Устройство для гальванического осаждения

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 01.Ч11.1971 (№ 1677320 22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 18ЛЧ.1973. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 13.ЧП.1973

М. Кл. С 23b 5/68

Н Olj 19/38

Комитет по делам изобретений и открытий при Ссеоте Микистров

СССР

УДК 621.357.69 (088.8) Авторы изобретения

Е. И. Климин и В. А. Арапов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГАЛЪВАНИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ

Изобретение относится к области гальванического нанесения покрытий и может быть применено при изготовлении пленочных мелкоструктурных сеток методом гальванического осаждения.

Известно устройство для гальванического осаждения металлов, содержащее ванну, источник питания, анод, матрицу и токоподводящее приспособление, токонесущие элементы которого не изолированы от электролита и имеют с ним непосредственный контакт, что является причиной искажения силового поля в гальванической ванне во время процесса осаждения.

Цель изобретения — повысить качество осаждаемых структур.

Это достигается тем, что токоподводящее приспособление выполнено в виде контактной рамки, в гнездах которой укреплены пружинящ»е контакты, соединенные шинами, вмонтированными в тело контактной рамки и имеющими выводы наружу выше уровня электролита, с источником тока и изолированные от электролита посредством уплотняющих прокладок, укрепленных по периметру гнезд.

На фиг. 1 показана конструкция устройства; на фиг. 2 — конструкция токоподводящего приспособления.

Предлагаемое устройство состоит из ванны 1, источника питания 2, анода 8, матрицы

4 и токоподводящего приспособления 5.

Токоподводящее приспособление выполне",о в виде контактной рамки, в гнездах которой укреплены пружинящие контакты б, 7, 8 п 9, соединенные шинами 10, 11, 12 и 18, вмонтированными в тело контактной рамки и имеюн.имп выводы наружу выше уровня электро1О лита, с источником питания 2. Каждый пружинящий контакт изолирован от электролита уплотняющей прокладкой 14 и с помощью винта 15 вводится в контакт с одной из шин.

Контактная рамка состоит из основания

15 15, крышки 17, фиксаторов 18 и 19, осей 20.

Ванна 1 для установления контактной рамки имеет направляющие пазы (на чертежах не показаны). В основании 1б рамки сделано окно, размеры которого определяются размера20 ми получаемой структуры. Крышка 17 прижимает матрицу 4 к пружинящим контактам б, 7, 8 и 9 и прокладкам. С основанием 1б крышка 17 связана шарнирно посредством осей 20.

В закрытом положении контактная рамка

25 запирается фиксаторами 18 и 19.

Устройство работает следующим образом.

Металлизированной стороной матрицу 4 кладут на пружинящие контакты б, 7, 8 и 9 основания !б и крышкой 17 прижимают к уплотняющим прокладкам, обеспечивая гермети378551 зацию гнезд с пружинящими контактами. Основание 1б и крышка 17 запирают фиксаторами 18 и 19, после чего контактную рамку в сборе с матрицей 4 по направляющим пазам загружают в ванну 1 так, чтобы выводы токоподводящих шин 10, 11, 12 и 18, через которые подводится ток к матрице 4 от источника питания 2, были выше уровня электролита.

Подсоединив контактную рамку к источнику питания 2, включают устройство на начало осаждения. По окончании процесса гальванического осаждения рамка отсоединяется от источника питания 2, вынимается из ванны 1 и поступает в сборе с матрицей 4 на следующие операции.

После обработки матрицы 4 в сборе с контактной рамкой матрица 4 вынимается из нее, Для этого освобождают фиксаторы 18 и 19 н откидывают крышку 17.

Предмет изобретения

Устройство для гальванического осаждения металла, содержащее эанну, источник питания, анод, матрицу и токоподводящее приспособление, отличающееся тем, что, с целью повышения качества осаждаемых структур, токоподводящее приспособление выполнено в виде контактной рамки, в гнездах которой укреплены пружинящие контакты, соединенные шинами, вмонтированными в тело контактной рамки и имеющими выводы наружу выше уровня электролита, с источником питания и изолированные от электролита посредством уплотняющих прокладок, укрепленных по периметру гнезд.

37855!

1b

Фиг. 2

Составитель Л. Анисимова

Техред Л. Грачева Корректор Н. Прокуратова

Редактор О. Стенина

Заказ 336/1086 Изд. № 469 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-36, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»