Устройство для термического испарения жидких

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 06.Ч11.1970 (№ 1462101/26-9) М. Кл. С 23с 13/08 с присоединением заявки №

Приоритет

Комитет па делам иаобрвтений и открытий ври Совете Министров

СССР

УДK 621.396.6-181.5 (088.8) Опубликовано 21.111.1972. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 18.IV.1972

Авторы изобретения

Г. П. Жариков, В. В. Звягинцев и В. В. Зорин

Институт кибернетики АН Украинской ССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ ЖИДКИХ

РАСТВОРОВ С АВТОМАТИЧЕСКИМ РЕГУЛИРОВАНИЕМ

СКОРОСТИ ИСПАРЕНИЯ

Изобретение относится к области технологии производства тонкопленочных элементов вычислительной техники.

Известно устройство для термического испарения жидких растворов с автоматическим регулированием скорости испарения, содержащее испаритель с нагревателем, датчик скорости испарения, задатчик постоянной величины стабилизируемой скорости испарения, суммирующее звено и регулирующий ток нагревателя орган. С помощью такого устройства невозможно стабилизировать состав ненасыщенного пара в случае, когда состав пара отличается от состава испаряемого раствора (вследствие обеднения раствора компонентой с меньшей теплотой испарения).

В целях устранения указанного недостатка в предлагаемое устройство дополнительно введены программный блок, изменяющий в процессе испарения раствора величину стабилизируемой скорости испарения, и датчик массы испаренного раствора, соединенный со входом программного блока.

На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит испаритель 1 с электронагревателем 2 (проволочного, индукционного и т. п. типа), датчик 8 скорости испарения с преобразователем 4 его сигналов, задатчик 5 стабилизируемой величины скорости испарения, суммирующее звено б, регулирующий орган 7, программный блок 8 и датчик 9 массы испаренного раствора. В состав программного блока входят преобразователь 10

5 сигналов датчика 9, регулируемый задатчик

11 коэффициента изменения скорости испарения от массы испаренного раствора и множительное звено 12.

Устройство работает следующим образом.

10 В начальный момент fp сигнал а датчика 8 скорости испарения после преобразования в преобразователе 4 в форме — U= — ken(k—=

=Consi) поступает вместе с сигналом Up=k(op от задатчика 5 на суммирующее звено б. Ðå15 зультирующий сигнал Up= Up — U=k (о0 — а) с суммирующего звена подается на регулирующий орган 7 и изменяет ток электронагревателя 2 так, что скорость испарения в случае ее отклонения от заданной изменяется до

20 тех пор, пока результирующий сигнал не станет равным нулю.

В момент времени )4+Л1, где Л1 — время запаздывания, программный блок 8 получает сигнал от датчика 9 массы испаренного

25 раствора и изменяет сигнал задатчика 5, величина стабилизируемой скорости испарения раствора изменяется. Текущее значение сигнала Up задаваемой скорости, поступающего на вход суммирующего звена б, состоит из

30 двух составляющих: неизменной — начальной

333226

Составитель И. Мишустин

Тсхред А. Камышникова

Редактор T. Юркикова

Корректор Е. Зимина

Заказ 1028/11 Изд. № 398 Тираж 448 Подписное

ЦНИИДИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 скорости испарения (4, и изменяющейся

U>(t), которая формируется следующим образом. Сигнал датчика 9 через преобразователь

10 подается в форме k1m(t) на множительное звено 12 вместе с сигналом от регулируемого задатчика 11 — коэффициентом а изменения скорости испарения от массы испаренного раствора. Снимаемый с выхода звена 12 сигнал

U (t) = — k k am (t) = — kam (t) (Где kik =k) в форме, идентичной форме сигналов датчика

8 и задатчика 5, поступает на суммирующее звено б вместе с этими сигналами. Результирующий сигнал U1,(t) =Uo+U (t) — U в соответствии с изменением массы испаренного раствора изменяет с помощью регулирующего органа 7 величину стабилизируемой скорости испарения раствора. Программа регулирования задается величиной и знаком коэффициента а. В описанном устройстве значение коэффициента а остается неизменным, при этом точная стабилизация состава паровой фазы возможна лишь в случае, когда процентное содержание легколетучей компоненты в паре изменяется линейно с изменением скорости испарения в пределах регулирования.

Этим условиям удовлетворяет ряд сплавов и растворов со сравнительно мало различаю5 щимися температурами испарения и скоростями испарения компонент, Предмет изобретения

Устройство для термического испарения

10 жидких растворов с автоматическим регулированием скорости испарения, содержащее испаритель с электронагревателем, датчик скорости испарения с преобразователем его сигналов, задатчик скорости испарения, сум15 матор и регулирующий орган, отличающееся тем, что, с целью стабилизации состава ненасыщенного пара раствора сплава, к одному из входов сумматора подключен программный блок, содержащий задатчик

20 программы, подключенный к одному из входов пер ем нож ителя, другой вход которого через усилитель соединен с выходом датчика массы испаренного раствора.