Способ травления пленок хрома

»!1424333

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (61) Зависимое от аВТ. свидетельства— (22) Заявлено 21.12.70 (21) 1601394, 22-1 (51) М.Кл. Н 05k 3/06

С 23f 1/02 с присоедн»епием заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (32) Пр!!оритег—

Опубликовано 15.04.74. Бюг! Ie!o!1!> ¹ 14

Дата опубликования описания 07.01.75 (53) угДК 621 794 44 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. А. Яровой, Г. Е. Ревзин, К. И. Гутров, Н. Л. Зелепухина и Ю. И. Полещук

I ! (71) Заявитель (54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ХРОМА

Изобретение относится к те«нологии изготовления микрос«ем и фотошаб IQHoB методом фотолитографии, Известен способ травления пленок крома в растворе соляной кислоты с добавкой «лористых солей.

Предлагаемый способ отличается от извест»ого введением в раствор,B качестве хлористой соли дву«лористого олова в колггчестве 30 — 100 г/л и проведением процесса при 1О

60 — 110 С. Это позволяет з!Итенсифицировать процесс и,повысг!ть качество травления.

Пример 1. Пленку хрома толщггной

300 А, иа»сссшгую на керамическую подлож15

K) с 8 классом чистоты вакуумтермическим напыле1»вез!, подвергают в,процессе фотолптографгпи 112 стадзи! дуоления фоторезиста нагреванию на воздухе при 250 С в тече»ие

0,5 час. Травление хрома производят в нагретом до 75С 20%-ном растворе соляной кислоты, содержащем 60 г/л двухлористого олова.

Время травления 15 сек. После раствсреиия горсмя на незащищенны«фоторезистом ъ 12 ткя«подложкъ промыв210т Водои и Выс шивают. В результате видимых следов нестр в 7енн ого рома на под lожке под «1!1кj) 0скопом нс обнаружено, Пример 2. На керамическую подложку

7 класса чистоты наносят в вакууме дву«слойное покрыт. 1е из хрома (толщина 250 А) и меди (толщина 0,6 лгклг) . После фотолитографии производилось гальваничсскос пара»и!ванне меди до толщины 60 лгклп Травление меди .»2 толщину 0,6 1гк.!! проводилось 25%ной азотной кислотой, а затем промытую водой подложку поместили в нагретый до 90 С раствор 30% Ho! I соляной кислоты, содержащий 45 г/.г двухлористого олова. Время травления «рома 10 сеп. При обследовании под микроскопом следов нестравленпого крома и растравливания медного слоя не обнаружено.

Предмет изобретения

Способ травления пленок крома в растворе соляной кислоты с добавкой «ëoðèñòû« солей, от,гггча>оигийся тем, что, с целью интенсификацп и процесса и повышения к2чсства травления, в качестве «лористой соли в растВОР ВВОДЯТ ДВУ«ЛОРИСтОЕ ОЛОВО В КОЛИ гЕСт!1С

30 — 100 г/.I и процесс проводят при 60 — 110 С.