Вакуумнаяустановка для покрытийнанесения

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

О П И C А Н И Е <)43325О

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетсльства— (22) Заявлс!1о 05.04.72 (21) 17687бб, 18-10 (51) М. Кл. С 23c13/00

G 02Ь 5/28

G 01Ь 19/00 с присоединением заявки— (32) Г! риоритет—

Опубликовано 25.06.74. Бюллетень ¹ 23

Государстве!!на!й комитет

Совета 1йинистрое СССР

ll0 делам иаобретений и OTKpbiTNH (53) УДК 533.599 (088.8) Дата опубликования описания 01.12.75 (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЫТИЙ

Изобретен)!е относсстся к апт!аратуре для .изготовления покрытий, наносимых путем термического ис!!арения веществ в вакууме, и может найти 1!римсненис п!ри создани!и однои мсяого лойных ос!тв1 !ескик покрыт;!й, например, лазерных зеркал, спектроделителей и т. п.

Известны вакуумные установски для на)!сccíHH IoKPbIT! Ill, сОдсРжащие В3к1 Умн"!0 К3меру с испа!1)итслями и держателем образцов, 10 на которые наносятся пок1)ытия, и систему контроля толщ;!ны наносимых слое в с источником излучения, формирующей оптикой, фоToïiðHåìHHêoì и регистратором.

Целью изобрете!ния является повышен. !с надежности и точност:! ко?!троля толщ:IF!bi 13нос!!мого 7!окрытия, Это достигается тем, что .1еред фотоприемником размещен непрозрачный экран с отверстием, не превышающим размера изображения исто iiiilK3:!злучсния, установленный с

Возможностью перемещения по двум вза i)IHOперпендикулярным направлениям в плоскости ортогональной оси формирующей о)!тики.

На чертеже представлена при ц)гпиа1»HÇH схема и!рсдлагаемой установки.

УстанОВка содержит и":13;)ите IH 1, д .)жатель 2 образцов 3, на которые с испаритслей напыляются вещества, образующие покрытие, и системы контроля толщин ианосимы.; c10ев, Си тема сос;сит из исто !ник:! света лампы 4 H3каливания, элемента формирующей оптики 5,:)росктирующсй сизлучсние источниiKa через окно 6 на образец 3, элемента формирующей оптики 7, которая 11ос7с !рок,)ж!дсиия света через окно 8 создаст изобр!!жение нити н3к3 13 .1;!з)пы 1 .В H,io:K0cT;i 3KpBHFI 9 с отверстием. Экран выполнен подвижным в плоскости, .!ер:Icнд:!кулярной оси формирук?щей о:IT .IKH. За экраном по коду луча ра положен

=ветоф,iëüòð 10 и фото::!р1!смник 11 — фaroуз!?10?кит!.ль В 330 1н| 1О цс ° Iь !"дторОГО Вклю

«еН oTс!eT,:!ый рсг:i:тратор 12.

В вакуумной камере 1) с !с:I;)1)lire,7ci i, представляющ)их собой ванночки !1ли спирали. на образцы 3 путем термического иciiapcHiiH наносят в трсбусмои:!оследоватсльносT;I ьсщества, О" раз ) IOHlilc 0.10Н, Вход!11цис В пОк!)! 1тие. Образцы 3 уста;!авливаются с помощью

01:рав в дс )?кате,)c ?. Для 0,)c:i;c-1 н !я равномерной тол1ц;!Ны пленок на обра:-:ii!1K держатель ооыч Io вращается вокруг оси камеры.

Кроме того, иногда образцы В 0;lрав!Iх вращаются вокру" своего центра, В»p;)Hcосс изготовления покрыт:!я:!роизводит:я фотоэлсктр;1HE Скпй KOHTj30ЛЬ I,IC!!Oii, COCT3Â 7 и ЮIЦИ. i .IO.KPhlT! Ic. C Herc)13 K0!! T ) 0л и „)с1 HOT" ) гс т Hc,l! Iч1!ну светового::отака,:IpoIHQдшсг;) чс;)сз об )азсц или отражс!1но: 0 им. 11сп01ьзуя извссTнуlo 3 а в!!си)1 ость . I .o:)мс к?) 11 и я (.)тп !)жсни я ) от

433250

Предмет изооретения

Составитель В. Ванторин

Редактор 3. Твердохлебова Техред Л. Акимова Корректор В. Гутман

Заказ !!08/1598 Изд. Ко 857 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушскаи наб., д. 4/5

Т:.:. :арьк. фил. пред. «Патент» толщины слоя, по показаниям регистратора однозначно судят о толщине .напыляемой ,плен:ки.

Световой поток, измеряемый системой контроля, создается лампой 4 накаливания. Излучение источника через оптическое окно 6 в

o;rrnrrarrrrrr вакуумнои каморы проецируется на сбрязец 8 с наносимыми слоями. Прошедший образец потока, величина которого пропорциональна коэффициенту пропускания изготавливаемого поирьгпия, через окно 8 в колпаке камеры 18 попадает на элемент формирующей оптики 7, который создает изображение нити накала лампы 4 в плоскости подвижного эк рана 9 с oTtBQpcTrrcivr диаметром 1 — 2 яlr. УвеЛИЧСгнИЕ ОгнтИЧЕСКОй СХЕМЫ СИСТЕМЫ KOHTtpo; порядка 1". С помощью пары винтов 14 и другой пары, винтов добиваются перемещением экрана 9 совмещения отверстия с изображением нити накала, Экран в таком, положении фиксируется с помощью обоих пар винтов.

3а экраном по ходу луча расположен светофильтр 10, выделяющий световой поток с длиной волны, пр и которой производится конТгро;Ib. Монохроматическое излучение вызывает з фотоприемнике 11 и фототок, величина которого прогпорциональна коэффициенту про пу=кания образца с контролируемы r trloKprrтием. ФoTDTQK измеряется, регистратором 12, 5 показания которого характеризуют толщину очередного наноспимого слоя.

10 Вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая вакуумную камеру с Ic,парлтелями и держателем образцов, на которые паносят=я покрытия, и систему контроля толщины наносимых слоев с источником излучения, формирующей оптикой, фотоприемником и регистратором, отлича ощаяся тем, что, с целью повышения надежности и точности контроля толщины наносимого пок рытия, перед фотоприемником размещен непро20 зрачный экран с отверстием, не превышающим размера изображения источника излучения, установленный с возможностью перемещения llo двум взаимно перпендикулярным направлениям в плоскости oyTororraльной оси фо рмирующей оптиии.