения давления газа (системы вакуумметров, использующие такие приборы, G01L 21/30); разрядные приборы, предназначенные для откачки при помощи диффузии ионов

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Йюа Советских

Социалистических

Реслчолик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.01.73 (21) 1869420,, 26-25 (51) М. Кл. Í 01)j 41, 00 с присоединением заявк» " е

Государствениык комитет

Совета Министров СССР оо делам иаооретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 05.06.75. Бюллетень чв 21

Дата опубликования описания 10.09.75 (53) УД К 621 385 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Л. H. Розанов, В. M. Лебедев, И. К. Мешковский, В. П. Рябов и А. И. Холодов

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт имени М. И. Калинина (71) Заявитель (54) АДСОРБЦИОННО-РАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Предмет изобретения

Изобретение относится к безмасляным средствам откачки, в частности к адсорбционноразрядным насосам.

Известно откачное устройство, содержащее охлаждаемый адсорбционный элемент и разрядные ячейки, размещенные в общем корпусе.

Недостатком известного устройства является невысокая скорость поглощения газов в интервалс давлений 5 10 вЂ вЂ” 1 10 4 торр.

Цель изобретения вЂ” интенсификация процесса откачки. Поставленная цель достигается в результате того, что адсорбционный элемент выполи H из токопроводящего материала в виде пластины с отверстиями, окруженными тепловым экраном, находящимся под отрицательным потенциалом по отношению к корпусу насоса, соединенному с токопроводящим адсорбционным элементом, и образующими разрядные ячейки.

Ha sepTcE:c показан»pep. !0 !(нный адсорбционно-разрядный насос.

Насос содержит корпус 1 с патрубком 2 для подсоединения к откачиваемой системе; магнитную систему 3, адсорбц»о»ный элемент 4 из ток",проводящего материала, вы:юлненный с отверстиям» 5 и соединен:-.ый с корпусом наcGñа: систему охлаждения 6. Отверстия в адсорбциогн ом элемс»те окружены тепловыM экраном 7, находящ»мся под отриц" тельным потенциалом по отношению к корпусу насоса, и образуют разрядные ячейки 8.

Перед работой насос обезгаживается прогревом до 350 вЂ” 450 С, после чего в систему охлаждения 6 заливается жидкий азот. В результате охлажден»я адсорбента осуществляется сорбция газов. Одновременно с процессом сорбцип газов возбуждается газовый разряд в ячейках 8 при подаче высокого от10 рицатсльного напряжения на тепловой экран 7.

Возбуждение разряда в ячейках 8, расположенных непосредственно в адсорбционном элементе 4, интенсифицирует процесс сорбции

15 газов в оо 13сТ» давлений о 10 "вЂ”. 1 10 " Topp.

11редложснный адсорбционно-разрядный насос повышает скорость откачки газов, увел» швает время непрерывной работы насоса и ускоряет выход насоса на рабочий режим.

Адсорбцио»но-разрядный насос, содержа25 щий корпус, соеди»енпый с откачиваемой системой, Il размеще»ныс г, нем охлажд.;емый ".,ë"ãîðá»»î»»ûé элемент и разрядные я1сйк», о т 1:! . а ю щп и с!1 тем, что, с целью

»»тснс»ф: ка»»! процесса откачки газов, ад3 0 с o p ():!» 0»» I I!!

473240

Составитель В, Мирошкина

Редактор Т. Орловская Техред Т. Курилко Корректоры: Л. Половка и Л. Орлова

Заказ 2147,"13 Изд. ¹ 790 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 водящего материала в виде пластины с отверстиями, окруженными тепловым экраном, ltclxo:I,ÿùèìñÿ под отрицательным потенциалом по отношению к корпусу насоса, соединенному с токопроводящи vl адсорбцпоHHûì элементом, и ооразующими разрядные ячейки.

Похожие патенты:

Анод магниторазрядного насоса // 453757

Способ измерения давления газа или пара в газоразрядных приборах // 441614

Магнитный электроразрядный насос^sli ^-'eiiiei // 433568

Патент 416789 // 416789

Патент 414652 // 414652

Патент 411547 // 411547

Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос // 387465

Геттерно-ионньш насос // 382171

Магнитный электроразрядный насос // 371633

Магниторазрядное откачное устройство // 367484

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера // 2193254

Изобретение относится к устройствам создания сверхвысокого вакуума

Неиспаряемые геттерные сплавы // 2260069

Изобретение относится к области металлургии, а именно к геттерным устройствам, изготовленным из геттерных сплавов

Геттероионный насос // 2005324

Электроразрядный вакуумный насос // 2034359

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для поглощения и захоронения радиоактивных инертных газов, образующихся в тепловыделяющих элементах и термоэмиссионных электрогенерирующих каналах, а также в других устройствах, связанных с радиоактивными процессами

Электроразрядный вакуумный насос // 2034360

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для поглощения и захоронения радиоактивных инертных газов, образующихся в тепловыделяющих элементах и теплоэмиссионных электрогенерирующих каналах, а также в других устройствах, связанных с радиоактивными процессами

Устройство для пьезоэлектрического возбуждения электрических зарядов // 2043661

Изобретение относится к средствам создания статических электрических зарядов и может быть использовано в учебных опытах, а также в устройствах для нейтрализации поверхностных электрических зарядов и различного рода запальных устройствах

Геттерно-ионный насос // 490211

Магниторазрядный насос // 499611

Геттерно-ионный насос // 502423