Контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта

Авторы патента:

G01B9/02 - интерферометры

ОП ИСАЙИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

370454

Сова Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 01.17.1971 (№ 1641533/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.11.1973. Бюллетень № 11

Дата опубликования описан|ия 5.IV.1973

М. Кл. G Olb 9/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088,8) Авторы изобретения

Г. Б. Кайнер и А. В. Ляховский

Заявитель Бюро взаимозаменяемости в металлообрабатывающей промышленности

КОНТАКТНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ЛИНЕЙНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности к области измерения линейных размеров в машиностроении.

Известен контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта, содержащий источник света с конденсором, блок, разделяющий световой пучок на два пучка, неподвижное зеркало, установленное на пути одного пучка, подвижное зеркало, связанное с измерительным наконечником и установленное на пути другого пучка, окуляр, фотоэлектрический преобразователь и счетчик интерференционных полос. Счет интерференционных полос может быть осуществлен визуально или фотоэлектрическими устройствами с электронными счетчиками.

Однако известный интерферометр имеет погрешность измерения не менее еди|ницы счета, т. е. не менее одной интерференционной полосы.

С целью, повышения точности измерения предлагаемый интерферометр снабжен дополнительным неподвижным зеркалом, установленным относительно подвижного зеркала так, что в поле зрения интерферометра наблюдается интерференционная картина в виде систем и нтерференцион ных полос, и монохроматором, расположенным между источником света и светоделительным блоком и обеспечивающим образование интерференционной картины в различных длинах волн.

Такое, выполнение позволяет измерять перемещение ло счету интерференционных полос с помощью счетчика, исключая при этом ошибки счета полос по взаимному положению в различных длинах волн, и тем самым повышая гочность измерения контактного интерферометра.

jQ Предлагаемый интерферометр может осуществлять одновременно измерение как путем счета полос, так и «àáсолютным методом».

На фиг. 1 показана принципиальная схема предлагаемого интерферометра; на фиг. 2вЂ”

1 поле зрения интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 света с конденсором, монохроматор 2, блок, разделяющий световой пучок на два пуска, в виде светоделительной пластины 8, неподвижное зеркало 4, измерительный наконечник б с подвижным зеркалом б, дополнительное неподвижное зеркало 7, окуляр 8, фотоэлектрический преобразователь 9 и счетчик l0.

Работает предлагаемый интерферометр сле25 дующим образом.

При измерении измерительный наконечник

5 с зеркалом б перемещается. При этом в поле зрения окуляра 8 проходит соответствующее число полос интерференции, которые пре30 образуются фотоэлектрическим преобразова370464

Предмет изобретения

1 !

r1P

ЧЬг 1

Фиг. 2

Составитель Л. Лобзова

Техред Л. Грачева

Корректор E. Денисова

Редактор Д. Михельзон

Заказ 670/7 Изд. № 219 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-З5, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

3 телем 9 в электрические импульсы, считаемые счетчиком 10.

Затем соответствующей установкой монохроматора 2 меняют длины волны авета и соответственно определяют дробные доли полос интерференции, образуемых зеркалами б и 7 в различных длинах волн, и определяют «абсолютный» размер перемещения измерительного наконечника, равный перемещению объекта.

Изображение интерференционных полос, наблюдаемое,B окуляре, иллюстрируется фиг. 2. В верхней части поля зрения находится интерференционная картина, образуемая от подвижного, связанного с наконечником, зеркала. Нижняя часть поля вЂ”.картина, образуемая дополнительным неподвижным зеркалом.

При смене длин волн полосы интерференции смещаются овносительно друг друга. По этому смещению определяют расстояние между подвижным и дополнительным неподвижным зеркалами.

Контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта, содержащий источник света с конденсором, блок, разделяющий световой пучок IHB два пучка, неподвижное зеркало, установленное на пути одного пучка, подвижное зеркало, связанное с измерительным наконечником и установленное на

10 пути другого пучка, окуляр, фотоэлектрический преобразователь и счетчик и нтерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен дополнительным неподвижным зеркалом, 15 установленным относительно подвиж ното зеркала так, что в поле зрения интерферометра наблюдается интерференционная картина в виде двух систем интерференционных полос, и монохроматором, расположенным между ис20 точником света и светоделительным блоком и обеспечивающим образование интерференционной картины в различных длинах волн,

Осветитель интерферометров и теневых приборов // 366347

Прибор для прецизионных измерений диаметра и погрешности формы тонких нитей // 363862

Прибор для интерференционной спектрометрии // 363261

Автоматический интерференционный рефрактометр // 360594

Интерферометр с дифракционной решеткой // 358611

Способ контроля плоскостности прозрачныхдеталей // 357462

Способ измерения кривизны световой волны // 356452

Интерферометр для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей // 355489

Интерферометр для контроля волновых аберраций элементов оптических систем // 355488

Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов // 2102700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Звездный интерферометр майкельсона // 2103662

Устройство для автоматизированного измерения угловых величин // 2112208

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал // 2114390

Устройство для записи голографических интерферограмм // 2119644

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ обработки сигнала кольцевого интерферометра волоконно-оптического гироскопа (варианты) // 2130587

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Интерферометр перемещения // 2139496

Изобретение относится к интерферометрам и может быть использовано для абсолютного измерения линейной длины отрезков

Микрорезонаторный волоконно-оптический датчик концентрации газов // 2142114

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в системах измерения различных физических величин, например, концентрации газов, температуры, давления и др

Способ измерения квазипериода дифракционного распределения излучения от узкой щели // 2145054

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах