Грабитель для избирательного травления пленок олова
О П И С А Н И Е 387542
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетскил
Социалистических
Реслублнк
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 1611!.1972 (№ 1759277/26-9) с присоединением заявки М
Приоритет
Опубликовано 21.Ч1.1973.,Бюллетень оче 27
Дата опубликования описания 1.Х.1973
М. Кл. Н 05k 3/06
С 23f 1/00
Комитет ло делам изобретений и открытий лрн Совете Убиннстрое
СССР
УДК 621.794.422.7:621. .3.049.75 (088.8) Автор,ы изобретения
Э. И. Матусевич, В. К. Рець и Ю. А. Дядюн
Заявитель
TPABHTEJIb ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ
ПЛЕНОК ОЛОВА
Изобретение относится к технологии Ilpo. изводства радиодеталей и может быть использовано при изготовлении гибридных пленочных микросхем. Известен травитель для избирательного
Травления пленок олова,,нанесенных на полимерный материал и защищенных слоем фоторезиста в соответствии с получаемым рисунком, содержащий смесь азотной, соляной и уксусной кислот с водой.
Однако травление пленок олова в концентрированных кислотах приводит к интенсивному разрушению как полимерного материала, так и фоторезиста, защищающего пленки олова в процессе травления.
Целью изобретения является сохранение полимерного материала и фоторезиста в процессе травления.
Для этого в травитель дополнительно введен азотнокислый натрий и глицерин при следующем соотношении компонентов, в вес. %.
Азотная кислота (уд. вес 1,41) 3 — 6
Соляная кислота (уд. вес 1,18) 5 — 9
Уксусная кислота (ледяная) 20 — 31
Вода (дистиллированная) 10 — 19
Азотнокислый натрий 3 — 6 ,Глицерин Остальное
Наличие глицерина в предлозкенном травителе исключает смачивание травителем полимерного материала в процессе избирательноro травления элементов микросхем, выполненных из пленок олова, например верхних обкладок пленочных конденсаторов, что позволяет .изготавливать их методом фотолито5 графии без нарушения слоя полимера.
Азотнокислый натрий, .входящий в состав травителя, увеличивает устойчивость фоторезпста в процессе травления пленки олова без предварительной термической обработки
10 (дубления) фоторезиста при высоких темпе.ратурах. Соотношение кислот подобрано таIi„Ill образом, чтобы получить BblcoKHe cllopoo стн травления (6000 А/чин при температуре
20 С) с минимальным боковым подтравливанием.
Изобретение поясняется следующим примером.
На ситалловую подложку напыляют слои о никеля толщиной 4000 — 6000 А. Затем методом фотолитографии изготавливают нижние обкладки кислотных конденсаторов, На нижние обкладки из никеля напыляют полимер на основе силикона в тлеющем разряде при полимеризацпи мономера гектаметплднсплоксао на толщиной 5000 A. Затем на пленку полимера напыляют олово толщиной 6000 А н наносят фоторезист ФП-334 на центрифуге при
30 скорости вращения 1200 — 1400 об/.чин. Высу3 шивают при температуре 95 — 100 С в течение 15 — 20 мин, экспонируют и проявляют.
Подготовленную таким образом подложку помещают в травитель следующего состава:
Азотная кислота 1,41 уд. вес 4 мл
Соляная кислота 1,48 уд. вес 7 мл
Уксусная кислота (ледяная) 23 мл
Азотнокислый натрий 5 гр
Глицерин 47 мл
Вода (дистиллированная) 14 мл и вытравливают рисунок верхних обкладок пленочных конденсаторов.
Окончание процесса травления фиксируют визуально. Скорость травления пленок олова в травителе приведенного состава составляет о
6000 А(мин при температуре 20 С. После отмывки подложки в дистиллированной воде производят удаление фоторезиста в ацетоне, диоксане или других органических растворителях.
387542
Предмет изобретения
Азотная кислота (уд. вес 1,41) 3 — 6
Соляная кислота (уд. вес 1,18) 5 — 9
Уксусная кислота (ледяная) 20 — 31
Вода (дистиллированная) 10 — 19
Азотнокислый натрий 3 вЂ
Глицерин Остальное
Травитель для избирательного травления пленок олова, нанесенных .на полимерный ма5 териал и защищенных слоем фоторезиста в соответствии с получаемым .рисунком, содержащий смесь азотной, соляной и уксусной кислот с водой, отличающийся тем, что, с целью сохранения полимерного материала и фо10 торезиста в процессе травления, травитель дополнительно содержит азотнокислый натрий и глицерин при следующем соотношении компонентов, в .вес, :
Составитель Е, Ковалева
Редактор А. Зиньковский Техред Т. Ускова Корректор Л. Орлова
Заказ 2565/16 Изд. Мз 699 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-З5, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
