Патент ссср 415465

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистицеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 31.Х11.1971 (№ 1731925/24-6) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 15.11.1974. Бюллетень № 6

Дата опубликования списания 2Л II.!974

М. Кл. F 26Ь 3/30

F 26b 15/12

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изааретений и открытий

4 ДК 667 645 047 355 (088.8) Авторы изобретения А. С. Уксусов, А. Т, Буравцев, Л. H. Каплин и С. И. Эйгель

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ СУШКИ ПЛЕНОЧНЫХ

ПОКРЫТИЙ НА ПЛАСТИНАХ

Предмет изобретения

Изобретение предназначено для сушки тонких пленок, например пленки фоторезистора, на поверхности пластин из полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве твердых радиотехнических схем.

Известны установки для сушки пленочны.; покрытий на пластинах, содержащие сушильную камеру с патрубком для отсоса паров и расположенные в ней конвейер для перемещения пластин и источники инфракрасного излучения.

Предлагаемая установка позволяет повысить качество сушки. Это достигается тем, что конвейер выполнен в виде лотка, заполненного жидкостью с физическими свойствами, достаточными для удержания на ней пластин, например водным раствором глицерина, циркулирующим по замкнутому контуру прп помощи насоса.

Для термостатирования жидкости в контуре установлен теплообменник.

Лоток выполнен из материала с низкой теплопроводностью, например фторопласта, На черте>ке схематично показана описываемая установка.

Установка содержит сушильную камеру 1 с патрубком 2, источники 3 инфракрасного излучения, лоток 4 с жидкостью, на поверхности которой плавают пластины 5, теплообмешшк h, насос 7, регулирующий кран 8 и компенсирующий бак 9.

Сушку пленочного покрытия на поверхности пластин 5 производят при помощи источников

3 инфракрасного излучения, а пары из камеры 1 отсасывают через натрубок 2, Пластины свободно плавают вплотную друг к другу на поверхности жидкости, транспортируемой по лотку 4, выполненному из материала с низкой

10 теплопроводностью, например фторопласта. жидкость, например водный раствор глицерина, циркулирует по контуру: лоток 4 — теплообменник 6 — насос 7. Регулируя краном 8 напор >кидкосги, изменяют скорость переме15 щения пластин 5 в лотке 4, т. е. время сушки пх в камере 1. Для пополнения испарившейся жидкости служит компенсирующий бак 9.

Температуру жидкости поддер>кивают постоянной прп помоши теплообменника G.

25 1. Установка для сушки пленочных покрытий на пластинах, например, из полупроводниковых материалов, содержащая сушильную камеру с пачрубком для отсоса паров и расположенные в ней конвейер для перемещения

30 пластин и источники инфракрасного излучеСоставитель В. Вакар

Тсхред Т. Ускова

11оррск>ор Е. Зимина

Редактор А. Пейсопенко

3; к >з 1418 7 Изд.. е 1280 Тнрв>к 678 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ния, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества сушки, конвейер выполнен в виде лотка, заполненного жидкостью с физическими свойствами, достаточными для удержания на ней пластин, например водным раствором глицерина, циркулирующим по замкнутому контуру при помощи насоса.

2. Установка по п. 1, о т I и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью тсрмостатирования жидкос1и, в контуре устаноьлен теплообменник.

3. Устщговка по и. 1, отличающаяся

5 те"vl, что лоток выпоз1«ен из материала с низкой теплопроводностью, например фторопласта.