Управление или регулирование способа нанесения покрытия (C23C14/54)

C23C14/54              Управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G05)(6)

Устройство для импульсного осаждения в вакууме тонких пленок на подложку // 116859
Изобретение относится к области осаждения тонких пленок в вакууме способом термического испарения. .
 
2548908.
Наверх