Устройство для химического травлеиия пластин

. 3

О П И С А Н И Е 1п 419047

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

N ПАТЕНТУ (61) Зависимый от патента (22) Заявлено 20.05.70 (21) 1443146/22-1 (51) М. Кл, С 23g 3/00

С 23b 5/70

С 23f 1/00 (32) Приоритет 06.06.69 (31) WP 48d /140341 (33) ГДР

Опубликовано 05.03.74. Бюллетень ¹ 9

Государственный комитет

Соввта Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.794.41 (088,8) Дата опубликования описания 30.08.74 (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Гюнтер фон Рутендорф и Фолькмар Ламперт (1 D,P) Иностранное предприятие

«Арбайтсштелле Фюр Молекуляр-Электроник» (ГДР) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО

ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН

Изобретение относится к области химической обработки изделий.

Известно устройство для химичеокого травления пластин, содержащее ванну, внутри которой расположены держатели пластин с приводом вращения. Однако в этом устройстве наблюдается неравномерное перемещение пластин, что ухудшает. качество травления.

Цель, изобретения — повышение качест ва травления. Это достигается тем, что держатели выполнены в виде зубчатых колес, причем, по крайней мере, один из держателей паходится в зацеплении с зубчатым колесом привода.

Держатели расположены на одной прямой линии или.вокруг шестерни привода.

На фиг. 1 представлено устройство с линейным расположением держателей, продольный,разрез; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 — устройство с круговым расположением держателей, продольный разрез; на фиг. 4 — то же, вид сверху.

Устройство состоит из,ванны 1, внутри которой находятся держатели 2 пластин 3 с приводом вращения. Держатели 2 выполнены в виде зубчатых колес и расположены на одной прямой, причем один из держателей взаимодействует с зубчатым колесам 4 привода вращения. Держатели.,могут находиться вокруг шестерни привода. Все держатели с,пластинами находятся близко под поверхностью рабочего раствора, примерно на 3 — 5 ми.

Чтобы предотвратить вытекание рабочего раствора нз ванны, предусмотрен гидравлический затвор 5. Держатели при водятся IBQ вращение через колесо 4, взаю одействующее с одним из держателей 2, которьш, в:свою оче10 редь, взаимодеЙствует с соседним держателем и -. д.

П р е д м е т и з о б,р е т е.н и я

1. Устройство для химического травления

15 пласт тн, содержащее ванну, внутри которой расположены держатели пластин с приводом вращения, о тл ич а ющееся тем, что, с целью повышен|я качества тра вления, держатели выполнены в виде зубчатых колес, при2р чем, по меньшей »ape, один из держателей находится в зацеплении с зубчатым,колесом привода.

2. Устройство по п. 1, о тл и ч а ю щ е е с я тем, чTо держатели расположены на одной прямой.

3. Устройство по п. 2, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что держатели расположены вокруг шестернии. пр и вод а

419047

Риг 1

Риг Z

1,1 иг 5

Составитель Н. Петров

Техред Т. Миронова

Корректор М. Лейзерман

Редактор О. Филиппова

Заказ 2148 2 Изд. № 667 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2