Устройство для химического полирования пластин

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

257254

Союз Советских

Социалиотичеокнх

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 29.VI I.1966 (№ 1094651/25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.Х1.1969. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 31.III.1970

Кл. 48а, 1/00

МПК С 23Ь

УДК 621.9.047.06 (088.8) Комитет по делам изобретений н открытий прн Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Заявитель й. К. Гусев, Н. й. Огарков, В. А. ггеревоотиков и В. А. UlypKHH

Центральный научно-исследовательский институт технологии и организации производства т" ура р

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН

Предмет изобретения

Известны устройства для химического полирования пластин, состоящие из цилиндрического реакционного сосуда с вертикальной осью вращения и неподвижной трубкой для подвода химикатов.

Отличие описываемого устройства от известных заключается в том, что на дне реакционного сосуда смонтирован конус с ведущим пояском. Ограничивающие упоры по числу обрабатываемых пластин расположены по касательной к образующей конуса и жестко связаны с трубкой для подвода химикатов.

Устройство такой конструкции позволяет увеличить производительность и улучшить качество полирования.

На чертеже показан разрез описываемого устройства, Оно содержит реакционный сосуд I. Конус

2 с ведущим пояском 8 служит для размещения полупроводниковых пластин 4. Для одностороннего полирования или полирования пластин некруглой формы последние устанавливают на круглые подложки б. Чтобы ограничить перемещение пластин, касательно к образующей конуса располагают ограничивающие упоры 6, которые жестко связаны с трубs кой 7 для подвода химикатов. Их число соответствует числу обрабатываемых пластин.

10 Устройство для химического полирования пластин преимущественно из полупроводникового материала, состоящее из цилиндрического реакционного сосуда с вертикальнои осью вращения и неподвижной трубкой для подво15 да химикатов, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и улучшения качества полирования, на дне реакционного сосуда смонтирован конус с ведущим пояском, а ограничивающие упоры по числу обрабаты20 ваемых пластин расположены по касательной к образующей конуса и жестко связаны с трубкой для подвода химикатов.

257254

Составитель В. Перепелицын

Редактор Н. С. Коган Техред Л. В. Куклина Корректор О. И, Усова

Заказ 709)7 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2