Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме

Авторы патента:

И. Л. Ройх, Д. М. Рафалович , А. А. Модзелевокий Одесский технологический институт пищевой промышлеиности М. В. Ломоносова

C23C14/54 - управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G05)

383759

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетснит

Сониалистическиа

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М.Кл. С 23с 13/00

Заявлено 24. I I I.1970 (№ 1419999/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Пр,нор итетв

Опубликовано 23.Ч.1973 r. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 17 Ч111.1973.

Комитет по делам изобретений и открытий

;,ри Соеете Министров

СССР

УДК 621.523.001.5 (088.8) Авторы изобретения

Заявитель

И. Л. Ройх, Д. М. Рафалович и А. А. Модзелевский

Одесский технологический институт пищевой промышленности им. М. В. Ломоносова

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ИНТЕНСИВНОСТИ ПОТОКА

ПАРОВ МЕТАЛЛА В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области измерения интенсивности потока паров металла в вакууме и может быть применено при нанесении различных металлических покрытий в вакууме.

Известен ряд методов измерения интенсивности потока паров металла и скорости его конденсации в вакууме. Чаще всего скорость конденсации определяют по изменению частоты колебаний кварцевого резонатора, на поверхности которого конденсируется испаряемый в вакууме металл. Этот способ позволяет определять толщину и скорость осаждения тонких металлических пленок. Однако при высоких скоростях конденсации работа кварцевого резонатора становится нестабильной нз-за повышения его температуры. При этом нарушается линейная зависимость между изменением частоты резонатора и массой осажденного металла.

Предлагаемый способ позволяет расширить диапазон измерений скорости осаждения паров металлов в вакууме.

Эта цель достигается тем, что интенсивность потока паров металла определяют по критической температуре, при которой и ниже которой происходит осаждение металла на диэлектрическую прогреваемую поверхность.

Предлагаемый способ основан на том, что наибольшая (критическая) температура, при которой еще происходит конденсация металла, зависит от свойств конденсирующегося металла, материала и состояния поверхности подложки, а также от интенсивности молеку5 лярного потока паров металла.

Процесс измерения заключается в том,. что осажденпе металла начинают при температуре диэлектрической подложки, заведомо превышающей значение критической темпераlo туры на 100 вЂ” 150 С. Затем постепенно понижают температуру подложки до появления сплошной металлической пленки между электродами, установленными на диэлектрической поверхности подложки. Этот момент фикси15 руется появлением тока в электрической цепи, что означает достижение критической температурыы.

Предмет изобретения

Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме путем фиксации начала осаждения пленки металла на нагреваемую диэлектрическую пластину, от гичаюигийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений, в пары металла вводят диэлектрическую пластину при температуре выше температуры осаждения, охлаждают пластину до

3Q температуры осаждения, по которой и определяют интенсивность потока паров металла..

Устройство для управления процессом получения многослойных интерференционных покрытий // 362074

Устройство для автоматического управления процессом напыления тонких пленок // 353595

Способ получения тонких пленокби;;-:ооюс;ная !nf:'t\l}~- •>& -, r^ts.,-..- !f,5--' klillbilu-si.^^h;. .', ii; ^-биз;г-:о 'г-:а • // 350869

Устройство для термического испарения жидких // 333226

Установка для нанесения покрытий в вакуумена ленту // 323469

Способ изготовления асферических поверхностей оптических деталей // 300538

Иатектго г40ttxhn4lvi.,»/«библиотека // 275639

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 258800

Способ контроля толщины пленки в процессе // 255728

Электродуговой испаритель металлов // 2186874

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения защитных, упрочняющих и декоративных покрытий на внутренние поверхности изделий

Устройство для химико-термической обработки цилиндрических изделий в несамостоятельном разряде // 2232207

Изобретение относится к электротехнике, а именно к использованию электрического разряда для нагрева и химико-термической обработки изделий в электромагнитном поле индуктора

Устройство для контроля толщины покрытий в процессе нанесения их в вакууме // 2274676

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий, в частности к устройству для контроля толщины покрытий в процессе нанесении их в вакууме, и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении для контроля толщины покрытий при нанесении их в вакууме

Установка для нанесения покрытий // 2280709

Способ ионной обработки поверхностного слоя металлического изделия и установка для его осуществления // 2305142

Изобретение относится к машиностроению, в частности к обработке в вакууме поверхности металлических изделий путем воздействия на нее пучком ионов металлов, и может быть использовано в авиационной и газовой промышленности для поддержания оптимального сочетания элементного состава ионов и энергетического уровня воздействия при подготовке поверхности изделий, например компрессорных лопаток, к нанесению на них защитных покрытий, формировании модифицированного поверхностного слоя изделий, повышающего их эксплуатационные характеристики, а также проведении исследовательских работ в области ионно-плазменной технологии

Устройство для нанесения многослойных оптических покрытий // 2312170

Изобретение относится к устройству для нанесения многослойных оптических покрытий и может быть использовано при изготовлении лазерной техники при создании просветляющих и отражающих покрытий на торцевых поверхностях полупроводниковых лазеров

Способ контроля процесса нанесения покрытий в вакууме и устройство для его осуществления // 2318915

Изобретение относится к способу и устройству нанесения покрытий и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении

Просветляющее покрытие для линз, имеющее малые внутренние напряжения и ультранизкую остаточную отражающую способность // 2324763

Изобретение относится к отражающим покрытиям для оптических линз, в частности к композициям для формирования просветляющих покрытий

Устройство для напыления пористых покрытий на ленту (варианты) // 2337179

Изобретение относится к устройствам для напыления пористых покрытий на ленту и может быть использовано при производстве электронных компонентов, магнитных носителей записывающих устройств, декоративных покрытий

Осаждение импульсным магнетронным распылением с предыонизацией // 2364661

Изобретение относится к способу осаждения вещества на подложку, импульсному источнику питания для магнетронного реактора и магнетронному реактору