Высоковакуумный клапан шиберного типа

исййбФЙНАЯ

ИЛТЕг11 .0- ::..Л Г Ав п1) 42921

О П И С А-И И- Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Сециалистимеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 04.04.73 (21) 1904925/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.05.74. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 21.10.74 (51) М. Кл. F 16k 3/04 госудврственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.646(088.8) (72) Авторы изобретения

В. К. Лилье, В. В. Лилье, Б. Г. Львов, С. В. Собко

Московский институт электронного машиностроения (71) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН ШИБЕРНОГО ТИПА

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам высоковакуумной коммутационной аппаратуры.

Известен высоковакуумный клапан шиберного типа, содержащий корпус, фланцы, уплотнительные прокладки, каретку с шибером и серьгами, узел уплотнения вала-водила привода и механизм перемещения каретки.

Однако из-за большой высоты и ширины клапана не образуется малого расстояния между фланцами, подсоединенными к трубопроводу. Сложность получения оптимального гарантированного, равномерно распределенного по периметру прокладки уплотняющего усилия уменьшает надежность работы клапана, кроме того, невозможна автоматическая компенсация остаточных деформаций и износа во время эксплуатации.

Цель изобретения — повышение надежности работы клапана, уменьшение габаритов клапанов и получение возможности прогрева клапана.

Для этого вал-водило и каретка соединены шарнирно с регулируемым по длине звеном, при этом шибер подвешен с помощью серег к нажимной втулке, которая с возможностью относительного перемещения прижата к несущей крышке каретки пакетом тарельчатых пружин.

На фиг. 1 показан высоковакуумньш клапан шиберного типа; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Клапан состоит из корпуса 1 и фланца 2, 5 в которых выполнены проходные отверстия.

Корпус 1 и фланец 2 стыкуются через уплотнительную прокладку 3, образуя вакуумную полость. Внутри корпуса клапана расположен уплотнительный узел 4 вала-водила 5 привода и каретка с роликами 6 и 7. Водило

5 и каретка соединены шарнирно с осями 8 звеном с легко регулируемой длиной, состоящим из гайки 9 и двух полузвеньев 10 и 11 с левой и правой резьбой.

15 Каретка состоит из несущей крышки 12, к которой подвижно присоединены через пакет тарельчатых пружин 13 и регулировочные прокладки 14 нажимные втулки 15, и заслонки 16 с уплотнительной прокладкой 17. За20 слонка 16 соединена с нажимными втулками

15 серьгами 18, надетыми на оси 19, а с несущей крышкой 12 — пружинами 20. На фланце 2 расположены упоры 21 для фиксации заслонки 16.

25 Клапан работает следующим образом.

Клапан открыт, каретка находится в кармане клапана. При повороте водила 5 звено регулируемой длины поворачивается вокруг осей 8, заставляя каретку поступательно дви30 гаться на роликах 6 и 7 по направляющим, ц 1i 18 к

ЯО 74 1Б 1Б У7 выполненным в корпусе 1. После того, как заслонка 16 дойдет до упоров 21, серьги 18 начинают поворачиваться, заставляя заслонку

16 двигаться поступательно вниз. Таким образом, происходит уплотнение проходного отверстия прокладкой 17. При этом уплотнительное усилие передается через пакеты тарельчатых пружин 13, чем обеспечивается автоматическая компенсация остаточных деформаций и износа во время работы клапана и равномерное распределение нагрузки на уплотнитель 17. Регулируемая длина звена, соединенного шарнирно с водилом 5, позволяет легко получать гарантированное уплотняющее усилие и значительно расширяет допуски на изготовление деталей и сборку.

Клапан открывается при повороте водила 5 в противоположную сторону, при этом звено с регулируемой длиной поворачивается вокруг осей 8, складываясь с водилом, тянет за собой несущую крышку 12. В этот момент ссрьги 18 поворачиваются вокруг осей 19, уплотняющее усилие уменьшается и пружины 20 поджимают заслонку 16 к несущей крышке 12, образуя зазор между прокладкой 17 и фланцем 2.

Дальнейший поворот поводка обеспечивает поступательное движение каретки и полное открывание проходного отверстия.

Предлагасмая конструкция механизма преобразования вращательного движения водила

5 5 в поступательное движение каретки позволяет уменьшить длину водила и расположить уплотнительный узел 4 внутри корпуса 1 клапана, что значительно уменьшает габариты

его по высоте и ширине, оставляя длину не10 изменной.

Предмет изобретения

Высоковакуумный клапан шиберного типа, 15 содержащий корпус, фланцы, уплотнительные прокладки, каретку с шибером и серьгами, узел уплотнения вала-водила привода, механизм перемещения каретки, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения надежности

20 работы клапана, уменьшения габаритов клапана и получения возможности его прогрева, вал-водило и каретка шарнирно соединены с регулируемым по длине звеном, при этом шибер подвешен с помощью серег к нажимной

25 втулке, которая с возможностью относительного перемещения прижата к несущей крышке каретки пакетом тарельчатых пружин.

429212

Риг 2

Составитель Т. Журавлева

Техред Г. Василева Корректор Е, Миронова

Редактор Н. Козлова

Типография, пр, Сапуно

Заказ 2789/11 Изд. № 922 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5