Оптическая деталь с тонкопленочным покрытием

3776I2

Со се Соеетсая

Сокиапистических

Республик

) б . ф

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 25.V111.1970 (Rе 1470035/26-25) М. Кл. 6 01Ь 11,)06 с присоединением заявки №

Комитет по,ослам

Приоритет

Опубликовано 1717.1973. Бюллетень № 18

Дата опубликозания описания 11 VII.1973 паорретеккй к открытий при Спеете Ъ1иккстров

СССР

УДК 667.783(088.8) Авторы изобретения

И. A. Тимошин, T. A. Волкова и В. П. Лап

Заявитель

ОПТИЧЕСКАЯ ДЕТАЛЬ С ТОН КОПЛЕНОЧНЬ!М ПОКРЫТИЕМ

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано при изготовлении интерференциальных зеркал, светофильтров, просветлений, а также ряда приборов микроэлектроопикп (полевой транзистор р-п-типа), где в качестве активного слоя применяют полупроводниковые материалы.

Известные оптические детали с тонкопленочными покрытиями из окислов редких земель, фторидов и оксифторидов, а также химических соединений А" — В диссоциируют частично пли полностью при испарении.

Это приводит к образованию поглощающих покрытий из-за нарушения состава пленки.

Халькогенидные пленки, будучи гигроскопичными, часто разрушаются под воздействием атмосферной влаги либо изменгпот свои оптические характеристики во времени (процесс старения), что приводит к нежелательному изменению спектральной характеристики всей оптической детали в целом.

Для получения оптических деталей с -окоплспочным и интерференционным покрытием с воспроизводимы,.и оптическими параметрами и минимальными потерями на поглощение и рассеяни, минимальной амплитуднофазовой анизотропией отраженного света и повышенной эксплуагационной стойкостью предлагается слои выполнять из полупроводнико2 вых твердых растворов полного анионного изовалентного замещения CdSxSe, ZnS,-Se,, HgS,-Se, и далее, общей формулы А" В т Ст т„, где 0<х(1.

Проведенные исследования показали, что твердые растворы полного анионного изовалентного замещения типа А", В„", С," „испаряются с конгруентным составом паровой фа10 зы, что приводит к синтезу воспроизводимых пнтерференционных систем, не практичных к температуре приемной поверхности оптического элемента и скорости испарения, не наблюдается также их взаимодействие с соста15 вом остаточных газов в рабочем объеме. Перечисленные преимущества вакуумных конденсаторов твердых растворов позволяют решить одну из самых существенных задач тонкопленочной технологии — получение строго

20 воспроизводимых результатов.

В результате стехиометрического состава вакуумных конденсатов твердых растворов. вызванного равновесным составом газовой фа25 зы возможно получение непоглощающих слоев.

Наличие одной кристаллической модификации и уменьшение дефектов кристаллической структуры указанных выше твердых растворов, вызванное упорядочением атомов в кри30 сталлической решетке приводит к значитель377612

Предмет изобретения

Составитель С. Соколова

Техред 3. Тараненко Корректор М. Гарцевич

Редактор Л. Струве

Заказ 1781/10 Изд. Ме 1434 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ному уменьшению интегрального рассеяния в вакуумных конденсатах твердых растворов и почти к полному исчезновению дисперсии показателя преломления.

Благодаря уменьшению потерь света в пленках твердых растворов на поглощение и рассеяние по сравнению с соединениями А", В и окислами редкоземельных элементов, становится возможным получение высококачественных оптических покрытий, например, интерференциальных зеркал с коэффициентом отражения К = 99,0 "/о, узкополосных интерференционных светофильтров с высоким пропусканием.

В то же время получение вакуумных конденсатов твердых растворов не требует высоких температур испарения, как, например, окислы, что значительно понижает требования к дорогостоящей технологической аппаратуре.

1. Оптическая деталь с тонкопленочным покрытием, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения поглощения, рассеивания, амплитудно-фазовой анизотропии и получения ста1О бильных и воспроизводимых оптических параметров, покрытие выполнено из твердых растворов полного анионного изовалентного замещения групп А", B„1, С1У„, где 0(х(1.

2. Оптическая деталь по п. 1, отличающаяся

15 тем, что, с целью получения покрытия, работающего в видимом диапазоне, оно выполнено на основе ZnS — ZnSe,