Способ измерения толщины окисной пленки

Авторы патента:

В. Н. Фейглин, В. П. Козинец, М. Я. Сосновский , В. М. Янковский

G01B9 - Устройства, отличающиеся оптическими средствами измерения (приспособления для измерения определенных параметров G01B 11/00)

О п И С А Н И Е 3776IO

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 18.VIII.1969 (№ 1356517/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 17ЛУ.1973. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 11.VII.1973

М. Кл. G 01Ь 9/00

Комитат по делом ивобретеиий и открытий при Совете й1иииотров

СССР

УДК 620.191.5(088.8) Авторы изобретения

В. Н. Фейглин, В. П. Козинец, М. Я. Сосновский и В. М. Янковский

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЪ| ОКИСНОЙ ПЛЕНКИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области изыскания способов измерения толщины тонких пленок.

Известен способ измерения толщины окисных пленок, основанный на интерференции световых лучей, в частности по цветам побежалости.

Предложенный способ отличается от известного тем, что толщину пленки определяют по интенсивности отраженного от окисленной поверхности светового потока. Это позволяет измерять толщину непрозрачных окисных пленок, а также повышает точность измерения.

На образец,,покрытый окисной пленкой, направляют световой поток постоянной интенсивности и датчиком фиксируют интенсивность отраженного светового потока. Зависимость между толщиной окисной пленки и интенсивностью отраженного светового потока предварительно устанавливают на образцах, толщина пленки на которых определена одним из известных способов.

Предложенный способ позволяет измерять окисные пленки толщиной от десятков анг5 стрем до 35 вЂ” 40 мк с точностью 5 вЂ” 20% измеряемой толщины. тп Способ измерения толщины окисной пленки, отличающийся тем, что, с целью получения возможности измерения толщины непрозрачных окисных пленок, а также повышения точности измерения, определяют интенсивность

15 отраженного от окисленной поверхности светового потока, а зависимость между величиной интенсивности и толщиной окисной пленки устанавливают на образцах с известной толщиной окисной пленки.

Интерференционный газоанализатор // 375531

Прибор для измерения радиусов кривизны и несферичности вогнутой сферической поверхности // 373520

Интерферометр для контроля качества оптических // 373519

Фотоэлектрический преобразователь угол — фаза // 371602

Устройство для получения интерферограмм // 371420

Интерферометрическое устройство для оперативного контроля фазовых неоднородностей в прозрачных средах // 371419

Всесоюзна ?^ // 370455

Контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта // 370454

Устройство для измерения поперечных перемещений магнитной ленты // 369386

Способ формирования изображения // 2101675

Изобретение относится к техническим средствам, уменьшающим фоновую составляющую изображения при использовании электромагнитного излучения в широком диапазоне длин волн

Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов // 2102700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Звездный интерферометр майкельсона // 2103662

Устройство для автоматизированного измерения угловых величин // 2112208

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал // 2114390

Компаратор // 2116615

Изобретение относится к вспомогательной аппаратуре для спектральных приборов и предназначен для измерения расстояний между спектральными линиями (далее СЛ) в единичном спектре и между СЛ и интерференционными полосами (далее ИП), расположенными в смежных спектрограммах, спектроинтерферограммах протяженных длин (3 м и более)

Устройство для записи голографических интерферограмм // 2119644

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ обработки сигнала кольцевого интерферометра волоконно-оптического гироскопа (варианты) // 2130587

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Способ исследования движения объекта // 2133450

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования движений в микроэлектронике и машиностроении