Раствор для избирательного травления пленок хрома

378564

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 29.1II.1971 (¹ 1635150, 22-1) M. Кл. С 23f li02 с отрисоединением заявки №вЂ”

Приор итетвЂ

Опубликовано 18.1Ч.1973. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 16.VII.1973

Комитет по делам изобретений и открытий при Сосете Мииистров

СССР ДК 621.794.449 (088.8) Авторы изобретения Г. Я. Колмакова, Б. Е. Раснецова, Г. М. Белевич и В. А. Коршунова

Заявитель

РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЪНОГО ТРАВЛЕНИЯ

ПЛЕНОК ХРОМА

Предмет изобретения

Изобретение относится .к обрабопке поверхности металлав химическими способами, в частности к технологии изготовления приборов электронной технички и может быть применен при изготовлении фотошабланов с микрочными и субмик ранньгми штрихами.

Известен раствор для избирательного травления пленок храма с использованием металлического акти вагора, оадержащий соля.ную кислоту.

Предлагаемый распвор отличается от известного тем, что в его состав введен 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгексиловото эфира сульфоянтарной кислоты,в количестве

0,5 — 5 /о от объема раствора соляной кислоты, что позволяет увеличить воопроизводимость и точность лри получении, рельефа с микронными размерами и обеспечивает, получение рельефа металла с су бмикронными размерами.

Раствор содержит соляную кислоту и

50%-ный раствор натриеэой соли,диэтилгекаилового эфира сульфоянтарной:кислоты в количестве 0,5 — 5% от объема соляной кислоты.

Процесс травления протекает равномерно и поддается регулировке изменением конценпрации кислоты и добааки.

Для проведения процеоса травления рекомендуют применять 20 — 37% -ный распвор соляной кислоты. И збирательное травление пленок хрома в предлагаемом растворе проводится следующим образом.

Пластину с храмов ой пленкой, на которую нанесен .защитный рисунок, погружают в данный раствор, Участок хромовой пленки, не защищенный фоторезистаром, привадят в контакт с алюминиевым или циякавьтм стержнем на 5 — 6 сек, затем стержень убирают и выдерживают пластину в растворе до полного

cTpBIBливачия хрома. Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 мклт составляет 1 мин 20 сек.

В случае непал|ного cTpBIBлива ния хрома ,пластина помещается в раствор того же состава с добавкой алюминиевой стружки в количестве 10 — 20 г яа ливр раствора. Дотравливаяие произ водится по истечении 8 — 10 мин со времени введения стружки. Необходимость ионтакта в этом случае отпадает. В растворе с алюминиевой стружкой пластина выде рживает.ся 20 — 30 сек.

Pac eoip для избирательного травления пленoK хрома с использова нием металлического а ктиватора, содержащий солярную кислоту, отличающийся тем, что, с целью увеличения воопроизвадимости и точности при получении

ЗС рельефа с микранными размерами, в его со378564

Составитель В. Лебедева

Техред Т. Миронова

Корректор Е. Михеева

Редактор Л. Лаврова

Заказ 342/1085 Изд, № 476 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип, Харьк. фил, пред. «Патент» став введен 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгеисилового эфира оульфоянтарной кислоты в количест|ве 0,5 — 5 /е от объема раствора соляной кислоты.