Способ контроля оптических толщин

(и1 420871

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 03.03.72 (21) 1755389/25-28 (51) М. Кл. G 01b 11/06 с присоединением заявки

-тасуаарствеииый комите

Савета Мииистрав СССР ва делам изааретеиии и аткРытии (32) Приоритет

Опубликовано 25,03.74. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 23.08.74 (53) УДК 531.717(088.8) (72) Авторы изобретения

О. Г. Баратов, А. М. Горбань, И. А. Коваленко и Ф. В. Черный

Ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени завод

«Арсенал» им. В. И. Ленина (71) Заявитель

Г L (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН

Изобретение касается способов контроля толщины оптических покрытий в процессе пих изготовления.

Известен способ контроля оптических толщин, заключающийся в том, что световой поток от источника направляют на подложку и по экстремальному значению отражсцного оптическим покрытием светового потока судят об измеряемой толщине. Однако точность фиксации экстремумов евысокая, что связано с определением экстремумов па фоне значительной постоянной составляющей светова10 потока. Это приводит к сдвигу экстремума в сторону длинных волн относительно контрольной длины волны.

Предложенный способ отличается от известного тем, что из излучаемого светового Iloтока выделгпот опорный световой поток, и на уровне опорного светового потока определяют экстремальное значение отраженного оптическим покрытием светового по" îêà. Это повышает точность контроля выполнения.

На чертеже изображена схема установки для реализации предложенного способа.

Источник света ) (например, моцохроматор) излучает световой поток, падающий нормально на подложку 2 (например, стеклянную пластинку ) с цапыляемым оптическим покрытием 3 (например, МдР2) . Между источником света 1 и подложкой 2 размещают два полупрозрачных зеркала 4 и 5 и оптический аттенюатор 6. Ослабление светового потока, проходящего через аттенюатор 6, определяется величиной управляющего воздействия Г.

Световой поток источника 1, отраженный от зеркала 4, является опорным световым потоком Ф,„. Световой поток Ф„р, отраженный подложкой 2, оптическим покрытием 3 и зеркалом 5, является стабилизированным свето10 вым потоком. Управляющее воздействие F оптического аттенюатора 6 является функцией величины разности Ф„р — Ф,„.

В исходном состоянии покрытие 3 не папы15 лено, отражение от подложки 2 минимальное и ослабление аттегпоатора 6 минимальное. По мере нанесения покрыпгпя 3 увеличивается величина отражения покрытием 3 и разность

Ф„р — Ф, стремится к увеличению, т. е. уве20 личивается упрагляющее воздействие F «;> аттеьноатор 6. С увеличением оптического покрытия 3 увеличивается отражение от него, а следовательно, и ослабление аттегпоатором 6 све1ового потока, паданощего на подложку 2.

25 Происходит стаоилнзация велич|шы светового потока Ф„,„. Фиксацию толщины покрытия 3, при которой отражеilие становится экстремальным, производят фиксацией смены знака управляющего воздействия F, являющегося

30 мерой толщины покрытия.

420871 нот окп судят оо измеряемой толин>ше, о т л u l 1 ю гц и и с я тем, что, с целью повышения

1о н1ости контроля, из излучаемого светового потока выделяют опорный световой поток, и

5,1а уровне опорного светового потока определяют экстремальное значение отраженного о1пическим покрытием светового потока.

Ч

Составитель В. Климова

Техред А, Камышиикова Корректор Т. Хворова

Редактор T. Шатова

За:kç 2li-k, 7 11ад. Л 663

HI! И11ПИ Государственного комитета по делам изобретений и

Москва, Ж-35, Раушская

Типография, пр. Сапунова, 2

Предмет изооретс1 ия

Способ контроля о1г1нческих толгцин н процессе из изготовления, заклю1а1о цийсн в I ом, что световой поток от источника направляют на подло>кку н llo экс;рсмальному значснн1о отра>кeIIIIoro оптическим покрытием свегового

Тираж 760 Подписное

Совета й1 гиистров СССР открытий наб., д. 4, 5